专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102253708B1 구리 배리어층 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102253708B1
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：KR1020180042409
申请日：2018-04-11
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 이영기 , 김원중 , 박태원 , 김형묵 , 이영희
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/306
摘要： 본발명의구리배리어층연마용 CMP 슬러리조성물은금속산화물연마제; 산화제; 하이드록시벤조트리아졸; 탄소수 2~8의알킬알코올; 및 2개이상의카르복시기를갖는유기산;을포함한다.

2. 发明公开

KR1020170127815A 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 审中-实审
标题翻译：用于铜抛光的CMP浆料组合物及使用其的抛光方法
公开(公告)号：KR1020170127815A
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020160058439
申请日：2016-05-12
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 신나율 , 김원중 , 도균봉 , 황기욱
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , C23F3/04 , H01L21/321 , H01L21/304
CPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , C23F3/04 , H01L21/304 , H01L21/321
摘要： 본발명은 (메트)아크릴산과아졸치환기를갖는 (메트)아크릴아미드화합물의공중합체, 산화제, 부식억제제, 착화제, 및용매를포함하는구리연마용 CMP 슬러리조성물및 이를이용한연마방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明是一种（甲基）涉及一种共聚物，和氧化剂，腐蚀抑制剂，络合剂和CMP浆料组合物和使用相同的方法进行铜的抛光研磨，包含丙烯酸和具有唑取代的化合物的（甲基）丙烯酰胺的溶剂。

3. 发明公开

KR1020080087396A 레이저 마킹장치 无效
标题翻译：激光打标机
公开(公告)号：KR1020080087396A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：KR1020070029552
申请日：2007-03-27
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 김원중 , 보로노프알렉산더 , 류재승 , 한규완 , 주영훈
IPC分类号： B23K26/18 , B23K26/00
摘要： A laser marking apparatus is provided to supply laser beam based on time differences and increase processing speed by branching the laser beam and marking objects with the branched laser beam, using a plurality of scanners. A laser marking apparatus comprises a laser generator(110), a plurality of acoustic optical modulators(130), and a plurality of scanners(150). The laser generator generates and supplies laser beam through a first passage. The acoustic optical modulators, which are placed on the first passage, generate branched laser beams and supply the branched laser beams through a second passage. The scanners mark objects, using the branched laser beams. A main controller(180) is electrically connected with the laser generator, the acoustic optical modulators, and the scanners. An expander telescope(120) is placed on one of two passages to re-adjust features of the laser beam or the branched laser beams. A plurality of reflection mirrors(140) are installed on extension lines of the first and second passages.
摘要翻译：提供一种激光打标装置，用于通过使用多个扫描仪分支激光束并用分支激光束标记物体，基于时间差提供激光束并提高处理速度。激光打标设备包括激光发生器（110），多个声光调制器（130）和多个扫描器（150）。激光发生器通过第一通道产生并提供激光束。放置在第一通道上的声光调制器产生分支的激光束，并通过第二通道供应分支的激光束。扫描仪使用分支激光束标记物体。主控制器（180）与激光发生器，声光调制器和扫描器电连接。扩展器望远镜（120）被放置在两个通道之一上以重新调整激光束或分支的激光束的特征。多个反射镜（140）安装在第一和第二通道的延长线上。

4. 发明授权

KR101943702B1 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR101943702B1
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：KR1020160058439
申请日：2016-05-12
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 신나율 , 김원중 , 도균봉 , 황기욱
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , C23F3/04 , H01L21/321 , H01L21/304

5. 发明公开

KR1020160052201A 신규 화합물, 이를 포함하는 착색제, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 无效
标题翻译：新型化合物，含有它们的颜料，包括它们的正性感光树脂组合物和颜色过滤器
公开(公告)号：KR1020160052201A
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：KR1020140152158
申请日：2014-11-04
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 황기욱 , 김원중 , 신나율 , 신명엽
IPC分类号： C07D311/80 , C07D311/82 , G03F7/004 , G03F7/105 , G03F7/032 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/00 , G02B5/20
CPC分类号： C07D311/80 , C07D311/82 , G02B5/20 , G03F7/0007 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/032 , G03F7/105
摘要： 하기화학식 1로표시되는화합물, 이를포함하는착색제, 상기착색제를포함하는감광성수지조성물및 컬러필터가제공된다. [화학식 1](상기화학식 1에서, 각치환기는명세서에정의된바와같다.)
摘要翻译：提供由化学式1表示的化合物，包含该化合物的着色剂，包含着色剂的感光性树脂组合物和滤色器。在化学式1中，每个取代基的定义与说明书中的相同。本发明的化合物具有优异的耐热性，溶解性，高透光性和高对比度范围。

6. 发明授权

KR102210252B1 구리 배리어층 연마용 ＣＭＰ 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 有权
公开(公告)号：KR102210252B1
公开(公告)日：2021-02-01
申请号：KR1020170166240
申请日：2017-12-05
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 이영기 , 김원중 , 김태완 , 박태원 , 이소형 , 황기욱
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , C23F3/04 , H01L21/304 , H01L21/321
摘要： 극성용매, 비극성용매중 하나이상; 금속산화물연마제; 유기산; 및부식방지제를포함하는구리배리어층연마용 CMP 슬러리조성물이고, 상기유기산은상기 CMP 슬러리조성물중 유기모노카르복실산을 0.00001 중량% 내지 0.01 중량%, 유기디카르복실산을 0.1 중량% 내지 0.5 중량%, 유기트리카르복실산을 0.03 중량% 내지 0.08 중량%로포함하는것인, 구리배리어층연마용 CMP 슬러리조성물및 및이를이용한연마방법이제공된다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式