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1. 发明授权

KR101234231B1 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：薄层沉积设备及使用该有机发光显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR101234231B1
公开(公告)日：2013-02-18
申请号：KR1020120063410
申请日：2012-06-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 오지숙 , 최용섭 , 김종헌 , 강희철 , 이윤미 , 조창목
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

2. 发明公开

KR1020110021623A 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于薄层沉积的装置及使用该有机发光显示装置制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020110021623A
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020100013848
申请日：2010-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 류재광 , 박현숙 , 이윤미 , 김종헌 , 김상수 , 오지숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： PURPOSE: A thin film depositing apparatus and a method for manufacturing an organic electroluminescent display device are provided to improve the uniformity of a deposited thin film. CONSTITUTION: A method for manufacturing an organic electroluminescent display device using a thin film depositing apparatus(100) comprises following steps. A substrate is separated from a thin film depositing apparatus. One side between the thin film depositing apparatus and the substrate is moved relatively to the other side. Deposition materials radiated from the thin film depositing apparatus are deposited on the substrate.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积装置和制造有机电致发光显示装置的方法，以提高沉积薄膜的均匀性。构成：使用薄膜沉积装置（100）制造有机电致发光显示装置的方法包括以下步骤。将衬底与薄膜沉积设备分离。薄膜沉积设备和基板之间的一侧相对于另一侧移动。从薄膜沉积设备辐射的沉积材料沉积在基板上。

3. 发明公开

KR1020110022513A 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于薄层沉积的装置及使用其制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020110022513A
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020100011481
申请日：2010-02-08
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 강희철 , 김종헌 , 오지숙 , 김상수
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10 , C23C14/04
摘要： PURPOSE: A thin film deposition apparatus and an OLED(Organic Light Emitting Diode) manufacturing method using the same are provided to enable application to mass-production of large-size substrate by stably supporting a large-size substrate with an electrostatic chuck and smoothly transferring the substrate among chambers. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises an electrostatic chuck(600), a plurality of vacuum chambers, a thin film deposition assembly(100), and a carrier. The electrostatic chuck includes a body having a supporting surface which contacts and supports a substrate(500), an electrode which is embedded in the body to create an electrostatic force on the supporting surface, and a battery which is provided in the body and electrically connected to the electrode. The thin film deposition assembly is arranged in at least one of the chambers to be separate from the substrate and deposits a thin film on the substrate supported by the electrostatic chuck. The carrier transfers the electrostatic chuck to pass through the chambers.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜沉积装置和使用其的OLED（有机发光二极管）制造方法，以通过用静电卡盘稳定地支撑大尺寸基板并平滑地转印来应用于大尺寸基板的批量生产基板在室之间。构成：薄膜沉积装置包括静电卡盘（600），多个真空室，薄膜沉积组件（100）和载体。静电卡盘包括具有接触并支撑基板（500）的支撑表面的主体，嵌入在主体中以在支撑表面上产生静电力的电极，以及设置在主体中并电连接的电池到电极。薄膜沉积组件布置在至少一个室中以与基板分离，并将薄膜沉积在由静电卡盘支撑的基板上。载体传送静电卡盘通过腔室。

4. 发明授权

KR101174885B1 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 有权
标题翻译：薄层沉积设备及使用该有机发光显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR101174885B1
公开(公告)日：2012-08-17
申请号：KR1020100011481
申请日：2010-02-08
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 강희철 , 김종헌 , 오지숙 , 김상수
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10 , C23C14/04
摘要： 본발명은대형기판의양산공정에더욱적합하고, 고정세의패터닝이가능토록하기위한것으로, 피증착용기판과접하고상기기판을지지하는지지면을구비한바디와, 상기바디에내장되어상기지지면에정전기력을생성시키는전극과, 상기전극에전기적으로연결되고상기바디에구비된전지를포함하는정전척과, 진공으로유지되는복수의챔버와, 상기챔버중 적어도하나의내부에배치되고, 상기기판과소정간격이격되며, 상기정전척에지지된기판에박막을증착하는적어도하나의박막증착어셈블리와, 상기정전척을상기챔버들을통과하도록이동시키는캐리어를포함하는박막증착장치및 이를이용한유기발광표시장치의제조방법에관한것이다.

5. 发明公开

KR1020120067989A 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于薄层沉积的装置及使用其制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020120067989A
公开(公告)日：2012-06-26
申请号：KR1020120063410
申请日：2012-06-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 오지숙 , 최용섭 , 김종헌 , 강희철 , 이윤미 , 조창목
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： PURPOSE: A thin film deposition apparatus and a method for manufacturing an organic light emitting display apparatus using the same are provided to facilitate application to production of large substrates and to improve manufacturing yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A thin film deposition apparatus comprises a plurality of thin film deposition assemblies(100). Each thin film deposition assembly comprises an evaporation source(110), an evaporation source nozzle unit(120), a partition plate assembly(130), and a patterning slit sheet(150). The evaporation source emits deposition materials(115). The evaporation source nozzle unit is arranged on one side of the evaporation source, and the patterning slit sheet is arranged opposite to the evaporation source nozzle unit. The evaporation source nozzle unit has a plurality of evaporation source nozzles(121) formed in a first direction. The patterning slit sheet has patterning slits(151) formed in the first direction. The partition plate assembly is arranged in the first direction between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet and has a plurality of partition plates(131) which divide the space between the evaporation source nozzle unit and the patterning slit sheet into a plurality of deposition spaces.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜沉积装置和使用该薄膜沉积装置的有机发光显示装置的制造方法，以便于应用于大基板的制造和提高制造成品率和沉积效率。构成：薄膜沉积装置包括多个薄膜沉积组件（100）。每个薄膜沉积组件包括蒸发源（110），蒸发源喷嘴单元（120），隔板组件（130）和图案化缝隙片（150）。蒸发源发射沉积材料（115）。蒸发源喷嘴单元布置在蒸发源的一侧，并且图案化狭缝片与蒸发源喷嘴单元相对地布置。蒸发源喷嘴单元具有沿第一方向形成的多个蒸发源喷嘴（121）。构图缝隙片具有沿第一方向形成的图案化缝隙（151）。分隔板组件沿蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的第一方向布置，并且具有多个分隔板（131），其将蒸发源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间分成多个沉积空间

6. 发明授权

KR101193190B1 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101193190B1
公开(公告)日：2012-10-22
申请号：KR1020100013848
申请日：2010-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 류재광 , 박현숙 , 이윤미 , 김종헌 , 김상수 , 오지숙
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

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