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1. 发明公开

KR1020170138207A 표면 검사 방법 审中-实审
标题翻译：表面检查方法
公开(公告)号：KR1020170138207A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：KR1020160070310
申请日：2016-06-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박준범 , 강경식 , 김태중 , 전병환 , 주재철
IPC分类号： G01N21/65 , G01B11/30 , G01N21/95
CPC分类号： H01L22/12 , G01J3/42 , G01J2003/2833 , G01N21/27 , G01N21/553 , G01N21/9505 , G01N21/95607 , G01N2021/258 , H01L21/32051
摘要： 본발명의일 실시예에따른표면검사방법은미세패턴이형성된검사대상소자의표면에금속막을형성하는단계; 상기검사대상소자의상면과수직한방향으로평행한광선을입사시키는단계; 상기검사대상소자의표면으로부터반사된광선의스펙트럼을획득하는단계; 및상기스펙트럼을통하여상기검사대상소자에형성된상기미세패턴의구조적특징에대한정보를획득하는단계; 를포함할수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，提供了一种表面检查方法，包括：在具有精细图案的待检查元件的表面上形成金属膜; 在垂直于待检查元件的上表面的方向上引入平行光线; 获取待检查元件表面反射的光线光谱; 并且通过该光谱获得关于形成在检查目标元件上的精细图案的结构特征的信息; 该可包含。

2. 外观设计

KR3009240960000S 有权
公开(公告)号：KR3009240960000S
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：KR3020170012076
申请日：2017-03-15
申请人： 삼성전자주식회사
设计人： 김국환 , 야마우치 , 장용상 , 정승호 , 정우혁 , 김태중 , 이지영

3. 发明公开

KR1020170036184A 광학 검사 장치, 기판 검사 방법, 그리고 기판 제조 방법 审中-实审
标题翻译：光学检查设备，基板检查方法和基板制造方法
公开(公告)号：KR1020170036184A
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020150134702
申请日：2015-09-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김광수 , 김태중 , 전병환 , 최용석 , 김영덕 , 오태석 , 이상윤 , 최용호
IPC分类号： H01L21/66 , G02B26/10 , G02B5/20 , G02B3/00 , G02B27/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/95623 , G02B3/0006 , G02B13/0095 , G02B27/0988
摘要： 본발명의실시예에따른피검사체가놓이는피검사부, 상기피검사체로입사광을조사하는조명광학부, 상기조명광학부와상기피검사부사이에배치된대물렌즈부, 상기피검사체에서반사된반사광을수광하여상기피검사체의결함을검출하는검출광학부, 그리고상기조명광학부및 상기검출광학부를제어하는제어부를포함하되, 상기조명광학부는광원부및 상기광원부가조사하는상기입사광의투과영역을성형하는공간필터어레이를포함하고, 상기공간필터어레이는, 공간필터부및 상기공간필터부를이동시키는필터이동부를포함한다.
摘要翻译：物镜单元，设置在照明光单元和被检查单元之间;以及光接收单元，用于接收从被检查物体反射的反射光，传感器单元，并且照明光本科和包括控制单元，用于控制所述检测光学单元，其中，所述照明光学单元光源和空间滤光器阵列形成在该部分所述入射光透射区域被照射的光源，用于检测对象的缺陷将被检查其中空间滤波器阵列包括空间滤波器部分和移动空间滤波器部分的滤波器移动部分。

4. 外观设计

KR3008490460000S 有权
公开(公告)号：KR3008490460000S
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：KR3020150044430
申请日：2015-09-02
申请人： 삼성전자주식회사
设计人： 김준세 , 정진만 , 김태중

5. 发明公开

KR1020160010974A 광 변환 모듈 및 광학 측정 시스템 审中-实审
标题翻译：光学转换模块和光学测量系统
公开(公告)号：KR1020160010974A
公开(公告)日：2016-01-29
申请号：KR1020140091807
申请日：2014-07-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김태중 , 정용덕 , 김광수 , 전병환 , 양유신 , 이상길 , 전충삼
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G02B3/0006 , G02B21/0016 , G02B26/0808
摘要： 예시적인실시예들에따른광학측정시스템은검사대상체의표면에입사시키기위한평행광을생성하고평행광의파장을가변할수 있는평행광생성부, 평행광의경로상에위치하여소정의회전각으로회전가능하도록구비되어평행광의파장및 회전각에따라검사대상체의표면에대한평행광의입사각및 입사위치를각각변경할수 있는회전격자, 및회전격자를통과한평행광이입사각및 입사위치로검사대상체의표면에입사및 반사하여생성되는반사광을수집하는수집부를포함할수 있다. 파장을가변하고회전격자를회전시켜검사대상체의표면에대한평행광의입사각및 입사위치를변경할수 있기때문에, 빠른속도로검사대상체의표면을검사할수 있다. 광학측정시스템의결점검출효율이높일수 있고반도체생산공정의전체효율및 생산성을높일수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例的光学测量系统可以包括：平行光产生部分，其产生入射到待测试物体的表面的平行光，并且可以改变平行光的波长; 旋转光栅，其可以根据旋转角度和平行光的波长相对于待测试物体的表面改变平行光的入射角和入射位置，被配置为可以以固定的旋转角度旋转同时位于平行光的路径上; 并且收集通过经过旋转光栅的平行光产生的反射光的收集部分入射到入射角和入射位置的待测试物体表面并从其反射。光学测量系统可以快速测试被测物体的表面，因为光学测量系统可以通过改变波长来改变平行光相对于待测物体表面的入射角和入射位置，旋转旋转光栅。此外，本发明可以提高光学测量系统的缺陷检测效率，并且可以提高半导体生产过程的总效率和生产率。

6. 外观设计

KR3007713470000S 有权
公开(公告)号：KR3007713470000S
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR3020130043830
申请日：2013-08-27
申请人： 삼성전자주식회사
设计人： 이다현 , 오 크리스틴 리아 , 김태중

7. 外观设计

KR3007610510000S 有权
公开(公告)号：KR3007610510000S
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：KR3020140000455
申请日：2014-01-03
申请人： 삼성전자주식회사
设计人： 최정현 , 김태중 , 오, 크리스틴

8. 发明授权

KR101352980B1 하향링크 제어 및 패킷 데이터 송수신 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于在Downlink中发送和接收控制信息和分组数据的方法和装置
公开(公告)号：KR101352980B1
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：KR1020070101624
申请日：2007-10-09
申请人： 한국전자통신연구원 , 삼성전자주식회사
发明人： 김태중 , 박기윤 , 박옥선 , 이재경 , 박형준 , 방승찬
IPC分类号： H04B7/26 , H04L12/56
CPC分类号： H04B7/2637 , H04B7/12
摘要： 본 발명은 제어 정보 및 패킷 데이터 송수신 방법 및 장치에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 제어 정보를 전송하는 제어 채널을 생성하는 제어 채널 생성단계; 상기 제어 채널의 전송 여부를 알려주는 제어 표식 채널을 생성하는 제어 표식 채널 생성단계; 상기 제어 정보에 기초하여 패킷 데이터를 전송하기 위한 데이터 채널을 생성하는 데이터 채널 생성단계; 상기 제어 채널, 제어 표식 채널 및 데이터 채널을 멀티플렉싱하는 멀티플렉싱단계; 및 상기 제어 채널, 제어 표식 채널 및 데이터 채널을 전송하는 전송단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 채널 및 패킷 데이터 전송방법을 제공한다. 이를 통해 본 발명은 하향링크를 통해 데이터 전송을 위한 제어 정보를 전송함에 있어서, 제어 정보의 전송 여부를 위한 별도의 정보를 전송함으로써 전송 제어 정보가 없을 경우에는 전송하지 않고, 해당 자원을 데이터 전송에 사용할 수 있도록 한다.
제어 채널, OFDM, 멀티플렉싱, 제어 표식 채널

9. 外观设计

KR3007102290000S 有权
公开(公告)号：KR3007102290000S
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR3020130043844
申请日：2013-08-27
申请人： 삼성전자주식회사
设计人： 오 크리스틴 리아 , 김태중

10. 发明公开

KR1020110049275A 객체 출력이 가능한 다이얼을 구비한 휴대용 단말기의 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于在便携式终端中显示对象的装置和方法
公开(公告)号：KR1020110049275A
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：KR1020090106219
申请日：2009-11-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최동영 , 손재곤 , 권홍석 , 김강욱 , 김태중
IPC分类号： H04B1/40 , G06F9/06
CPC分类号： G06F3/0362 , G06F3/04847
摘要： PURPOSE: A device of a portable terminal is provided to execute a mode or a function corresponding to a rotation location through the rotation of a rotation dial. CONSTITUTION: A mode/function setting unit(340) sets a mode or a function of a portable terminal. An UI object generating unit(330) generates an object. If the rotation of an object display dial is sensed, a position checking unit(350) checks the location of an object corresponding to the location of the rotated dial. A mode/function execution unit(370) performs execution of a function corresponding to the object or conversion to a mode corresponding to an object corresponding to the location.
摘要翻译：目的：提供便携式终端的装置，以通过旋转拨盘的旋转来执行与旋转位置相对应的模式或功能。构成：模式/功能设置单元（340）设置便携式终端的模式或功能。 UI对象生成单元（330）生成对象。如果感测到对象显示拨盘的旋转，则位置检查单元（350）检查与旋转的拨盘的位置相对应的对象的位置。模式/功能执行单元（370）执行与对象相对应的功能或转换为与对应于该位置的对象相对应的模式。

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