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1. 发明公开

KR1020050076839A 표본 검사 시스템 및 표본 검사 방법 失效
标题翻译：样品检验系统和样品检验方法
公开(公告)号：KR1020050076839A
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：KR1020050062023
申请日：2005-07-11
申请人： 세이코 프리씨존 인크. , 국립연구개발법인 양자과학기술연구개발기구
发明人： 야스다나카히로 , 벤톤에릭 , 이시이히토시 , 타카야마스미코 , 이나가키신스케 , 코바야시이사오 , 히가시마타아츠시 , 혼마요시히로 , 우메시마요스케
IPC分类号： G01B9/04
CPC分类号： G06T1/0007 , G01N15/1468 , G06T2207/10056 , G06T2207/30024 , H04N13/236 , H04N13/271
摘要： ÄProblemÜ To promptly display the picture data of a plurality of layers of different sample depths on display means. and to display the predeterminedplanar region of a picture having a very large imaging region, easily and promptly at a plurality of spots merely by transmitting the conditions of small data quantities. ÄMeans for ResolutionÜ There are comprised means 653 for generating sample picture data of a plurality of layers of different sample depths from a sample 601 through electronic imaging devices 631 for the respective layers, and for storing the generated sample picture data, means for designating a planar region which is to be extracted from the respective sample picture data, means for extracting extraction picture data corresponding to the planar region, for the respective layers from the respective sample picture data upon receiving the designation of the planar region, and for storing the extraction picture data, and a picture processing apparatus 651 which displays the extracted pictures of the respective layers on display means 652 in an alternative way or simultaneously in a combination of two or more of them, on the basis of the respective extraction picture data of the respective layers. And A method and a system comprising the display layer setting step of setting a first condition which designates a single layer picture 42a to be displayed at a specified terminal 41, on the basis of picture data 42 that have been imaged for a plurality of respective layers of different sample depths from a sample; the display region setting step of setting a second condition which designates a predetermined planar region that is to be extracted from the layer picture 42a designated by the first condition; the first picture display step of displaying the predetermined planar region extracted from the layer picture 42a, at the specified terminal 41 in accordance with the first and second conditions; the condition transmission step of transmitting the first and second conditions to another terminal 52 ; and the second picture display step of displaying a predetermined correspondent planar region corresponding to the predetermined planar region, at the other terminal 51 in accordance with the first and second conditions that have been transmitted to the other terminal 51 and on the basis of correspondent picture data 52 that have been prestored at the other terminal 51 in correspondence with the picture data 42.

2. 发明授权

KR100897674B1 표본 검사 시스템 및 표본 검사 방법 失效
标题翻译：样品检验系统和样品检验方法
公开(公告)号：KR100897674B1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020050062023
申请日：2005-07-11
申请人： 세이코 프리씨존 인크. , 국립연구개발법인 양자과학기술연구개발기구
发明人： 야스다나카히로 , 벤톤에릭 , 이시이히토시 , 타카야마스미코 , 이나가키신스케 , 코바야시이사오 , 히가시마타아츠시 , 혼마요시히로 , 우메시마요스케
IPC分类号： G01B9/04
CPC分类号： G06T1/0007 , G01N15/1468 , G06T2207/10056 , G06T2207/30024 , H04N13/236 , H04N13/271
摘要： 표본 깊이가 다른 복수의 층 화상 데이터를 신속하게 표시 수단에 표시시킨다. 또한, 적은 데이터량의 조건을 송신할 뿐으로, 광대한 촬상 영역을 갖는 화상의 소정의 평면 영역을 복수의 지점에서 간단하면서 신속하게 표시한다.
해결 수단
표본(601)으로부터 표본 깊이가 다른 복수의 층마다 전자 촬상 장치(631)를 통하여 각 층의 표본 화상 데이터를 생성하고 기억하는 수단(653)과, 각 표본 화상 데이터로부터 추출하여야 할 평면 영역을 지정하는 수단과, 평면 영역의 지정을 받아서 각 표본 화상 데이터로부터 평면 영역에 대응한 추출 화상 데이터를 각 층마다 추출하고 기억하는 수단과, 각 층마다의 각 추출 화상 데이터에 의거하여 각 층의 추출 화상을 택일적으로 또는 그 복수의 조합을 동시적으로 표시 수단(652)에 표시시키는 화상 처리 장치(651)를 구비한다. 또한, 표본으로부터 표본 깊이가 다른 복수의 층마다 촬상한 화상 데이터(42)에 의거하여 특정 단말(41)에 표시하여야 할 하나의 층 화상(42a)을 지정하는 제 1 조건을 설정하는 표시층 설정 단계와, 제 1 조건으로 지정된 층 화상(42a)로부터 추출하여야 할 소정의 평면 영역을 지정하는 제 2 조건을 설정하는 표시 영역 설정 단계와, 제 1 및 제 2 조건에 따라, 층 화상(42a)으로부터 추출된 소정의 평면 영역을 특정 단말(41)에 표시하는 제 1의 화상 표시 단계와, 제 1 및 제 2 조건을 다른 단말(52)에 송신하는 조건 송신 단계와, 다른 단말(51)에 송신한 제 1 및 제 2 조건에 따라, 화상 데이터(42)에 대응하 여 다른 단말(51)에 미리 기억하고 있는 대응 화상 데이터(52)에 의거하여 다른 단말(51)에 소정의 평면 영역에 대응한 대응 소정의 평면 영역을 표시시키는 제 2의 화상 표시 단계를 구비하는 방법 및 시스템.
표본 화상 데이터

3. 发明公开

KR1020040038743A 표본 화상 데이터 처리 방법, 표본 검사 시스템 및 표본검사 방법 无效
标题翻译：用于处理样本图像数据的方法，用于检验样本的方法，用于检查图像数据创建和存储单元的系统用于创建和存储具有不同样本深度的多个层的图像数据
公开(公告)号：KR1020040038743A
公开(公告)日：2004-05-08
申请号：KR1020030075423
申请日：2003-10-28
申请人： 세이코 프리씨존 인크. , 국립연구개발법인 양자과학기술연구개발기구
发明人： 야스다나카히로 , 벤톤에릭 , 이시이히토시 , 타카야마스미코 , 이나가키신스케 , 코바야시이사오 , 히가시마타아츠시 , 혼마요시히로 , 우메시마요스케
IPC分类号： G01B9/04
CPC分类号： G06T1/0007 , G01N15/1468 , G06T2207/10056 , G06T2207/30024 , H04N13/236 , H04N13/271
摘要： PURPOSE: A method for processing sample image data and a system and a method for examining a sample are provided to quickly display image data including plural layers having different sample depths on a display unit by using the system for examining the sample. CONSTITUTION: A method for examining a sample is provided with a display layer setting step of setting a first condition of designating one layer image(42a) to be displayed on a specific terminal(41) by using image data(42) photographed for every plural layers having different sample depths from the sample. The method for examining the sample is provided with a display region setting step of setting a second condition of designating a prescribed planar region to be extracted from the layer image(42a) specified by the first condition. The method for examining the sample is provided with a first image display step of displaying the prescribed planar region extracted from the layer image(42a) on the specific terminal(41).
摘要翻译：目的：提供一种用于处理样本图像数据的方法以及用于检查样本的系统和方法，通过使用用于检查样本的系统，在显示单元上快速显示包括具有不同样本深度的多个层的图像数据。规定：检查样本的方法具有显示层设定步骤，通过使用拍摄的每个复数的图像数据（42）来设定指定要在特定终端（41）上显示的一层图像（42a）的第一条件层与样品具有不同的样品深度。检查样本的方法具有显示区域设置步骤，从由第一条件指定的层图像（42a）设置指定要提取的规定平面区域的第二条件。检查样本的方法具有第一图像显示步骤，用于在特定终端（41）上显示从层图像（42a）提取的规定平面区域。

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