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1. 发明授权

KR101267425B1 라인 빔과 같이 성형된 레이저와 기판 상에 증착된 필름사이에 인터액션을 구현하기 위한 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：KR101267425B1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：KR1020077028901
申请日：2006-05-25
申请人： 사이머 엘엘씨 , 칼 짜이스 인두스트리엘레 메스테크니크 게엠베하
发明人： 다스팔라시피. , 호프만토마스 , 샌드스트롬리차드엘. , 보우키오토 , 스텀프에른스트 , 매츠코비츠베르톨트 , 호엘미카엘 , 발터요르그 , 브레너쿠르트 , 그루프귄터
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： 포커싱된빔이단축및 장축을형성하고있는기판상에증착된필름과익터액션하기위해빔을포커싱하는시스템및 방법이개시된다. 한형태에서, 본시스템은빔이필름에서단축에포커싱되었는지판정하기위해이미지평면상의필름으로부터반사된빛을분석하기위한검출시스템을포함할수 있다. 또다른형태에서, 성형라인빔과인터액션하기위해 (불완전하고, 평평하지않은표면을가진) 필름을포지셔닝하기위한시스템이제공된다.

2. 发明公开

KR1020080021653A 라인 빔과 같이 성형된 레이저와 기판 상에 증착된 필름사이에 인터액션을 구현하기 위한 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：KR1020080021653A
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020077028901
申请日：2006-05-25
申请人： 사이머 엘엘씨 , 칼 짜이스 인두스트리엘레 메스테크니크 게엠베하
发明人： 다스팔라시피. , 호프만토마스 , 샌드스트롬리차드엘. , 보우키오토 , 스텀프에른스트 , 매츠코비츠베르톨트 , 호엘미카엘 , 발터요르그 , 브레너쿠르트 , 그루프귄터
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。 ®KIPO＆WIPO 2008

3. 发明公开

KR1020080113130A 선택적 작동 기계 부품의 위치 정밀 트리거링 방법 및 장치 无效
标题翻译：一种可选激活机器零件位置精确触发的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080113130A
公开(公告)日：2008-12-26
申请号：KR1020087028960
申请日：2007-03-30
申请人： 칼 짜이스 인두스트리엘레 메스테크니크 게엠베하
发明人： 쇼에르그프리드리히 , 스텀프에른스트 , 그루프구엔테르 , 러크오토
IPC分类号： G05B19/23
CPC分类号： G05B19/23 , G05B2219/37175 , G05B2219/45165
摘要： Disclosed is a method for the positionally accurate triggering of an optionally activated machine part (12) which is displaced relative to a workpiece (22) along at least one axis of movement (18). According to said method, local pulses (32) are generated with the aid of an incremental encoder (28), the number of local pulses (32) of a series (30) of local pulses being representative of the adjusted position of the machine part (12). The triggering signal (54) for the machine part (12) is generated when the actual number of local pulses matches a defined number of pulses. Preferably, the current number of local pulses and the defined number of pulses are compared independently of a higher-level drive control circuit (38, 46). Most preferably, the current number of local pulses and the defined number of pulses are compared in a comparator which is arranged on an interface card (48) of an arithmetic unit (36), the drive control circuit with a controller being embodied in the form of a controller program (46) that is cyclically processed by the processor (38) of the arithmetic unit (36). ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：公开了一种用于位置精确地触发可选地激活的机器部件（12）的方法，该部件沿着至少一个运动轴线（18）相对于工件（22）移位。根据所述方法，借助于增量编码器（28）产生局部脉冲（32），一系列（30）局部脉冲的局部脉冲数（32）代表机器部分的调整位置（12）。当实际的本地脉冲数与定义的脉冲数匹配时，产生用于机器部分（12）的触发信号（54）。优选地，与较高级驱动控制电路（38,46）独立地比较当前数量的本地脉冲和限定数量的脉冲。最优选地，在布置在运算单元（36）的接口卡（48）上的比较器中比较当前数量的本地脉冲和定义的脉冲数，所述驱动控制电路具有控制器的形式控制器程序（46）由运算单元（36）的处理器（38）循环地处理。 ®KIPO＆WIPO 2009

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