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1. 发明公开

KR1020060081262A 개인 항법 시스템에서 지도 데이터 다운로드 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于下载个人导航系统中的地图数据的装置和方法
公开(公告)号：KR1020060081262A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020050001882
申请日：2005-01-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현 , 김종현
IPC分类号： G08G1/0969
摘要： 본 발명은 개인 항법 시스템에서 지도 다운로드 장치에 있어서, 지도 데이터가 요구되면 미리 설정된 지도 다운로드 모드에 대응된 지도 데이터를 요구하고, 상기 요구한 지도 데이터를 다운로드받는 단말과, 상기 단말로부터 지도 데이터 요구 시 상기 단말에 미리 설정된 지도 다운로드 모드에 대응된 지도 데이터를 제공하는 서버를 포함한다. 이러한 본 발명은 지도 다운로드 시 사용자가 각 구간별로 자신의 이동목적에 맞게 원하는 모드의 지도 데이터를 다운로드할 수 있도록 하는 효과가 있다.

개인 항법 시스템, 개인 항법 서버, 개인 항법 단말, 지도 다운로드 모드, 지도 데이터

2. 发明公开

KR1020050121891A 네비게이션 시스템에서 경로 이탈지로부터 이탈 전경로까지의 멀티패스를 계산하는 리-라우팅 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于从导航系统中的原始路径中找到从原点路径移除原始路径的多路径的再路由装置和方法
公开(公告)号：KR1020050121891A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：KR1020040046994
申请日：2004-06-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현 , 김진원 , 민현석 , 양성철
IPC分类号： G01C21/34 , G08G1/0968
CPC分类号： G01C21/3415 , G01C21/3446 , G08G1/0968
摘要： 본 발명은 지도데이터를 구비한 네비게이션 시스템(Navigation System)의 리-라우팅(Re-Routing) 장치에 있어서, 네비게이션 시스템으로부터 제공된 소정 정상경로를 주행하던 이동체가 그 경로를 이탈한 경우 상기 지도데이터로부터 그 이탈지 링크정보를 검출하는 이탈정보 검출부와, 상기 이탈지 링크의 인접링크들을 검출하여 검출된 하나 이상의 인접링크들을 시작링크로 각각 설정하는 시작링크 설정부와, 상기 각각의 시작링크로부터 정상경로까지의 적어도 하나 이상의 복귀 경로를 각각 계산하는 경로계산부를 포함함을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 이동체가 네비게이션 시스템에서 제공된 소정 정상경로를 주행할 때 정상경로를 이탈할 경우 그 다음 교차로에서 어느 방향으로 주행하더라도 재이탈 처리를 하지 않고 이동체에게 정상경로로 복귀할 수 있는 다양한 경로를 제시할 수 있다. 또한 본 발명은 이동체에게 다양한 복귀경로를 제시함으로써 이동체의 운전자가 새로운 경로로 진입하기 위해 무리한 차선변경을 시도하는 경우를 줄일 수 있는 효과가 있다.

3. 发明公开

KR1020050036006A 반도체 제조설비의 웨트 스테이션 장치 无效
标题翻译：用于半导体器件的制造设备的湿站设备
公开(公告)号：KR1020050036006A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：KR1020030071305
申请日：2003-10-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 생산성을 높이고 수율을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비의 웨트 스테이션 장치에 대하여 개시한다. 그의 장치는 웨이퍼를 세정 또는 식각하는 복수개의 식각 장치와, 상기 식각 장치를 제어하는 제어부와, 상기 식각 장치의 동작 상태를 표시하는 표시부와, 상기 식각 장치에서 스크러버로 연동되고, 상기 웨이퍼의 식각시 발생되는 배기 가스를 배기하는 배기관과, 상기 배기관을 통하여 배기 되는 상기 배기 가스의 유량을 조절하는 배기 밸브와, 상기 제어부에서 출력되는 제어 신호에 의해 제어되고, 상기 각 식각 장치의 동작 상태에 따라 상기 배기 밸브의 개폐동작을 제어하는 배기 밸브 조절부를 포함하여 이루어진다.

4. 发明公开

KR1020050075874A 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작을 개선한 스핀 스크러버 설비 无效
标题翻译：包括有改进运动的转移机器人的旋转设备
公开(公告)号：KR1020050075874A
公开(公告)日：2005-07-25
申请号：KR1020040003240
申请日：2004-01-16
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현 , 이신열 , 임현우 , 황태하
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67046 , B08B3/12 , H01L21/67051 , H01L21/67778
摘要： 구조가 단순하고 생산성이 향상된 스핀 스크러버 설비에 대하여 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀 스크러버 설비는 인덱스 암 유닛, 웨이퍼 반송 유닛, 3개의 웨이퍼 세정 유닛 및 유틸리티 기능을 하는 보조 유닛을 구비하는데, 웨이퍼 세정 유닛은 웨이퍼 트랜스퍼 로봇이 고정되어 있는 위치로부터 동일한 거리만큼 떨어져서 일측면 및 상하 방향에 위치하고 있으며, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇은 회전 동작 및 상하로 움직이는 동작만 가능하다.

5. 发明公开

KR1020050020328A 습식 세정설비의 웨이퍼 이송시스템 无效
标题翻译：使用检测部件和控制器检查水平对准状态的清洁设备的转移传送系统
公开(公告)号：KR1020050020328A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030058176
申请日：2003-08-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67757 , H01L21/67057 , H01L21/67259
摘要： PURPOSE: A wafer transfer system of wet cleaning equipment is provided to prevent the damage of a wafer and to restrain the contamination of a transfer robot by checking an alignment state of the wafer during a wafer transferring process using a detecting part and a controller. CONSTITUTION: A wafer transfer system of wet cleaning equipment includes a plurality of chemical baths, transfer robots, a detecting part and a controller. The transfer robots(R1 to Rn) are used for loading or unloading selectively wafers(W) to or from the chemical baths. The detecting part(38) is used for checking an alignment state of flat zones of the wafers. The controller is used for determining the alignment state of wafers by using a predetermined signal of the detecting part and controlling the transfer robots according to the alignment state.
摘要翻译：目的：提供湿式清洁设备的晶片传送系统，以防止晶片的损坏并通过使用检测部件和控制器在晶片传送处理期间检查晶片的对准状态来抑制传送机器人的污染。构成：湿式清洗设备的晶片传送系统包括多个化学浴池，传送机器人，检测部件和控制器。传送机器人（R1至Rn）用于从化学浴液中选择性地将晶片（W）装载或卸载。检测部（38）用于检查晶片的平坦区域的取向状态。控制器用于通过使用检测部分的预定信号来确定晶片的对准状态，并根据对准状态控制传送机器人。

6. 发明公开

KR1020070084759A 롤러를 구비하는 습식 세정 장치 无效
标题翻译：湿式清洁设备，包括滚筒
公开(公告)号：KR1020070084759A
公开(公告)日：2007-08-27
申请号：KR1020060016937
申请日：2006-02-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이인철 , 김덕겸 , 문병준 , 최지만 , 남주현
IPC分类号： H01L21/304
摘要： A wet cleaning apparatus having roller is provided to allow a chemical solution to be indirectly supplied on a semiconductor wafer using the roller so that a physical damage generated on the semiconductor wafer by the chemical solution is minimized. A wet cleaning apparatus includes a chamber(100), a stage(102), a roller(R) and a first supply opening(104). The stage is positioned at the bottom of the chamber, and a member(W) to be cleaned rests on the stage. The roller is spaced apart from an upper surface of the stage by a predetermined interval. The first supply opening is positioned to an upper side of the roller so that a cleaning solution(C) is supplied onto the surface of the roller. The roller has a width which is at least identical with that of the member to be cleaned, and moves in parallel in a direction perpendicular to the width thereof. The first supply opening is a slot whose length corresponds to a width direction of the roller or a plurality of injection nozzles which are arranged in the width direction of the roller.
摘要翻译：提供具有辊的湿式清洁装置，以使用该辊间接地供给到半导体晶片上的化学溶液，使得通过化学溶液在半导体晶片上产生的物理损伤最小化。湿式清洗装置包括一个室（100），一个台（102），一个辊子（R）和一个第一供应开口（104）。工作台位于室的底部，待清洁的构件（W）位于工作台上。辊子与工作台的上表面隔开预定间隔。第一供给口位于辊的上侧，使得清洁溶液（C）被供给到辊的表面上。辊的宽度至少与要清洁的构件的宽度相同，并且在垂直于其宽度的方向上平行移动。第一供给口是其长度对应于沿辊的宽度方向配置的辊的宽度方向或多个喷嘴的槽。

7. 发明授权

KR100689512B1 네비게이션 시스템에서 경로 이탈지로부터 이탈 전경로까지의 멀티패스를 계산하는 리-라우팅 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于从导航系统中的原始路径中找到从原点路径移除原始路径的多路径的再路由装置和方法
公开(公告)号：KR100689512B1
公开(公告)日：2007-03-02
申请号：KR1020040046994
申请日：2004-06-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현 , 김진원 , 민현석 , 양성철
IPC分类号： G01C21/34 , G08G1/0968
摘要： 본 발명은 지도데이터를 구비한 네비게이션 시스템(Navigation System)의 리-라우팅(Re-Routing) 장치에 있어서, 네비게이션 시스템으로부터 제공된 소정 정상경로를 주행하던 이동체가 그 경로를 이탈한 경우 상기 지도데이터로부터 그 이탈지 링크정보를 검출하는 이탈정보 검출부와, 상기 이탈지 링크의 인접링크들을 검출하여 검출된 하나 이상의 인접링크들을 시작링크로 각각 설정하는 시작링크 설정부와, 상기 각각의 시작링크로부터 정상경로까지의 적어도 하나 이상의 복귀 경로를 각각 계산하는 경로계산부와, 상기 계산된 하나 이상의 경로를 디스플레이하는 표시부를 포함함을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 이동체가 네비게이션 시스템에서 제공된 소정 정상경로를 주행할 때 정상경로를 이탈할 경우 그 다음 교차로에서 어느 방향으로 주행하더라도 재이탈 처리를 하지 않고 이동체에게 정상경로로 복귀할 수 있는 다양한 경로를 제시할 수 있다. 또한 본 발명은 이동체에게 다양한 복귀경로를 제시함으로써 이동체의 운전자가 새로운 경로로 진입하기 위해 무리한 차선변경을 시도하는 경우를 줄일 수 있는 효과가 있다.
네비게이션, 경로탐색

8. 发明公开

KR1020060105082A 습식 세정장치 无效
公开(公告)号：KR1020060105082A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：KR1020050027460
申请日：2005-04-01
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김태준 , 김정환 , 남주현 , 백인학 , 이현욱
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 습식 세정장치에 관한 것으로서, 이를 위해 본 발명은 각 상단부가 서로 반대 방향으로 회전하도록 소정의 거리를 이격시켜 마주보게 한 웨이퍼 척(30)을 구비하여 배치방식으로 복수의 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 웨이퍼 이송수단과, 일정량의 세정액이 채워지도록 하면서 내부에는 상기 웨이퍼 이송수단으로부터 전달되는 복수의 웨이퍼들이 안치되는 웨이퍼 가이드(50)가 구비되는 배쓰(40)를 구비하는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 웨이퍼 이송수단의 상기 웨이퍼 척(30)은 하단부측의 상부와 하부의 슬롯을 일체로 연결되게 하면서 웨이퍼를 지지하는 부위가 보다 연장되도록 하거나 상기 배쓰(40)의 내부에 구비되는 상기 웨이퍼 가이드(50)에서 웨이퍼를 지지하는 가이드(52)가 6포인트에 형성되도록 하거나 또는 상기 웨이퍼 척(30)은 하단� ��측의 상부와 하부의 슬롯을 일체로 연결되게 하면서 웨이퍼를 지지하는 부위가 보다 연장되도록 하면서 상기 배쓰(40)의 내부에 구비되는 상기 웨이퍼 가이드(50)에서 웨이퍼를 지지하는 가이드(52)가 6포인트에 형성되도록 하는 구성으로 개선함으로써 플랫존 정렬 과정을 생략하여 이물질에 의한 오염 방지와 안정된 세정 및 설비의 간소화 등의 경제적 이점을 제공하는 특징이 있다.
습식 세정, 웨이퍼 척, 슬롯, 웨이퍼 가이드

9. 发明授权

KR100481176B1 기포검출장치가 장착된 웨트 크리닝 설비 失效
标题翻译：湿式清洗设备具有气泡检测装置
公开(公告)号：KR100481176B1
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：KR1020020049320
申请日：2002-08-20
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67253 , B08B3/048 , H01L21/67057 , H01L21/67086
摘要： 본 발명은 웨이퍼를 크리닝하는 케미컬 내부에서 기포가 발생되는 정도를 감지하여 기포의 발생정도가 일정 기준치를 초과하였을 경우 웨이퍼의 크리닝 공정을 일시중단시키는 기포검출장치가 장착된 웨트 크리닝 설비에 관한 것이다.
이와 같은 본 발명 웨트 크리닝 설비는 웨이퍼가 디핑될 때 웨이퍼 상의 오염원들이 제거되도록 다양한 케미컬이 각각 담긴 다수개의 케미컬 배쓰와, 웨이퍼를 드라이시키는 드라이 유닛과, 웨이퍼를 다수개의 케미컬 배쓰와 드라이 유닛에 순차적으로 이송시켜주는 로봇암 및 케미컬 배쓰에 장착되며 케미컬 내부의 기포 발생정도를 감지하여 케미컬 내부에 기포가 과다하게 발생될 경우 공정이 일시중단될 수 있도록 하는 기포감지센서를 포함한다.
이상과 같이 본 발명의 웨트 크리닝 설비는 각 케미컬 배쓰에 기포검출장치 역할을 하는 기포감지센서가 각각 설치되기 때문에 케미컬 내부에 기포의 발생정도를 정확히 감지할 수 있고, 이 기포의 발생정도 감지로 인하여 공정을 진행하는 도중 기포의 발생정도가 일정 기준치를 초과하였을 경우 웨이퍼의 크리닝 공정을 일시중단시키고 점검할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020040092093A 네비게이션시스템에서 경로 이탈지로부터 이탈 전경로까지의 최적 경로를 계산하는 리-라우팅 장치 및방법과 이를 이용한 네비게이션시스템 失效
标题翻译：用于从导航系统和导航系统中的原始路径到达分离位置找到最佳路线的再路由装置和方法
公开(公告)号：KR1020040092093A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：KR1020030025939
申请日：2003-04-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남주현 , 전지연 , 최용익 , 전해돈
IPC分类号： G08G1/0968
CPC分类号： G08G1/096811 , G01C21/3415 , G08G1/096827 , G08G1/096844 , G08G1/096861 , G08G1/096883
摘要： PURPOSE: A re-routing apparatus and a method for finding an optimal paths from an original path to a detached place in a navigation system and a navigation system by using the same are provided to reduce the communication cost to connect with the server by calculating the optimal path. CONSTITUTION: A re-routing method for finding an optimal paths from an original path to a detached place in a navigation system includes the steps of: a first process for extracting the detached place link information from the map data when the moving object driving the predetermined path supplied from the navigation system is detached from the path(s110); and a second process for determining the path to the destination via the link selected from the detached place as a re-routing path by selecting a predetermined link among the links including the previous detached paths(s130- s140). The predetermined link meets the link extending in a direction having a short accumulated driving cost.
摘要翻译：目的：提供一种重新路由设备和用于通过使用该路由设备和导航系统以及导航系统中的原始路径到分离位置的最佳路径，以减少通过计算服务器来连接服务器的通信成本最佳路径。构成：用于在导航系统中找到从原始路径到分离位置的最佳路径的重新路由方法包括以下步骤：当运动对象驾驶预定的行驶对象时，从地图数据中提取分离的地点链接信息的第一过程从导航系统提供的路径与路径分离（s110）; 以及第二过程，用于通过选择包括先前分离的路径的链路中的预定链路来确定通过从分离的地点选择的链路到目的地的路径（s130至s140）。预定的连杆满足在具有短积累的驾驶成本的方向上延伸的连杆。

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