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1. 发明授权

KR101660054B1 약액 유로용 연결 장치 有权
标题翻译：化工流程连接装置
公开(公告)号：KR101660054B1
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020110046027
申请日：2011-05-17
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： F16K27/003 , F16K27/0236 , Y10T137/4259 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249 , Y10T137/87925
摘要： 본발명의과제는약액유로의분리에있어서의약액의누설을억제하는기술을제공하는것이다. 본발명은제1 연결유로와제2 연결유로에있어서약액의유로의연결과절단이가능한약액유로용연결장치(11)를제공한다. 약액유로용연결장치(11)는제1 연결유닛과제2 연결유닛을갖고있다. 제1 연결유닛은, 제1 약액유로와제1 연결유로와소통유체공급유로에연통하는제1 약액밸브실과, 제1 약액밸브실의제1 내벽면에형성되어있는동시에제1 약액유로에연통되어있는제1 약액개구부를개폐하는제1 밸브체와, 소통유체공급유로를개폐하는소통유체공급제어밸브를갖는다. 제2 연결유닛은, 제2 약액유로와제2 연결유로와소통유체배출유로에연통하는제2 약액밸브실과, 제2 약액밸브실의제2 내벽면에형성되어있는동시에제2 약액유로에접속되어있는제2 약액개구부를개폐하는제2 밸브체와, 소통유체배출제어밸브를갖는다.

2. 发明公开

KR1020130035882A 액체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：液体控制装置
公开(公告)号：KR1020130035882A
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120103259
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027
CPC分类号： F16K49/002 , B01B1/005 , Y10T137/6416 , B01D1/221 , B01J7/00 , B05C11/025 , F16K49/00 , H01L21/0273
摘要： PURPOSE: A liquid control device is provided to promote the spreading of a liquid toward a temperature sensor side with the help of a gas flow from an inlet to an outlet thanks to the fact that a feeding hole formed at a main body is formed at a gas inlet side rather than the temperature sensor side, and thereby efficiently spreading a liquid supplied from the feeding hole toward the temperature sensor side. CONSTITUTION: A liquid control device(30) controlling the spreading of a liquid is equipped with a main body(31) and a mesh unit(47). The main body has a receiving surface(31c) supplied with a liquid. The mesh unit is woven in the shape of a net and installed to touch the receiving surface. A heater heating the receiving surface is installed at the inside of the main body, and a feeding hole supplying the liquid from the inside of the main body to the receiving surface is formed at the main body, and a groove(41) suppressing the spreading of the liquid from the feeding hole to the opposite side of the heater is formed on the receiving surface. A gas inlet and a gas outlet(34a) are formed at the main body, and the inlet is an opening introducing gas from the inside of the main body to a space around the receiving surface, and the outlet is an opening discharging the gas from the space into the inside of the main body, and the inlet and the outlet are formed with the heater placed in between.
摘要翻译：目的：提供一种液体控制装置，借助于从入口到出口的气体流动，促进液体向温度传感器侧的扩展，这是因为在主体上形成的供给孔形成在气体入口侧而不是温度传感器侧，从而有效地将从供给孔供给的液体向温度传感器侧扩散。构成：控制液体扩散的液体控制装置（30）配备有主体（31）和网孔单元（47）。主体具有供给液体的接收表面（31c）。网格单元以网的形状编织并且安装成接触接收表面。在主体的内部设置加热加热接收面的加热器，在主体上形成从主体内部向接收面供给液体的供给孔，以及抑制扩散的槽（41）的液体从供给孔到加热器的相对侧形成在接收表面上。在主体上形成气体入口和气体出口（34a），入口是从主体内部向接收表面周围的空间引入气体的入口，出口是将气体从进入主体内部的空间，入口和出口形成有放置在其间的加热器。

3. 发明公开

KR1020130035881A 액체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：液体控制装置
公开(公告)号：KR1020130035881A
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120103257
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027
CPC分类号： B01B1/005 , B01D1/221 , B01J7/00 , B05C11/025 , F16K49/00 , F16K49/002 , H01L21/0273
摘要： PURPOSE: A liquid control device is provided to promote the spreading of a liquid toward a temperature sensor side with the help of a gas flow from an inlet to an outlet thanks to the fact that a feeding hole formed at a main body is formed at a gas inlet side rather than the temperature sensor side, and thereby efficiently spreading a liquid supplied from the feeding hole toward the temperature sensor side. CONSTITUTION: A liquid control device(30) controlling the spreading of a liquid is equipped with a main body(31), a mesh unit(47), and a guiding component(52). The main body has a receiving surface(31c) supplied with a liquid. The mesh unit is woven in the shape of a net and installed to touch the receiving surface. The guiding component is installed to touch the main body at the opposite side with respect to the mesh unit. The guiding component is formed by being woven in the shape of a net. A heater heating the receiving surface is installed at the inside of the main body, and a feeding hole supplying the liquid from the inside of the main body to the receiving surface is formed at the main body, and a groove(41) suppressing the spreading of the liquid from the feeding hole to the opposite side of the heater is formed on the receiving surface.
摘要翻译：目的：提供一种液体控制装置，借助于从入口到出口的气体流动，促进液体向温度传感器侧的扩展，这是因为在主体上形成的供给孔形成在气体入口侧而不是温度传感器侧，从而有效地将从供给孔供给的液体向温度传感器侧扩散。构成：控制液体扩散的液体控制装置（30）配备有主体（31），网孔单元（47）和引导部件（52）。主体具有供给液体的接收表面（31c）。网格单元以网的形状编织并安装成接触接收表面。引导部件安装成相对于网格单元在相对侧接触主体。引导部件通过以网的形状编织而形成。在主体的内部设置加热加热接收面的加热器，在主体上形成从主体内部向接收面供给液体的供给孔，以及抑制扩散的槽（41）的液体从供给孔到加热器的相对侧形成在接收表面上。

4. 发明授权

KR101294927B1 유체 제어 밸브 有权
标题翻译：流体控制阀
公开(公告)号：KR101294927B1
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：KR1020090110068
申请日：2009-11-16
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고꾸보노리오 , 이따후지히로시 , 히로세야스히사
IPC分类号： F16K11/07 , F16K31/06 , F16K3/24
CPC分类号： F16K11/07 , F16K31/082 , Y10T137/8671
摘要： 본 발명의 과제는 스풀의 축선 방향에 있어서의 유체 제어 밸브의 길이를 짧게 할 수 있는 유체 제어 밸브를 제공하는 것이다.
유체 제어 밸브는 슬리브 부재(10) 내에 미끄럼 이동 가능하게 수용된 스풀(20)과, 스풀(20)을 미끄럼 이동 방향으로 압박하는 스프링(23a, 23b)을 구비한다. 유체 제어 밸브는 스풀(20)의 축선 방향으로 연장되도록 스풀(20)에 형성된 중간부(20c)(강자성체 부분)와, 스풀(20)의 축선 방향에 직교하는 방향에 있어서 중간부(20c)를 사이에 두고 대향하여 배치되어 서로의 사이에 축선 방향으로 배열된 반대 방향의 자계를 형성하는 동시에, 스풀(20)의 축선 방향에 있어서 중간부(20c)보다도 길게 형성된 영구 자석(50a, 50b)과, 영구 자석(50a, 50b)에 대해 스풀(20)의 축선 방향에 직교하는 방향으로 배치되어 대향하는 영구 자석(50a, 50b)을 관통하는 자계를 통전에 의해 발생시키는 코일(40a, 40b)을 구비한다.
유체 제어 밸브, 슬리브 부재, 스풀, 영구 자석, 코일
摘要翻译：发明内容本发明的目的是提供一种流体控制阀，其能够缩短流体控制阀在阀芯的轴向方向上的长度。

5. 发明公开

KR1020110129986A 액체 토출 장치 有权
标题翻译：液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020110129986A
公开(公告)日：2011-12-02
申请号：KR1020117027169
申请日：2010-04-16
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B05C5/02 , H01L21/306
CPC分类号： B05C5/0283 , B05B1/044 , B05B1/3013 , B05C5/0225 , B05C5/0258
摘要： 처리액을 저류하는 저류부(20)와, 처리액을 토출하는 슬릿 형상의 개구부(41)와, 슬릿 형상의 단면을 갖고 저류부(20)와 슬릿 형상의 개구부(41)를 접속하는 접속 통로(42)를 구비하는 액체 토출 장치에 있어서, 저류부(20) 내에서 접속 통로(42)를 덮는 동시에, 저류부(20)의 하벽(43)과 간극(22)을 형성하여 그 간극(22)으로부터 처리액을 접속 통로(42)로 유입시키는 밸브부(50)와, 저류부(20)의 하벽(43)의 표면과 접속 통로(42)의 내벽면(42a)을 매끄럽게 접속하는 제1 곡면부(44a)와, 밸브부(50)에 설치되어 제1 곡면부(44a)와 동일한 측으로 볼록한 제2 곡면부(51a)를 구비하는 것이다. 당해 구성에 의해, 슬릿 형상의 개구부(41)로부터 토출되는 처리액 중에 기포가 혼입되는 것을 억제할 수 있다.

6. 发明公开

KR1020110102235A 샘플 인젝터 有权
标题翻译：样品注射器
公开(公告)号：KR1020110102235A
公开(公告)日：2011-09-16
申请号：KR1020110020679
申请日：2011-03-09
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： G01N30/16 , G01N30/20 , G01N30/24
CPC分类号： G01N30/20 , G01N35/1097 , G01N2030/201 , G01N2030/202 , G01N2030/207
摘要： 본 발명의 과제는 시료 용액을 주입하기 위한 샘플 인젝터의 구성을 간소화하는 기술을 제공하는 것이다.
이동상 용매 M에 대하여 정량의 시료 용액 S를 주입하고, 이동상 용매 M과 함께 시료 용액 S를 토출하는 샘플 인젝터(13)이다. 샘플 인젝터(13)는 이동상 용매 M을 공급하는 용매 통로(42)와 시료 용액 S를 공급하는 시료 용액 S 통로가 형성된 회전체(21)와, 이동상 용매 M과 시료 용액 S를 외부로 토출하는 유출측 통로(34)가 형성된 제2 지지 부재(23)를 구비하다. 회전체(21) 및 제2 지지 부재(23) 중 적어도 어느 한쪽은, 시료 용액 S실이 시료 용액 S 통로에 연통되어 시료 용액 S 통로를 지나 시료 용액 S실에 시료 용액 S가 충전되는 시료 용액 S 충전 위치와, 시료 용액 S실이 용매 통로(42) 및 유출측 통로(34)에 연통되어 용매 통로(42)를 통해서 흘러 오는 이동상 용매 M에 시료 용액 S실 내의 시료 용액 S가 주입되는 시료 용액 S 주입 위치로 이동 가능하다.

7. 发明授权

KR101966992B1 액체 제어 장치 有权
公开(公告)号：KR101966992B1
公开(公告)日：2019-04-08
申请号：KR1020120103257
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027

8. 发明授权

KR101327114B1 온도 제어 장치 有权
标题翻译：温度控制装置
公开(公告)号：KR101327114B1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：KR1020080038475
申请日：2008-04-25
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 나가세끼가즈야 , 고바야시요시유끼 , 무라까미고오이찌 , 노나까료오 , 스도오요시히사 , 이따후지히로시 , 고꾸보노리오
IPC分类号： G05D23/02
CPC分类号： G05D23/19
摘要： 피제어 대상의 근방에 배치되는 온도 조절부(11)에 유체를 순환시킴으로써 피제어 대상의 온도를 원하는 온도로 제어하는 온도 제어 장치이며, 유체를 가열하여 온도 조절부(11)에 순환시키는 가열 통로(40)와, 유체를 냉각하여 온도 조절부(11)에 순환시키는 냉각 통로(20)와, 가열 통로(40) 및 냉각 통로(20)를 통과하지 않고, 유체를 온도 조절부(11)에 순환시키는 바이패스 통로(30)와, 가열 통로(40), 냉각 통로(20) 및 바이패스 통로(30)로부터, 이것들이 합류하는 합류부(12)를 통해 온도 조절부(11)로 출력되는 유체의 유량비를 조절하는 조절 수단(44, 24, 34)을 구비한다. 조절 수단(44, 24, 34)은, 가열 통로(40), 냉각 통로(20) 및 바이패스 통로(30)의 각각의 하류측이며 또한 합류부(12)의 상류측에 설치되어 이루어진다.
온도 제어 장치, 냉각 통로, 가열 통로, 바이패스 통로, 온도 조절 플레이트

9. 发明公开

KR1020110127076A 약액 유로용 연결 장치 有权
标题翻译：化工流程连接装置
公开(公告)号：KR1020110127076A
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：KR1020110046027
申请日：2011-05-17
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： F16K27/003 , F16K27/0236 , Y10T137/4259 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249 , Y10T137/87925
摘要： PURPOSE: A connection apparatus for a chemical solution flow path is provided to control the mixing of a chemical solution in the change over of a flow path by closing a first opening and a second opening which are formed in a first valve body chamber. CONSTITUTION: A connection apparatus(11) for a chemical solution flow path includes a first connecting unit and a second connecting unit. The first connecting unit(10a) comprises a first chemical solution valve room(38a), a first valve body, and a penetration solution supply controlling valve. The first drug liquid valve room is connected with the first chemical solution flow path, a first connecting flow path, and a penetration solution supply flow path. The first valve opens and closes a first chemical solution opening which is simultaneously communicated with the first chemical solution flow path and is formed in the first inner wall surface of the first chemical solution valve room. The second connecting unit comprises a second chemical solution valve room, a second valve body, and a penetration slolution discharge controlling valve.
摘要翻译：目的：提供一种用于化学溶液流动路径的连接装置，用于通过封闭形成在第一阀体腔室中的第一开口和第二开口来控制化学溶液在流路切换中的混合。构成：用于化学溶液流路的连接装置（11）包括第一连接单元和第二连接单元。第一连接单元（10a）包括第一化学溶液阀室（38a），第一阀体和穿透溶液供给控制阀。第一药液阀室与第一化学溶液流路连接，第一连接流路和穿透溶液供给流路连接。第一阀打开和关闭与第一化学溶液流动路径同时连通并形成在第一化学溶液阀室的第一内壁表面中的第一化学溶液开口。第二连接单元包括第二化学溶液阀室，第二阀体和穿透泄漏排放控制阀。

10. 发明公开

KR1020080096426A 온도 제어 장치 有权
标题翻译：温度控制装置
公开(公告)号：KR1020080096426A
公开(公告)日：2008-10-30
申请号：KR1020080038475
申请日：2008-04-25
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 나가세끼가즈야 , 고바야시요시유끼 , 무라까미고오이찌 , 노나까료오 , 스도오요시히사 , 이따후지히로시 , 고꾸보노리오
IPC分类号： G05D23/02
CPC分类号： G05D23/19
摘要： A temperature control device is provided to control a temperature of an object to a required temperature rapidly by including a bypass path to circulate a fluid in a temperature control unit without passing through a heating path and a cooling path. A heating path(40) heats a fluid and circulates the fluid in a temperature control unit. A cooling path(20) cools down the fluid and circulates the fluid in the temperature control unit. A bypass path(30) circulates the fluid in the temperature control unit without passing through the heating path and the cooling path. A control unit(24,34,44) controls a flow rate of the fluid outputted to the temperature control unit through a confluence unit where the fluids join from the heating path, the cooling path, and the bypass path.
摘要翻译：提供了一种温度控制装置，用于通过包括旁通路径将物体的温度快速地控制到所需温度，以使温度控制单元中的流体循环而不通过加热路径和冷却路径。加热路径（40）加热流体并使流体在温度控制单元中循环。冷却路径（20）冷却流体并使温度控制单元中的流体循环。旁路路径（30）使温度控制单元中的流体循环而不通过加热路径和冷却路径。控制单元（24,34,44）通过汇流单元控制输出到温度控制单元的流体的流量，其中流体从加热路径，冷却路径和旁路路径连接。

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