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    • 9. 发明公开
    • 금속 배선의 제조 방법 및 박막트랜지스터 기판 제조 방법
    • 金属接线和薄膜晶体管基板的制造方法
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    • H01L27/1288H01L27/124H01L29/4908
    • 본발명은기판상에제1 및제2 도전층을순차적으로형성하는단계와, 상기제1 및제2 도전층상에제1 감광막패턴을형성하는단계와, 상기제1 감광막패턴을마스크로이용하여, 상기제1 및제2 도전층의일부를식각처리하여제1 및제2 도전패턴을형성하는단계와, 상기제1 감광막패턴을에슁(ashing) 처리하여상기제1 감광막패턴보다일정간격내부에위치하는제2 감광막패턴을형성하는단계와, 상기제2 감광막패턴을마스크로하여노출된제1 도전패턴을식각처리하는단계및 상기제2 감광막패턴을제거하는단계를포함한다.
    • 本发明提供一种金属线的制造方法和薄膜晶体管基板的制造方法,其能够通过除去驻留在铜(Cu)侧表面上的钛(Ti)残渣而提高可靠性。 金属线的制造方法包括以下步骤:在基板上依次形成第一导电层和第二导电层; 在所述第一和第二导电层上形成第一感光膜图案; 通过使用第一感光膜图案作为掩模来蚀刻第一和第二导电层的一部分以形成第一和第二导电图案; 灰化第一感光膜图案以形成位于其内侧比第一感光图案更远一定间隔的第二感光膜图案; 通过使用第二感光膜图案作为掩模来蚀刻暴露的第一导电图案; 并去除第二感光膜图案。