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    • 4. 发明公开
    • 빔 구조를 이용한 에스오엔 모스 트랜지스터 및 이를 이용한 인버터 소자 및 이들의 제조 방법
    • 使用光束结构的SON MOSFET及其使用的逆变器及其制造方法
    • KR1020060094288A
    • 2006-08-29
    • KR1020050015337
    • 2005-02-24
    • 한국과학기술원
    • 권일웅이용수이희철
    • H01L21/336
    • H01L29/66772H01L21/84H01L27/1203H01L29/78654
    • 본 발명은 반도체 소자 중 모스 트랜지스터의 성능을 향상시키기 위한 빔(beam) 구조의 SON(Silicon-On-Nothing) 모스 트랜지스터 및 이를 이용한 인버터 소자 및 이들의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 SON 모스 트랜지스터는 반도체 기판 상에 패시베이션막을 형성하고 패터닝을 하는 단계; 패터닝된 패시베이션막 위에 붕소(boron)를 주입하여 붕소층을 형성한 다음, 붕소층을 식각 장벽으로 비등방성 식각을 하여 반도체 기판에 빔 구조를 형성하는 단계; 빔 구조로 형성된 기판에 게이트 절연물질을 증착하는 단계; 증착된 게이트 절연물질 상에 전극 물질을 증착하여 게이트/소오스/드레인 채널을 형성하는 단계를 포함하여 제조된다.
      제조시, 기판의 빔구조에 의해 게이트 절연물질 및 게이트/소오스/드레인의 전극 물질은 자기 정렬(Self-Align) 방식으로 증착되므로 비교적 간단한 공정으로 모스 트랜지스터를 구현할 수 있으며, 게이트와 드레인 사이의 공기층을 통해 소자의 채널 길이가 작아지면서 발생하는 단채널 효과를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
      SON(Silicon-On-Nothing)구조, 모스 트랜지스터, 비등방성 식각, 벌크마이크 로머시닝(Bulkmicromachining), 자기정렬(Self-Align), 단채널 효과
    • 5. 发明授权
    • 자기 보호 특성을 갖는 적외선 볼로미터
    • 自保红宝石
    • KR101181248B1
    • 2012-09-11
    • KR1020110072787
    • 2011-07-22
    • 한국과학기술원
    • 이희철조영민권일웅
    • G01J5/02
    • PURPOSE: An infrared bolometer having a self protection property is provided to solve an afterimage problem occurred when using an infrared bolometer by preventing electric properties of a resistor from being changed in high temperatures. CONSTITUTION: An infrared bolometer comprises an upper substrate(10), a lower substrate(20), a signal bridge(30), and a heat transmitting bridge(40). The upper substrate comprises a resistant in which a resistance is changed according to temperature and an absorption layer absorbing the infrared rays. The lower substrate is spaced from the upper substrate and receives signals according to a change of the resistance of the resistant. The signal bridge mechanically or electrically connects the upper and lower substrate, thereby transmitting the signals to the lower substrate. The heat transmitting bride is connected to the upper substrate and automatically bent according to a temperature change.
    • 目的:提供一种具有自我保护特性的红外测辐射热量计,以解决当使用红外测辐射热计时,通过防止电阻在高温下的电特性而发生的残像问题。 构成:红外测辐射热计包括上基板(10),下基板(20),信号桥(30)和传热桥(40)。 上基板包括其中电阻根据温度改变的电阻和吸收红外线的吸收层。 下基板与上基板间隔开,并根据电阻电阻的变化接收信号。 信号桥机械或电连接上基板和下基板,从而将信号传输到下基板。 传热新娘与上基板连接,并根据温度变化自动弯曲。
    • 6. 发明授权
    • 트렌스듀서와 이를 이용한 응용 소자 및 그 제조 방법
    • 传感器及其各种适用的装置及其制造方法
    • KR100805756B1
    • 2008-02-21
    • KR1020060078936
    • 2006-08-21
    • 한국과학기술원
    • 권일웅황치호김태식이용수이희철
    • H01L31/10H01P1/161
    • H01L31/101H01L31/18
    • A transducer, an application device using the same and a manufacturing method thereof are provided to isolate an absorbent from a substrate thermally by separating a driving unit from a signal unit. First and second conductive layers(120,130) are formed on a substrate(110), and are spaced apart from each other. An absorbent(140) is formed on the first and second conductive layers at a predetermined interval, and is electrically floated. A driving unit(150) supports the absorbent to adjust the interval of the absorbent, and has a bimaterial member. One end of the driving unit is connected to the absorbent, and the other end is connected to the substrate. The first and second conductive layers are connected to each other by a circuit.
    • 提供换能器,使用该换能器的应用装置及其制造方法,通过将驱动单元与信号单元分离来将吸收剂与基板热隔离。 第一和第二导电层(120,130)形成在基板(110)上并且彼此间隔开。 吸收剂(140)以预定的间隔形成在第一和第二导电层上,并且被电漂浮。 驱动单元(150)支撑吸收剂以调节吸收剂的间隔,并且具有双重材料构件。 驱动单元的一端与吸收体连接,另一端与基板连接。 第一和第二导电层通过电路彼此连接。
    • 7. 发明授权
    • 빔 구조를 이용한 에스오엔 모스 트랜지스터 및 이를 이용한 인버터 소자 및 이들의 제조 방법
    • 使用光束结构的SON MOSFET及其逆变器及其制造方法
    • KR100674142B1
    • 2007-01-24
    • KR1020050015337
    • 2005-02-24
    • 한국과학기술원
    • 권일웅이용수이희철
    • H01L21/336
    • H01L29/66772H01L21/84H01L27/1203H01L29/78654
    • 본 발명은 반도체 소자 중 모스 트랜지스터의 성능을 향상시키기 위한 빔(beam) 구조의 SON(Silicon-On-Nothing) 모스 트랜지스터 및 이를 이용한 인버터 소자 및 이들의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 SON 모스 트랜지스터는 반도체 기판 상에 패시베이션막을 형성하고 패터닝을 하는 단계; 패터닝된 패시베이션막 위에 붕소(boron)를 주입하여 붕소층을 형성한 다음, 붕소층을 식각 장벽으로 비등방성 식각을 하여 반도체 기판에 빔 구조를 형성하는 단계; 빔 구조로 형성된 기판에 게이트 절연물질을 증착하는 단계; 증착된 게이트 절연물질 상에 전극물질을 증착하여 게이트/소오스/드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하여 제조된다.
      제조시, 기판의 빔구조에 의해 게이트 절연물질 및 게이트/소오스/드레인의 전극물질은 자기 정렬(Self-Align) 방식으로 증착되므로 비교적 간단한 공정으로 모스 트랜지스터를 구현할 수 있으며, 게이트와 드레인 사이의 공기층을 통해 소자의 채널 길이가 작아지면서 발생하는 단채널 효과를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
      SON(Silicon-On-Nothing)구조, 트랜지스터, 비등방성 식각, 벌크-마이크로머시닝(Bulk-Micromachining), 자기정렬(Self-Align), 단 채널 효과