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1. 发明授权

KR101966992B1 액체 제어 장치 有权
公开(公告)号：KR101966992B1
公开(公告)日：2019-04-08
申请号：KR1020120103257
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027

2. 发明公开

KR1020110127076A 약액 유로용 연결 장치 有权
标题翻译：化工流程连接装置
公开(公告)号：KR1020110127076A
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：KR1020110046027
申请日：2011-05-17
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： F16K27/003 , F16K27/0236 , Y10T137/4259 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249 , Y10T137/87925
摘要： PURPOSE: A connection apparatus for a chemical solution flow path is provided to control the mixing of a chemical solution in the change over of a flow path by closing a first opening and a second opening which are formed in a first valve body chamber. CONSTITUTION: A connection apparatus(11) for a chemical solution flow path includes a first connecting unit and a second connecting unit. The first connecting unit(10a) comprises a first chemical solution valve room(38a), a first valve body, and a penetration solution supply controlling valve. The first drug liquid valve room is connected with the first chemical solution flow path, a first connecting flow path, and a penetration solution supply flow path. The first valve opens and closes a first chemical solution opening which is simultaneously communicated with the first chemical solution flow path and is formed in the first inner wall surface of the first chemical solution valve room. The second connecting unit comprises a second chemical solution valve room, a second valve body, and a penetration slolution discharge controlling valve.
摘要翻译：目的：提供一种用于化学溶液流动路径的连接装置，用于通过封闭形成在第一阀体腔室中的第一开口和第二开口来控制化学溶液在流路切换中的混合。构成：用于化学溶液流路的连接装置（11）包括第一连接单元和第二连接单元。第一连接单元（10a）包括第一化学溶液阀室（38a），第一阀体和穿透溶液供给控制阀。第一药液阀室与第一化学溶液流路连接，第一连接流路和穿透溶液供给流路连接。第一阀打开和关闭与第一化学溶液流动路径同时连通并形成在第一化学溶液阀室的第一内壁表面中的第一化学溶液开口。第二连接单元包括第二化学溶液阀室，第二阀体和穿透泄漏排放控制阀。

3. 发明公开

KR1020110129986A 액체 토출 장치 有权
标题翻译：液体喷射装置
公开(公告)号：KR1020110129986A
公开(公告)日：2011-12-02
申请号：KR1020117027169
申请日：2010-04-16
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B05C5/02 , H01L21/306
CPC分类号： B05C5/0283 , B05B1/044 , B05B1/3013 , B05C5/0225 , B05C5/0258
摘要： 처리액을 저류하는 저류부(20)와, 처리액을 토출하는 슬릿 형상의 개구부(41)와, 슬릿 형상의 단면을 갖고 저류부(20)와 슬릿 형상의 개구부(41)를 접속하는 접속 통로(42)를 구비하는 액체 토출 장치에 있어서, 저류부(20) 내에서 접속 통로(42)를 덮는 동시에, 저류부(20)의 하벽(43)과 간극(22)을 형성하여 그 간극(22)으로부터 처리액을 접속 통로(42)로 유입시키는 밸브부(50)와, 저류부(20)의 하벽(43)의 표면과 접속 통로(42)의 내벽면(42a)을 매끄럽게 접속하는 제1 곡면부(44a)와, 밸브부(50)에 설치되어 제1 곡면부(44a)와 동일한 측으로 볼록한 제2 곡면부(51a)를 구비하는 것이다. 당해 구성에 의해, 슬릿 형상의 개구부(41)로부터 토출되는 처리액 중에 기포가 혼입되는 것을 억제할 수 있다.

4. 发明公开

KR1020110102235A 샘플 인젝터 有权
标题翻译：样品注射器
公开(公告)号：KR1020110102235A
公开(公告)日：2011-09-16
申请号：KR1020110020679
申请日：2011-03-09
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： G01N30/16 , G01N30/20 , G01N30/24
CPC分类号： G01N30/20 , G01N35/1097 , G01N2030/201 , G01N2030/202 , G01N2030/207
摘要： 본 발명의 과제는 시료 용액을 주입하기 위한 샘플 인젝터의 구성을 간소화하는 기술을 제공하는 것이다.
이동상 용매 M에 대하여 정량의 시료 용액 S를 주입하고, 이동상 용매 M과 함께 시료 용액 S를 토출하는 샘플 인젝터(13)이다. 샘플 인젝터(13)는 이동상 용매 M을 공급하는 용매 통로(42)와 시료 용액 S를 공급하는 시료 용액 S 통로가 형성된 회전체(21)와, 이동상 용매 M과 시료 용액 S를 외부로 토출하는 유출측 통로(34)가 형성된 제2 지지 부재(23)를 구비하다. 회전체(21) 및 제2 지지 부재(23) 중 적어도 어느 한쪽은, 시료 용액 S실이 시료 용액 S 통로에 연통되어 시료 용액 S 통로를 지나 시료 용액 S실에 시료 용액 S가 충전되는 시료 용액 S 충전 위치와, 시료 용액 S실이 용매 통로(42) 및 유출측 통로(34)에 연통되어 용매 통로(42)를 통해서 흘러 오는 이동상 용매 M에 시료 용액 S실 내의 시료 용액 S가 주입되는 시료 용액 S 주입 위치로 이동 가능하다.

5. 发明授权

KR101660054B1 약액 유로용 연결 장치 有权
标题翻译：化工流程连接装置
公开(公告)号：KR101660054B1
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020110046027
申请日：2011-05-17
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： F16K27/003 , F16K27/0236 , Y10T137/4259 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249 , Y10T137/87925
摘要： 본발명의과제는약액유로의분리에있어서의약액의누설을억제하는기술을제공하는것이다. 본발명은제1 연결유로와제2 연결유로에있어서약액의유로의연결과절단이가능한약액유로용연결장치(11)를제공한다. 약액유로용연결장치(11)는제1 연결유닛과제2 연결유닛을갖고있다. 제1 연결유닛은, 제1 약액유로와제1 연결유로와소통유체공급유로에연통하는제1 약액밸브실과, 제1 약액밸브실의제1 내벽면에형성되어있는동시에제1 약액유로에연통되어있는제1 약액개구부를개폐하는제1 밸브체와, 소통유체공급유로를개폐하는소통유체공급제어밸브를갖는다. 제2 연결유닛은, 제2 약액유로와제2 연결유로와소통유체배출유로에연통하는제2 약액밸브실과, 제2 약액밸브실의제2 내벽면에형성되어있는동시에제2 약액유로에접속되어있는제2 약액개구부를개폐하는제2 밸브체와, 소통유체배출제어밸브를갖는다.

6. 发明公开

KR1020130035882A 액체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：液体控制装置
公开(公告)号：KR1020130035882A
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120103259
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027
CPC分类号： F16K49/002 , B01B1/005 , Y10T137/6416 , B01D1/221 , B01J7/00 , B05C11/025 , F16K49/00 , H01L21/0273
摘要： PURPOSE: A liquid control device is provided to promote the spreading of a liquid toward a temperature sensor side with the help of a gas flow from an inlet to an outlet thanks to the fact that a feeding hole formed at a main body is formed at a gas inlet side rather than the temperature sensor side, and thereby efficiently spreading a liquid supplied from the feeding hole toward the temperature sensor side. CONSTITUTION: A liquid control device(30) controlling the spreading of a liquid is equipped with a main body(31) and a mesh unit(47). The main body has a receiving surface(31c) supplied with a liquid. The mesh unit is woven in the shape of a net and installed to touch the receiving surface. A heater heating the receiving surface is installed at the inside of the main body, and a feeding hole supplying the liquid from the inside of the main body to the receiving surface is formed at the main body, and a groove(41) suppressing the spreading of the liquid from the feeding hole to the opposite side of the heater is formed on the receiving surface. A gas inlet and a gas outlet(34a) are formed at the main body, and the inlet is an opening introducing gas from the inside of the main body to a space around the receiving surface, and the outlet is an opening discharging the gas from the space into the inside of the main body, and the inlet and the outlet are formed with the heater placed in between.
摘要翻译：目的：提供一种液体控制装置，借助于从入口到出口的气体流动，促进液体向温度传感器侧的扩展，这是因为在主体上形成的供给孔形成在气体入口侧而不是温度传感器侧，从而有效地将从供给孔供给的液体向温度传感器侧扩散。构成：控制液体扩散的液体控制装置（30）配备有主体（31）和网孔单元（47）。主体具有供给液体的接收表面（31c）。网格单元以网的形状编织并且安装成接触接收表面。在主体的内部设置加热加热接收面的加热器，在主体上形成从主体内部向接收面供给液体的供给孔，以及抑制扩散的槽（41）的液体从供给孔到加热器的相对侧形成在接收表面上。在主体上形成气体入口和气体出口（34a），入口是从主体内部向接收表面周围的空间引入气体的入口，出口是将气体从进入主体内部的空间，入口和出口形成有放置在其间的加热器。

7. 发明公开

KR1020130035881A 액체 제어 장치 审中-实审
标题翻译：液体控制装置
公开(公告)号：KR1020130035881A
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120103257
申请日：2012-09-18
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오께쯔마사유끼 , 이따후지히로시
IPC分类号： B01D1/22 , B01J7/00 , B05C11/02 , H01L21/027
CPC分类号： B01B1/005 , B01D1/221 , B01J7/00 , B05C11/025 , F16K49/00 , F16K49/002 , H01L21/0273
摘要： PURPOSE: A liquid control device is provided to promote the spreading of a liquid toward a temperature sensor side with the help of a gas flow from an inlet to an outlet thanks to the fact that a feeding hole formed at a main body is formed at a gas inlet side rather than the temperature sensor side, and thereby efficiently spreading a liquid supplied from the feeding hole toward the temperature sensor side. CONSTITUTION: A liquid control device(30) controlling the spreading of a liquid is equipped with a main body(31), a mesh unit(47), and a guiding component(52). The main body has a receiving surface(31c) supplied with a liquid. The mesh unit is woven in the shape of a net and installed to touch the receiving surface. The guiding component is installed to touch the main body at the opposite side with respect to the mesh unit. The guiding component is formed by being woven in the shape of a net. A heater heating the receiving surface is installed at the inside of the main body, and a feeding hole supplying the liquid from the inside of the main body to the receiving surface is formed at the main body, and a groove(41) suppressing the spreading of the liquid from the feeding hole to the opposite side of the heater is formed on the receiving surface.
摘要翻译：目的：提供一种液体控制装置，借助于从入口到出口的气体流动，促进液体向温度传感器侧的扩展，这是因为在主体上形成的供给孔形成在气体入口侧而不是温度传感器侧，从而有效地将从供给孔供给的液体向温度传感器侧扩散。构成：控制液体扩散的液体控制装置（30）配备有主体（31），网孔单元（47）和引导部件（52）。主体具有供给液体的接收表面（31c）。网格单元以网的形状编织并安装成接触接收表面。引导部件安装成相对于网格单元在相对侧接触主体。引导部件通过以网的形状编织而形成。在主体的内部设置加热加热接收面的加热器，在主体上形成从主体内部向接收面供给液体的供给孔，以及抑制扩散的槽（41）的液体从供给孔到加热器的相对侧形成在接收表面上。

8. 发明授权

KR101660115B1 약액 회로 장치 有权
标题翻译：化学液体电路设备
公开(公告)号：KR101660115B1
公开(公告)日：2016-09-26
申请号：KR1020140126712
申请日：2014-09-23
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/02
摘要： 본발명의과제는약액유로의분리에있어서의약액의누설을억제하는기술을제공하는것이다. 본발명은제1 연결유로와제2 연결유로에있어서약액의유로의연결과절단이가능한약액유로용연결장치(11)를제공한다. 약액유로용연결장치(11)는제1 연결유닛과제2 연결유닛을갖고있다. 제1 연결유닛은, 제1 약액유로와제1 연결유로와소통유체공급유로에연통하는제1 약액밸브실과, 제1 약액밸브실의제1 내벽면에형성되어있는동시에제1 약액유로에연통되어있는제1 약액개구부를개폐하는제1 밸브체와, 소통유체공급유로를개폐하는소통유체공급제어밸브를갖는다. 제2 연결유닛은, 제2 약액유로와제2 연결유로와소통유체배출유로에연통하는제2 약액밸브실과, 제2 약액밸브실의제2 내벽면에형성되어있는동시에제2 약액유로에접속되어있는제2 약액개구부를개폐하는제2 밸브체와, 소통유체배출제어밸브를갖는다.

9. 发明授权

KR101634420B1 진공 제어 시스템 및 진공 제어 방법 有权
标题翻译：真空控制系统和真空控制方法
公开(公告)号：KR101634420B1
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020130018039
申请日：2013-02-20
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
摘要： 본발명의과제는진공용기의내부에있어서의가스의흐름을제어하는기술을제공하는것이다. 가스공급부로부터프로세스가스의공급을받아프로세스대상에프로세스를실행하는진공용기(500)에있어서의프로세스가스의진공압력과흐름을진공펌프를사용하여제어하는진공제어시스템(10)을제공한다. 진공제어시스템(10)은진공용기(500)에있어서서로상이한위치에배치된복수의가스배출구(561, 562)의각각과진공펌프(300) 사이에접속되어있는각 진공제어밸브(100, 200)와, 프로세스대상에공급되는프로세스가스의진공압력을계측하는압력계측부(631)와, 계측된진공압력에따라서복수의진공제어밸브(561, 562)의각각의개방도를조작하는제어장치(610)를구비한다.

10. 发明公开

KR1020130036266A 진공 제어 시스템 및 진공 제어 방법 有权
标题翻译：真空控制系统和真空控制方法
公开(公告)号：KR1020130036266A
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：KR1020130018039
申请日：2013-02-20
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이따후지히로시 , 고오께쯔마사유끼
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K31/126 , H01L21/6719
摘要： PURPOSE: A vacuum control system and a vacuum control method are provided to control a gas flow in a vacuum container by controlling a direction of a processing gas. CONSTITUTION: A vacuum container(500) receives a processing gas from a gas supply unit to process an object. A vacuum control valve(100,200) is connected between a vacuum pump(300) and each gas outlet(561,562) arranged in the vacuum container. A pressure measuring unit(631) measures the vacuum pressure of the processing gas supplied to the object. A controller(610) controls the opening of each vacuum control valve according to the measured vacuum pressure. [Reference numerals] (610) Controller; (620) Correction value data storage unit; (AA) Gas(flow rate Q); (pv1) Reference valve opening command value; (Pv2) Valve position command value; (Pva) Offset valve opening command value;
摘要翻译：目的：提供真空控制系统和真空控制方法，通过控制处理气体的方向来控制真空容器中的气体流量。构成：真空容器（500）从气体供应单元接收处理物体的处理气体。真空控制阀（100,200）连接在真空泵（300）和布置在真空容器中的每个气体出口（561,562）之间。压力测量单元（631）测量供应给物体的处理气体的真空压力。控制器（610）根据测得的真空压力来控制每个真空控制阀的打开。（附图标记）（610）控制器; （620）校正值数据存储单元; （AA）气体（流量Q）; （pv1）参考阀打开指令值; （Pv2）阀位指令值; （Pva）偏置阀开启指令值;

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