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    • 1. 发明公开
    • 표본 검사 시스템 및 표본 검사 방법
    • 样品检验系统和样品检验方法
    • KR1020050076839A
    • 2005-07-28
    • KR1020050062023
    • 2005-07-11
    • 세이코 프리씨존 인크.국립연구개발법인 양자과학기술연구개발기구
    • 야스다나카히로벤톤에릭이시이히토시타카야마스미코이나가키신스케코바야시이사오히가시마타아츠시혼마요시히로우메시마요스케
    • G01B9/04
    • G06T1/0007G01N15/1468G06T2207/10056G06T2207/30024H04N13/236H04N13/271
    • ÄProblemÜ To promptly display the picture data of a plurality of layers of different sample depths on display means. and to display the predeterminedplanar region of a picture having a very large imaging region, easily and promptly at a plurality of spots merely by transmitting the conditions of small data quantities. ÄMeans for ResolutionÜ There are comprised means 653 for generating sample picture data of a plurality of layers of different sample depths from a sample 601 through electronic imaging devices 631 for the respective layers, and for storing the generated sample picture data, means for designating a planar region which is to be extracted from the respective sample picture data, means for extracting extraction picture data corresponding to the planar region, for the respective layers from the respective sample picture data upon receiving the designation of the planar region, and for storing the extraction picture data, and a picture processing apparatus 651 which displays the extracted pictures of the respective layers on display means 652 in an alternative way or simultaneously in a combination of two or more of them, on the basis of the respective extraction picture data of the respective layers. And A method and a system comprising the display layer setting step of setting a first condition which designates a single layer picture 42a to be displayed at a specified terminal 41, on the basis of picture data 42 that have been imaged for a plurality of respective layers of different sample depths from a sample; the display region setting step of setting a second condition which designates a predetermined planar region that is to be extracted from the layer picture 42a designated by the first condition; the first picture display step of displaying the predetermined planar region extracted from the layer picture 42a, at the specified terminal 41 in accordance with the first and second conditions; the condition transmission step of transmitting the first and second conditions to another terminal 52 ; and the second picture display step of displaying a predetermined correspondent planar region corresponding to the predetermined planar region, at the other terminal 51 in accordance with the first and second conditions that have been transmitted to the other terminal 51 and on the basis of correspondent picture data 52 that have been prestored at the other terminal 51 in correspondence with the picture data 42.
    • 2. 发明授权
    • 표본 검사 시스템 및 표본 검사 방법
    • 样品检验系统和样品检验方法
    • KR100897674B1
    • 2009-05-14
    • KR1020050062023
    • 2005-07-11
    • 세이코 프리씨존 인크.국립연구개발법인 양자과학기술연구개발기구
    • 야스다나카히로벤톤에릭이시이히토시타카야마스미코이나가키신스케코바야시이사오히가시마타아츠시혼마요시히로우메시마요스케
    • G01B9/04
    • G06T1/0007G01N15/1468G06T2207/10056G06T2207/30024H04N13/236H04N13/271
    • 표본 깊이가 다른 복수의 층 화상 데이터를 신속하게 표시 수단에 표시시킨다. 또한, 적은 데이터량의 조건을 송신할 뿐으로, 광대한 촬상 영역을 갖는 화상의 소정의 평면 영역을 복수의 지점에서 간단하면서 신속하게 표시한다.
      해결 수단
      표본(601)으로부터 표본 깊이가 다른 복수의 층마다 전자 촬상 장치(631)를 통하여 각 층의 표본 화상 데이터를 생성하고 기억하는 수단(653)과, 각 표본 화상 데이터로부터 추출하여야 할 평면 영역을 지정하는 수단과, 평면 영역의 지정을 받아서 각 표본 화상 데이터로부터 평면 영역에 대응한 추출 화상 데이터를 각 층마다 추출하고 기억하는 수단과, 각 층마다의 각 추출 화상 데이터에 의거하여 각 층의 추출 화상을 택일적으로 또는 그 복수의 조합을 동시적으로 표시 수단(652)에 표시시키는 화상 처리 장치(651)를 구비한다. 또한, 표본으로부터 표본 깊이가 다른 복수의 층마다 촬상한 화상 데이터(42)에 의거하여 특정 단말(41)에 표시하여야 할 하나의 층 화상(42a)을 지정하는 제 1 조건을 설정하는 표시층 설정 단계와, 제 1 조건으로 지정된 층 화상(42a)로부터 추출하여야 할 소정의 평면 영역을 지정하는 제 2 조건을 설정하는 표시 영역 설정 단계와, 제 1 및 제 2 조건에 따라, 층 화상(42a)으로부터 추출된 소정의 평면 영역을 특정 단말(41)에 표시하는 제 1의 화상 표시 단계와, 제 1 및 제 2 조건을 다른 단말(52)에 송신하는 조건 송신 단계와, 다른 단말(51)에 송신한 제 1 및 제 2 조건에 따라, 화상 데이터(42)에 대응하 여 다른 단말(51)에 미리 기억하고 있는 대응 화상 데이터(52)에 의거하여 다른 단말(51)에 소정의 평면 영역에 대응한 대응 소정의 평면 영역을 표시시키는 제 2의 화상 표시 단계를 구비하는 방법 및 시스템.
      표본 화상 데이터