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1. 发明公开

KR1020160101130A 웨이퍼 보트 审中-实审
标题翻译： WAFER BOAT
公开(公告)号：KR1020160101130A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：KR1020167019575
申请日：2014-12-19
申请人： 센트로테에름 인터내셔널 아게
发明人： 라이헤르트,안드레아스 , 켈러,안드레아스
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67316 , H01L21/67109 , H01L21/67313 , H01L21/67346 , H01L21/67383
摘要： 웨이퍼들, 특히반도체웨이퍼들을수용하기위한웨이퍼보트로서,웨이퍼보트는, 석영으로만들어진적어도 2 개의기다란수용요소들―각각은복수개의평행한수용슬롯들을가지며, 이슬롯들은수용요소들의길이방향연장부에대해횡방향으로연장함―; 및 2 개의단부플레이트들을가지며, 이들사이에서, 수용요소들이배열되고, 부착되어수용요소들의수용슬롯들이정렬된다. 안정성을증가시키기위해서, 웨이퍼보트는복수개의부착편들을포함하며, 상기부착편들을통해서, 수용요소들이단부플레이트들에부착되며, 각각의부착편은수용슬롯들을포함하는수용요소들의수용섹션의둘레만큼적어도 1.5 배큰 둘레를가지며, 각각의부착편은단부플레이트및 수용요소중 적어도하나에용접되거나접합된다. 상기와조합될수 있는추가의실시예에서, 수용요소들각각은단부플레이트들에인접한적어도하나의이완슬롯, 바람직하게는수용슬롯들의깊이보다작은깊이를갖는적어도 2 개의이완슬롯들을갖는다. 적어도 2 개의이완슬롯들이제공될때, 그의깊이는엔트플레이트들에대해증가된거리와함께증가된다.

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