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1. 发明授权

KR101061997B1 엘씨디 레티클 케이스 有权
标题翻译：照明标线案例
公开(公告)号：KR101061997B1
公开(公告)日：2011-09-05
申请号：KR1020090022708
申请日：2009-03-17
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/027
摘要： 본 발명은 대형의 LCD에 사용되는 대형의 마스크를 노광기로 투입하는 등에 사용되는 레티클 케이스에 관한 것이다. 본 발명의 레티클 케이스는, 저면에 지지되고, 상부에 올려지는 마스크를 지지하고, 합성수지재로 성형되는 다수개의 마스크스탠드를 구비하는 바디와; 상기 바디의 상부에 결합되어 그 사이에 형성되는 밀폐되고, 내부가 투시 가능한 복수개의 투시창을 구비하는 커버; 그리고 마스크가 상기 바디의 내부에 안착된 상태를 감지하는 감지수단을 포함한다. 그리고 상기 커버는 십자형의 프레임부에 의하여 구분되는 4개의 투시창을 구비되고, 커버의 중심부분은 가장 자리 부분에 비하여 약간 높게 설계되어 있다.
마스크, 레티클케이스, LCD, 노광
摘要翻译：技术领域本发明涉及一种用于将用于大型LCD的大型掩模放入曝光机中的标线片壳体。本发明的光罩的情况下，被支撑在所述下表面上，并且被放置在顶部，用于支撑掩模的身体，并具有多个支架掩模的被模制的合成树脂材料的; 一个与本体的上部连接并具有多个形成在它们之间的可视且可检视的窗口的盖子; 并且感测装置用于感测面罩位于身体内部的状态。盖子设有四个由十字形框架部分分开的观察窗，盖子的中心部分设计成略高于边缘部分。

2. 发明公开

KR1020100104345A 엘씨디 레티클 케이스 有权
标题翻译：液晶显示器
公开(公告)号：KR1020100104345A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：KR1020090022708
申请日：2009-03-17
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70791 , G03F7/70808
摘要： PURPOSE: An LCD reticle case is provided to reduce the weight of a case and stably transfer a large mask to an exposing device without damage. CONSTITUTION: An LCD reticle case includes a body(10), a cover(30), and a sensor(20). The body supports a mask and includes a mask stand made of plastic materials. The cover is combined with the upper side of the body and includes a plurality of transmitting windows. The sensor senses the received mask in the body.
摘要翻译：目的：提供一个LCD掩模版外壳，以减少外壳的重量，并将大面罩稳定地传送到曝光装置，而不会损坏。构成：一个LCD掩模壳体包括主体（10），盖（30）和传感器（20）。身体支撑面罩，并包括由塑料材料制成的面罩支架。盖与主体的上侧结合并且包括多个传送窗。传感器感测身体中接收到的面罩。

3. 发明授权

KR100536000B1 마스크 보관케이스의 지지블록 有权
标题翻译： SURPORT BLUCK FOR MASK CASE
公开(公告)号：KR100536000B1
公开(公告)日：2005-12-12
申请号：KR1020030071530
申请日：2003-10-14
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은 마스크보관케이스에 관한 것으로써, 특히 수납된 마스크를 지지고정하되 상기 마스크의 상,하면의 테두리에만 접촉되어 지지고정하는 고정부가 형성된 지지블록을 마스크보관케이스의 상,하부케이스의 소정부분에 다수 돌설하여, 상기 지지블록에 의하여 상기 마스크의 마스크 보관케이스에 수납된 상태에서 안정적으로 지지고정되도록 함은 물론이고 상기 고정부의 표면에 자체 탄력을 갖는 완충부재를 구비하여 지지블록에 의하여 지지고정되는 마스크의 소정부위가 접촉력에 의하여 훼손되는 것을 미연에 방지할 수 있는 마스크보관케이스의 지지블록을 제공하는 것이다.
이에 본 발명은 수납된 마스크를 지지고정하도록 상부케이스와 하부케이스에 각각 일체형으로 다수 돌설된 마스크보관케이스의 지지블록에 있어서, 상기 지지블록은 돌출단부에 상기 마스크의 상,하부면의 테두리만 일정길이 선접촉되도록 수평경계부를 중심으로 일정범위 내의 사이각을 갖는 상측경사면과 하측경사면으로 형성되는 고정부와, 상기 고정부의 표면 전체 또는 일부분에 도포 및 부착되는 자체탄력을 갖는 연성의 완충부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크보관케이스의 지지블록을 제공한다.

4. 实用新型

KR2020000011406U 마스크 보관케이스 失效
公开(公告)号：KR2020000011406U
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：KR2019980023837
申请日：1998-12-02
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본 고안은 마스크 보관 케이스에 관한 것으로써, 마스크 보관 케이스의 상부 및 하부 케이스의 소정 부분에 마스크의 모서리 하면과 측면을 지지고정하기 위한 고정수단을 가진 지지블록을 다수개 형성하여 마스크의 수납 보관시 마스크의 모서리 하면과 측면이 고정수단에 의해 지지고정되어 안정적인 마스크의 수납 보관시 마스크의 손상과 이물질 발생을 감소시킨 마스크 보관 케이스에 관한 것이다.

5. 发明公开

KR1020050035759A 마스크 보관케이스의 지지블록 有权
标题翻译：支持蒙板存储箱
公开(公告)号：KR1020050035759A
公开(公告)日：2005-04-19
申请号：KR1020030071530
申请日：2003-10-14
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은 마스크보관케이스에 관한 것으로써, 특히 수납된 마스크를 지지고정하되 상기 마스크의 상,하면의 테두리에만 접촉되어 지지고정하는 고정부가 형성된 지지블록을 마스크보관케이스의 상,하부케이스의 소정부분에 다수 돌설하여, 상기 지지블록에 의하여 상기 마스크의 마스크 보관케이스에 수납된 상태에서 안정적으로 지지고정되도록 함은 물론이고 상기 고정부의 표면에 자체 탄력을 갖는 완충부재를 구비하여 지지블록에 의하여 지지고정되는 마스크의 소정부위가 접촉력에 의하여 훼손되는 것을 미연에 방지할 수 있는 마스크보관케이스의 지지블록을 제공하는 것이다.
이에 본 발명은 수납된 마스크를 지지고정하도록 상부케이스와 하부케이스에 각각 일체형으로 다수 돌설된 마스크보관케이스의 지지블록에 있어서, 상기 지지블록은 돌출단부에 상기 마스크의 상,하부면의 테두리만 일정길이 선접촉되도록 수평경계부를 중심으로 일정범위 내의 사이각을 갖는 상측경사면과 하측경사면으로 형성되는 고정부와, 상기 고정부의 표면 전체 또는 일부분에 도포 및 부착되는 자체탄력을 갖는 연성의 완충부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크보관케이스의 지지블록을 제공한다.

6. 实用新型

KR200354552Y1 감광원판 보관케이스 失效
标题翻译：感光光盘存储盒
公开(公告)号：KR200354552Y1
公开(公告)日：2004-10-16
申请号：KR2019980017054
申请日：1998-09-08
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： G03C3/00
摘要： 본 고안은 감광원판 보관 케이스에 관한 것으로써, 선행기술인 국내실용신안출원 제 111514 호 "감광원판 보관케이스"에서 상면덮개를 닫힌 상태로 유지하고자 할 때 협지스프링을 잠금방향으로 이동시켜 돌기편에 의해 잠금상태를 유지하고, 상면덮개를 개방하고자 할 때 협지스프링을 뒤로 젖혀 돌기편에서 이탈하여 잠금상태를 해제하는 과정에서 돌기편이 협지스프링의 반복적인 잠금방향과 해제방향으로 이동에 따라 협지스프링과의 마찰에 의해 돌기편의 마모 및 파손이 발생되어 감광원판 케이스내에 보관된 감광원판의 표면으로 마모 및 파손된 이물질이 부착되는 문제점이 발생된 바, 돌기편을 교체가능한 돌기핀으로 형성하고 내마모성과 내구성이 뛰어난 재질로 형성하여 돌기핀과 협지스프링간의 마찰에 의해 발생되는 이물질을 억제함으� ��써 감광원판 보관케이스의 감광원판 보관안정성을 향상시키고 지속적인 감광원판 보관케이스의 사용이 가능한 감광원판 보관케이스이다.

7. 实用新型

KR200312337Y1 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재 失效
标题翻译：晶圆储存容器的晶圆缓冲构件
公开(公告)号：KR200312337Y1
公开(公告)日：2003-05-09
申请号：KR2020030004560
申请日：2003-02-17
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 고안은 웨이퍼 수납용기에서 그안에 수납된 다수의 웨이퍼가 운반중에 유동되는 것을 방지하도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것으로써, 특히 웨이퍼 완충부재의 탄성편의 선단하부면의 계지부에 웨이퍼의 상연부의 삽지가 용이하도록 하고 또한, 수납용기의 운반시 발생하는 진동에 의하여 계지부에 상연부가 삽지된 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것이다.
이에, 본 고안은 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 하방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 구비한 웨이퍼 완충부재에 있어서; 상기 탄성편의 산단하부면의 계지부는 선단은 삽지되는 웨이퍼의 상연부가 선단에서 일측으로 슬라이딩되지 않도록 좌측벽과 우측벽을 대칭형으로 형성하고, 상기 일측벽과 근접된 탄성편의 계지부의 일측부는 중첩되지 않도록 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다. 그리고 상기 탄성편은 장축 탄성편과 단축 탄성편으로 형성하여 장축 탄성편과 단축 탄성편을 순차적으로 교차하여 연속적으로 배열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다.

8. 实用新型

KR2019990041341U 크린룸 와이퍼 失效
公开(公告)号：KR2019990041341U
公开(公告)日：1999-12-15
申请号：KR2019980008161
申请日：1998-05-18
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 고안은 종래의 크린룸 와이퍼가 가지는 문제점 즉 가장자리 씰링 부분이 딱딱하여 부러지거나 크랙이 가서 파티클이 발생되는 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 크린룸 와이퍼의 씰링부분을 연속적으로 하지 아니하고, 씰링부분과 씰링하지 아니한 부분을 번갈아서 매우 조밀하게 형성하므로서, 씰링부분이 부러지지 아니하고 씰링이 없는 부분에 의하여 가요성이 증대되게 하여 파티클 발생을 줄이려는 것이다.
본 고안의 크린룸 와이퍼는 섬유 직물의 가장자리에 가장자리의 가로 방향으로 일정한 폭을 가지는 씰링부분과 가장자리 가로 방향으로 일정한 폭을 가지는 불씰링부분이 연속되게 형성된 것이다.
또 씰링부분은 가장자리 경계선 부분에 형성된 씰링부분의 폭은 넓고 직물의 안쪽 방향 끝에 형성된 씰링부분의 폭은 점차 좁아지게 형성되고, 가장자리 부분에 형성된 두 개의 상기 씰링부분 사이에 상기 씰링부분의 폭이 점차 좁아지는 부분으로부터 일정한 간격을 두고 가장자리 부분에 형성된 두 개의 상기 씰링부분과는 별도로 씰링부분의 섬을 추가로 하여도 된다.
여기 씰링부분과 씰링부분의 사이에 존재하는 불씰링부분의 폭은 대략 2 밀리미터 이하로 하고, 상기 씰링부분의 폭은 대략 4 밀리미터 이하로 하는 것이 좋다.

9. 发明公开

KR1020150144974A 투시부를 포함하는 포토마스크 케이스 无效
标题翻译：具有渗透部分的照片盒
公开(公告)号：KR1020150144974A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140074107
申请日：2014-06-18
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/027 , B65D25/34
CPC分类号： G03F1/66 , G03F1/14 , G03F1/26 , G03F1/32 , G03F1/46 , G03F1/82 , G03F1/84
摘要： 본발명에따른투시부를포함하는포토마스크케이스는, 베이스, 및상기베이스로부터개폐가능하게형성된커버를포함하고, 상기커버가폐쇄된상태에서외부로부터밀폐된수용공간을형성하며, 폴리카보네이트가혼입된하우징, 상기베이스및 상기커버에구비되어상기수용공간에수용되는포토마스크를지지하는지지부및 상기하우징에구비되며, 투명성을가지도록형성되어상기커버가폐쇄된상태에서외부로부터상기수용공간을육안으로확인할수 있도록하는투시부를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种包括穿透部分的光掩模壳体。根据本发明，光掩模壳体包括：壳体，其包括基部和形成为从基座开放的盖，形成在盖封闭时从外部密封的容纳空间，并与聚碳酸酯混合; 支撑部，其设置在所述基部和所述盖上，以支撑容纳在所述容纳空间中的光掩模; 以及设置在所述壳体中的穿透部，其形成为具有透明性，并且允许使用者在所述盖关闭时用肉眼从外部检查容纳空间。

10. 发明公开

KR1020110089645A 웨이퍼 휨 감지수단을 구비한 웨이퍼 이송장치 및 그 제어방법 无效
标题翻译：具有检测波浪温度的波浪传输及其控制方法
公开(公告)号：KR1020110089645A
公开(公告)日：2011-08-09
申请号：KR1020100009138
申请日：2010-02-01
申请人： 세양전자 주식회사
发明人： 조승열
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J9/16 , G06K9/36
CPC分类号： H01L21/67288 , B25J9/1664 , G06K9/36 , H01L21/67742 , H01L21/681
摘要： PURPOSE: A wafer transfer device including a wafer bending detecting means and a controlling method thereof are provided to use a wafer bending detecting means like a micro camera before picking up the wafer by tweezers in a shipping box, thereby preventing picking up bent wafers by the tweezers. CONSTITUTION: A wafer bending detecting means detects a wafer(100) bending. A control part(420) controls tweezers operation in order to not transfer a bent wafer to process equipment(900) by operating image data acquired from the wafer bending detecting means. A wafer transfer device includes the wafer bending detecting means and the control part. The wafer bending detecting means is a micro camera(500) installed in the end of tweezers(200) in order to achieve an image by scanning the wafer aligned up and down in a shipping box(10).
摘要翻译：目的：提供一种包括晶片弯曲检测装置及其控制方法的晶片传送装置，以便在通过运送箱中的镊子拾取晶片之前，使用诸如微型相机的晶片弯曲检测装置，从而防止通过镊子。构成：晶片弯曲检测装置检测晶片（100）弯曲。控制部件（420）通过操作从晶片弯曲检测装置获取的图像数据来控制镊子的操作，以便不将弯曲的晶片传送到处理设备（900）。晶片转移装置包括晶片弯曲检测装置和控制部分。晶片弯曲检测装置是安装在镊子（200）末端的微型照相机（500），以通过扫描在运送箱（10）中上下对齐的晶片来实现图像。

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