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1. 发明公开

KR1020120042154A 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：有机层沉积装置及其制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020120042154A
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020100103678
申请日：2010-10-22
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이윤미 , 박현숙 , 김종헌 , 장석락
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/00 , B05D5/06
CPC分类号： C23C14/243 , B05D5/06 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: An organic layer deposition apparatus and a manufacturing method of an organic light emitting display apparatus using the same are provided to arrange a patterning slit sheet with a predetermined gap from a substrate, thereby preventing shadow formation and pattern shift phenomena. CONSTITUTION: A deposition source(110) discharges a deposition material to a substrate(400). A deposition source nozzle part(120) is arranged on one side of the deposition source. A patterning slit sheet(150) is arranged to face the deposition source nozzle part. A first insulating member(160) is arranged between the substrate and the deposition source. A second insulating member(170) is arranged between the first insulating member and the substrate.
摘要翻译：目的：提供一种有机层沉积装置及使用其的有机发光显示装置的制造方法，以从衬底排列具有预定间隙的图案化缝隙片，从而防止阴影形成和图案偏移现象。构成：沉积源（110）将沉积材料排放到衬底（400）。沉积源喷嘴部分（120）布置在沉积源的一侧上。图案化缝隙片（150）布置成面对沉积源喷嘴部分。第一绝缘构件（160）布置在衬底和沉积源之间。第二绝缘构件（170）布置在第一绝缘构件和基板之间。

2. 发明授权

KR101840654B1 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：有机层沉积装置和使用其的有机发光显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR101840654B1
公开(公告)日：2018-03-22
申请号：KR1020110049792
申请日：2011-05-25
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이동규 , 김무현 , 송영록 , 이상필 , 송정배 , 김종헌 , 김병수 , 이윤미 , 류재광
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243
摘要： 제조가용이하고, 대형기판양산공정에용이하게적용될수 있으며, 제조수율및 증착효율이향상된유기층증착장치및 이를이용한유기발광디스플레이장치의제조방법을제공하기위하여, 본발명은기판상에유기층을형성하기위한유기층증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 복수개의패터닝슬릿들이형성되고, 상기서로이웃한패터닝슬릿들사이에하나이상의스페이서들이형성되는패터닝슬릿시트;를포함하고, 상기기판은상기유기층증착장치와소정정도이격되도록형성되어상기유기층증착장치에대하여상대적으로이동가능하도록형성되는것을특징으로하는유기층증착장치를제공한다.
摘要翻译：为了易于制造，并且可以被容易地应用于大衬底的生产工艺，以提供生产率和沉积效率得到改善的有机层沉积设备和制造有机发光使用相同的显示装置的方法，本发明在基板上形成的有机层用于发射蒸发材料的蒸发源; 蒸发源喷嘴单元，其设置在蒸发源的一侧并具有形成在其中的多个蒸发源喷嘴; 图案化缝隙片设置成与蒸发源喷嘴单元相对并且具有形成在其中的多个图案化缝隙以及在相邻的图案化缝隙之间形成的一个或多个间隔物，并且有机层沉积设备被形成为相对于有机层沉积设备可相对移动。

3. 发明授权

KR101234231B1 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：薄层沉积设备及使用该有机发光显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR101234231B1
公开(公告)日：2013-02-18
申请号：KR1020120063410
申请日：2012-06-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 오지숙 , 최용섭 , 김종헌 , 강희철 , 이윤미 , 조창목
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

4. 发明授权

KR101174875B1 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权
标题翻译：薄膜沉积设备，制造使用其的有机发光显示设备的方法以及由此制造的有机发光显示设备
公开(公告)号：KR101174875B1
公开(公告)日：2012-08-17
申请号：KR1020100003545
申请日：2010-01-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이윤미 , 김상수 , 조창목 , 박현숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 본발명은박막증착장치, 이를이용한유기발광디스플레이장치의제조방법및 이에따라제조된유기발광디스플레이장치에관한것으로, 상세하게는대형기판양산공정에용이하게적용될수 있고, 제조수율이향상된박막증착장치, 이를이용한유기발광디스플레이장치의제조방법및 이에따라제조된유기발광디스플레이장치에관한것이다. 본발명은기판상에박막을형성하기위한박막증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 상기제1 방향을따라복수개의패터닝슬릿들이형성되고, 상기복수개의패터닝슬릿들의길이가서로상이하도록형성되는패터닝슬릿시트; 및상기증착원노즐부와상기패터닝슬릿시트사이에상기제1 방향을따라배치되어, 상기증착원노즐부와상기패터닝슬릿시트사이의공간을복수개의증착공간들로구획하는복수개의차단판들을구비하는차단판어셈블리;를포함하고, 상기박막증착장치는상기기판과소정정도이격되도록형성되며, 상기박막증착장치와상기기판은, 어느일 측이타 측에대하여상대적으로이동가능하도록형성되는것을특징으로하는박막증착장치를제공한다.
摘要翻译：本发明是一种薄膜沉积设备，制造有机光使用相同和yiettara发光显示装置涉及一种制造有机发光显示装置，特别是涉及能够容易地施加到大基板制造工序的方法，以及制造成品率提高的成膜装置，制造使用该有机发光显示装置的有机发光显示装置的方法以及由此制造的有机发光显示装置。 1。一种在基板上形成薄膜的薄膜沉积设备，包括：用于发射蒸发材料的蒸发源; 蒸发源喷嘴单元，其设置在所述蒸发源的一侧并具有沿着第一方向形成的多个蒸发源喷嘴; 一种图案化缝隙片，其设置为面对蒸发源喷嘴单元，其中沿着第一方向形成多个图案化缝隙，并且多个图案缝隙的长度彼此不同; 并且包括多个挡板，它们沿所述沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向排列，限定沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个沉积空间的阻挡板组件;包括与薄膜沉积设备的特征在于，形成相对于基板相对移动，并形成为预定的程度的间隔，膜沉积设备和基底中，任何一侧衣康侧提供了一种薄膜沉积装置。

5. 发明公开

KR1020120045865A 유기층 증착 장치 审中-实审
标题翻译：用于有机层沉积的装置
公开(公告)号：KR1020120045865A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：KR1020100107712
申请日：2010-11-01
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 박현숙 , 조창목 , 이윤미 , 장석락
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/24 , C23C14/12 , H01L21/67 , H01L51/00 , B05D1/00
CPC分类号： H01L21/67173 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/67207 , H01L51/0005 , C23C14/243
摘要： PURPOSE: An organic layer deposition apparatus is provided to improve the yield rate and deposition efficiency and facilitate the recycle of deposited materials. CONSTITUTION: An organic layer deposition apparatus(100) comprises an evaporation source(110) which emits deposited materials, an evaporation source nozzle unit(120) comprising a plurality of nozzles(121) formed in a first direction, and a patterning slit sheet(150) which is arranged opposite to the evaporation source nozzle unit and has a plurality of patterning slits(151) formed in a second direction perpendicular to the first direction. The patterning slits include center, right, and left patterning slits.
摘要翻译：目的：提供有机层沉积设备，以提高成品率和沉积效率，并有利于沉积材料的再循环。构成：有机层沉积装置（100）包括发射沉积材料的蒸发源（110），包括沿第一方向形成的多个喷嘴（121）的蒸发源喷嘴单元（120）和图案化缝隙片 150），其与蒸发源喷嘴单元相对地布置，并且具有沿垂直于第一方向的第二方向形成的多个图案化狭缝（151）。构图缝隙包括中心，右和左图形缝隙。

6. 发明公开

KR1020110083358A 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 有权
标题翻译：用于薄层沉积的装置，使用其制造有机发光显示装置的方法以及由该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：KR1020110083358A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：KR1020100003545
申请日：2010-01-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이윤미 , 김상수 , 조창목 , 박현숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: A thin film deposition device and an OLED(organic light emitting diode) display device are provided to reduce shadow size on a substrate by securing a straight forward driving property of deposited materials between blocking plates. CONSTITUTION: A thin film deposition device comprises a deposition source(110), a deposition source nozzle part(120), a patterning slit sheet(150), and a blocking plate assembly(130). The deposition source radiates a deposition material(115). The deposition source nozzle part is arranged in one side of the deposition source. A plurality of deposition source nozzles(121) of the deposition source nozzle part is formed in a first direction. The blocking plate assembly is arranged between the deposition source nozzle part and the patterning slit sheet.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积装置和OLED（有机发光二极管）显示装置，以通过确保沉积材料在阻挡板之间的直接驱动性能来减小基板上的阴影尺寸。构成：薄膜沉积装置包括沉积源（110），沉积源喷嘴部分（120），图案化缝隙片（150）和阻挡板组件（130）。沉积源辐射沉积材料（115）。沉积源喷嘴部分布置在沉积源的一侧。沉积源喷嘴部分的多个沉积源喷嘴（121）沿第一方向形成。阻挡板组件布置在沉积源喷嘴部分和图案化缝隙片之间。

7. 发明公开

KR1020110021623A 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于薄层沉积的装置及使用该有机发光显示装置制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020110021623A
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020100013848
申请日：2010-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 류재광 , 박현숙 , 이윤미 , 김종헌 , 김상수 , 오지숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： PURPOSE: A thin film depositing apparatus and a method for manufacturing an organic electroluminescent display device are provided to improve the uniformity of a deposited thin film. CONSTITUTION: A method for manufacturing an organic electroluminescent display device using a thin film depositing apparatus(100) comprises following steps. A substrate is separated from a thin film depositing apparatus. One side between the thin film depositing apparatus and the substrate is moved relatively to the other side. Deposition materials radiated from the thin film depositing apparatus are deposited on the substrate.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积装置和制造有机电致发光显示装置的方法，以提高沉积薄膜的均匀性。构成：使用薄膜沉积装置（100）制造有机电致发光显示装置的方法包括以下步骤。将衬底与薄膜沉积设备分离。薄膜沉积设备和基板之间的一侧相对于另一侧移动。从薄膜沉积设备辐射的沉积材料沉积在基板上。

8. 发明授权

KR101723506B1 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：有机层沉积装置和使用其的有机发光显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR101723506B1
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：KR1020100103678
申请日：2010-10-22
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이윤미 , 박현숙 , 김종헌 , 장석락
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/00 , B05D5/06
CPC分类号： C23C14/243 , B05D5/06 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 제조가용이하고, 대형기판양산공정에용이하게적용될수 있으며, 제조수율및 증착효율이향상된유기층증착장치및 이를이용한유기발광디스플레이장치의제조방법을제공하기위하여, 본발명은기판상에유기층을형성하기위한유기층증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의증착원노즐들이형성되는증착원노즐부; 상기증착원노즐부와대향되게배치되고, 상기제1 방향에대해수직인제2 방향을따라복수개의패터닝슬릿들이형성되는패터닝슬릿시트; 상기기판과상기증착원사이에배치되어상기기판의적어도일부를가리도록상기기판과함께이동가능하도록형성되는제1 차단부재; 및상기제1 차단부재와상기기판사이에배치되고, 상기증착원에대한위치가고정되는제2 차단부재;를포함하고, 상기기판은상기유기층증착장치와소정정도이격되도록형성되어상기유기층증착장치에대하여상대적으로이동가능하도록형성되는것을특징으로하는유기층증착장치를제공한다.
摘要翻译：为了易于制造，并且可以被容易地应用于大衬底的生产工艺，以提供生产率和沉积效率得到改善的有机层沉积设备和制造有机发光使用相同的显示装置的方法，本发明在基板上形成的有机层用于发射蒸发材料的蒸发源; 蒸发源喷嘴单元，其设置在所述蒸发源的一侧并具有沿着第一方向形成的多个蒸发源喷嘴; 的面对沉积源喷嘴单元和所述第一方向，多个图案化缝隙设置在图案化缝隙片沿垂直方向相对于在西班牙第二形成; 第一阻挡构件，所述第一阻挡构件设置在所述基底和所述蒸发源之间，并被配置为与所述基底一起移动以覆盖所述基底的至少一部分; 和所述第一切断部件，并且设置在衬底和第二阻挡构件位于固定相对于所述蒸发源之间;包括，其中，在形成所述有机层沉积设备被间隔开一预定的程度，并且所述基板的有机层沉积设备并且有机层沉积设备形成为相对于有机层沉积设备可相对移动。

9. 发明授权

KR101193190B1 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101193190B1
公开(公告)日：2012-10-22
申请号：KR1020100013848
申请日：2010-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 류재광 , 박현숙 , 이윤미 , 김종헌 , 김상수 , 오지숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

10. 发明公开

KR1020110021622A 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 失效
标题翻译：用于薄层沉积的装置及使用其制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020110021622A
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020100013847
申请日：2010-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이윤미 , 최용섭 , 박현숙 , 김종헌 , 류재광 , 최영묵
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： PURPOSE: A thin film depositing apparatus and a method for manufacturing an organic electroluminescent display device are provided to facilitate recycle of deposition material and improve the uniformity of a deposited thin film. CONSTITUTION: A thin film depositing apparatus comprises a deposition source, a deposition source nozzle unit, a patterning slit sheet, a radiating unit, and a blocking plate assembly(130). The deposition source radiates deposition material. The deposition source nozzle unit is placed on one side of the deposition source, and multiple deposition source nozzles are formed along a first direction. The patterning slit sheet is faced to the deposition source, and multiple patterning slits are formed along the first direction. The radiating unit is placed on the patterning slit sheet. The blocking plate assembly divides a space between the patterning slit sheet and the deposition source nozzle unit into multiple deposition spaces.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积装置和制造有机电致发光显示装置的方法，以便于沉积材料的再循环并提高沉积薄膜的均匀性。构成：薄膜沉积装置包括沉积源，沉积源喷嘴单元，图案化缝隙片，辐射单元和阻挡板组件（130）。沉积源辐射沉积材料。沉积源喷嘴单元放置在沉积源的一侧，并且沿第一方向形成多个沉积源喷嘴。图案化缝隙片面对沉积源，沿着第一方向形成多个图案化缝隙。放射单元放置在图案化缝隙片上。阻挡板组件将图案化缝隙片和沉积源喷嘴单元之间的空间分成多个沉积空间。

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