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    • 6. 发明公开
    • 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법
    • 薄膜晶体管阵列及其制造方法
    • KR1020140080254A
    • 2014-06-30
    • KR1020120149854
    • 2012-12-20
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 진홍기여윤종김상갑방정석조병훈
    • H01L29/786H01L21/336
    • H01L27/1288H01L21/30604H01L21/3081H01L21/3086H01L21/32139H01L21/84H01L27/1218H01L27/1251H01L27/127H01L27/1446H01L31/03765H01L31/1136H01L31/204H01L27/14678
    • The present invention relates to a thin film transistor display panel and a manufacturing method thereof. The method for manufacturing the thin film transistor display panel according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: forming an insulation film on an insulated substrate; laminating a first semiconductor material layer on the insulation film; laminating an etch protect material layer on the first semiconductor material layer; forming a first photoresist film on the etch protect material layer; forming an etch protect layer by etching the etch protect material layer while making the first photoresist film function as an etch mask; etching the first semiconductor material layer by making the first photoresist film as the etch mask to form a first semiconductor pattern including a protrusion exposed while not being covered by the etch protect layer; laminating an insulation layer and a second semiconductor material layer on the etch protect layer and the first semiconductor pattern in order; forming a second photoresist film on the second semiconductor material layer; etching the second semiconductor material by making the second photoresist film function as the etch mask to form a second semiconductor; and forming a first semiconductor which forms an undercut at a lower part of the etch protect layer by etching the insulation layer not covered by the second photoresist film and the protrusion of the first semiconductor pattern not covered by the etch protect layer, and forming a stepped part on the insulation film wherein the stepped part is spaced apart from an edge of the first semiconductor and positioned at an outer side of the edge of the first semiconductor.
    • 薄膜晶体管显示面板及其制造方法技术领域本发明涉及薄膜晶体管显示面板及其制造方法。 根据本发明实施例的制造薄膜晶体管显示面板的方法包括以下步骤:在绝缘基板上形成绝缘膜; 在绝缘膜上层叠第一半导体材料层; 在第一半导体材料层上层压蚀刻保护材料层; 在所述蚀刻保护材料层上形成第一光致抗蚀剂膜; 通过蚀刻蚀刻保护材料层来形成蚀刻保护层,同时使第一光致抗蚀剂膜用作蚀刻掩模; 通过使第一光致抗蚀剂膜作为蚀刻掩模来蚀刻第一半导体材料层,以形成第一半导体图案,该第一半导体图案包括在不被蚀刻保护层覆盖的同时暴露的突起; 在蚀刻保护层和第一半导体图案上依次层叠绝缘层和第二半导体材料层; 在所述第二半导体材料层上形成第二光致抗蚀剂膜; 通过使第二光致抗蚀剂膜用作蚀刻掩模来蚀刻第二半导体材料以形成第二半导体; 以及形成第一半导体,其通过蚀刻未被所述第二光致抗蚀剂膜覆盖的绝缘层和未被所述蚀刻保护层覆盖的所述第一半导体图案的突起而形成在所述蚀刻保护层的下部处形成底切,以及形成阶梯状 部分在绝缘膜上,其中阶梯部分与第一半导体的边缘间隔开并且位于第一半导体的边缘的外侧。
    • 8. 发明公开
    • 표시패널 및 표시패널용 표시기판의 제조방법
    • 显示面板和制造方法用于显示面板的显示基板
    • KR1020130061553A
    • 2013-06-11
    • KR1020110127927
    • 2011-12-01
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 진홍기여윤종이의구정유광최진영김상갑
    • G02F1/1335
    • G02F1/133345G02F2001/133519G02F2202/022
    • PURPOSE: A display panel and a fabrication method of a display substrate for the display panel are provided to include an inorganic film layer on a color filter layer, thereby preventing the color filter layer from swelling. CONSTITUTION: A first substrate(100) includes a plurality of pixel regions and a non-pixel region which is adjacent to the pixel regions. A second substrate(200) facing the first substrate includes the plurality of pixel regions and the non-pixel region. A plurality of signal lines is provided on the second substrate. A color filter layer is provided on the first substrate or the second substrate. An inorganic film layer(110) is provided on the color filter layer. An organic film layer(120) is provided on the inorganic film layer. A conductive layer(130) is provided on the organic layer.
    • 目的:提供一种用于显示面板的显示面板和显示基板的制造方法,其包括在滤色器层上的无机膜层,从而防止滤色层膨胀。 构成:第一衬底(100)包括多个像素区域和与像素区域相邻的非像素区域。 面对第一衬底的第二衬底(200)包括多个像素区域和非像素区域。 多个信号线设置在第二基板上。 滤色器层设置在第一基板或第二基板上。 无机膜层(110)设置在滤色器层上。 在无机膜层上设置有机膜层(120)。 在有机层上提供导电层(130)。
    • 9. 发明授权
    • 표시 기판의 제조 방법
    • 制造显示基板的方法
    • KR101226661B1
    • 2013-01-25
    • KR1020060008496
    • 2006-01-26
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 진홍기김상갑오민석
    • G02F1/136
    • H01L27/1288G02F1/136204H01L27/1244
    • 불량을 방지하기 위한 표시 기판의 제조 방법이 개시된다. 표시 기판의 제조 방법은 베이스 기판 위에 게이트 배선, 스토리지 배선 및 스위칭 소자의 게이트 전극을 포함하는 제1 금속패턴을 형성하는 단계와, 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 소스 배선, 스위칭 소자의 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 제2 금속패턴 및 채널부를 형성하는 단계와, 제2 금속패턴 위에 패시베이션막 및 포토레지스트막을 형성하는 단계와, 포토레지스트막을 패터닝하여 게이트 배선, 소스 배선 및 스위칭 소자에 대응하는 제1 패턴부 및 스토리지 배선 위에 형성되고 스토리지 배선 위의 단차부에 대응하여 상대적으로 두껍게 형성된 제2 패턴부를 형성하는 단계와, 제1 및 제2 패턴부를 이용하여 패시베이션막 및 게이트 절연막을 식각하는 단계 및 제1 패턴부를 이용하여 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 단차부의 과잉 식각이 방지되므로 금속 패턴과 화소 전극간의 쇼트 불량이 방지된다.
      포토레지스트 패턴, 마스크, 이중 슬릿, 반투과층, 단차부, 쇼트 불량,