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    • 1. 发明授权
    • 마이크로웨이브를 이용한 기판 표면처리 및 박막형성장치
    • 使用微波形成薄膜并处理基板表面的设备
    • KR100643520B1
    • 2006-11-10
    • KR1020040040697
    • 2004-06-04
    • 박상원정윤식박장식
    • 박상원박장식정윤식안원술김성국이용길김태우정원상
    • H01L21/363
    • 본 발명은 마그네트론의 안테너 주위와 기판 주위에 유도코일을 형성함으로써, 낮은 압력상태에서도 기판의 표면처리가 이루어질 수 있도록 하고, 타켓트 입자가 기판 주위의 플라즈마에 의해 이온화되어 기판에 입사되게 하되, 상기 표면처리과정과 박막성막과정이 연속하여 이루어질 수 있도록 한다.
      진공 챔버 내부에 진공상태를 유지하여 기판을 밀폐된 상태에서 마이크로웨이브에 노출시켜 표면처리하고, 성막공정을 수행하는 장치에 있어서, 상기 진공 챔버 내부 소정의 위치에 마이크로웨이브를 방사하는 마그네트론과 마그네트론 안테너 주위에, RF 전원을 인가하여 500∼5000 Gauss의 자기장을 형성하여 1∼10mtorr의 낮은 압력에서 전자들의 운동을 활성화시켜 기판의 표면처리를 할 수 있도록 유도코일을 형성하는 수단; 상기 진공 챔버 내부 소정의 위치에 형성되어 마이너스 바이어스가 인가된 기판 홀더에 기판을 형성하고, 상기 기판 주위에는 RF 전원이 인가되는 유도코일을 형성하는 수단; 타켓트가 부착된 백킹플레이트 하단에 자기회로를 형성하여 상기 타켓트에 인가된 전원에 의해 발생되는 자기장과 전자에 의해 가스를 이온화시켜 플라즈마 상태를 형성하는 수단; 상기 진공 챔버 외부에 형성되어 진공 배기를 하는 로터리펌프와 터보 펌프를 구성하고, 진공 챔버 내에 알곤가스, 산소가스, 테트라플루오르메탄(CF4)가스, 질소가스, 수소가스, 헤륨가스를 공급하는 가스봄베를 구성하는 수단;으로 이루어지는 마이크로웨이브를 이용한 기판 표면처리 및 박막형성장치에 관한 것이다.
      마이크로웨이브, 기판, 박막, 유도코일, 표면처리
    • 2. 发明公开
    • 시변 적응알고리즘이 적용된 음향반향 제거장치 및 그 방법
    • 声音解除装置适用时间变化自适应算法及其方法
    • KR1020030000347A
    • 2003-01-06
    • KR1020010036087
    • 2001-06-23
    • (주) 에스제이-테크김용옥김현태손경식박장식
    • 박장식손경식김현태김용옥
    • H04B3/23
    • H04B3/23
    • PURPOSE: A sound echo canceling apparatus applying a time varying adaptive algorithm and a method therefor are provided to set a coefficient vector for generating a sound echo estimation signal on the basis of a correlation degree of a receiving sound signal and an estimation error signal. CONSTITUTION: A cross correlation degree calculator(103) receives two power values of a receiving sound signal and an estimation error signal inputted from a power calculator(102), the receiving sound signal corresponding to a vector value having L numbers of degrees through an A/D converter(101), and the estimation error signal, and calculates cross correlation degrees. The cross correlation degree calculator(103) outputs only the cross correlation degree of a specific factor among the calculated cross correlation degrees. An LPF(Low Pass Filter)(104) filters the cross correlation degree of the specific factor. A time varying adaptive constant calculator(105) calculates a time varying adaptive constant using the filtered cross correlation degree, and outputs the calculated time varying adaptive constant to a coefficient vector updating device(106). A time coefficient increasing device(107) increases a time coefficient whenever the coefficient vector updating device(106) calculates the coefficient factor.
    • 目的:提供一种应用时变自适应算法的声音回波消除装置及其方法,用于基于接收声音信号和估计误差信号的相关度来设置用于产生声音回波估计信号的系数矢量。 构成:交叉相关度计算器(103)接收从功率计算器(102)输入的接收声音信号和估计误差信号的两个功率值,所述接收声音信号对应于具有L个度数的矢量值,通过A / D转换器(101)和估计误差信号,并计算互相关度。 交叉相关度计算器(103)仅输出所计算的互相关度中的特定因子的互相关度。 LPF(低通滤波器)(104)滤除特定因子的互相关度。 时变自适应常数计算器(105)使用滤波的相关度计算时变自适应常数,并将计算出的时变自适应常数输出到系数向量更新装置(106)。 每当系数向量更新装置(106)计算系数因子时,时间系数增加装置(107)增加时间系数。
    • 4. 发明公开
    • 진공증착 시스템의 원격 제어장치
    • 真空沉积系统的远程控制装置
    • KR1020080049284A
    • 2008-06-04
    • KR1020060119681
    • 2006-11-30
    • 재단법인 구미전자정보기술원박장식김정섭
    • 이성호김영태이도경박장식김정섭
    • H04Q9/02
    • H04Q9/02H04Q2209/43H04Q2209/70
    • A remote controller of a vacuum deposition system is provided to install local area communication units in plural vacuum deposition systems and a main control system, and transmit predetermined data by enabling the local area communication units to perform communication with each other in a local area. At least one vacuum deposition system(110-1 to 110-4) performs vacuum deposition according to control of a programmable logic controller. A main control system(100) generates an operation command of the at least one vacuum deposition system according to an operation command inputted through an input unit. A first local area communication unit(120) transmits the operation command, created by the main control system, through local area communication. A second local area communication unit(130-1 to 130-4) receives the command transmitted from the first local area communication unit, and transmits the received command to the programmable logic controller.
    • 提供真空沉积系统的遥控器,以在多个真空沉积系统和主控制系统中安装局域通信单元,并且通过使得局域通信单元能够在局部区域中彼此进行通信来发送预定数据。 至少一个真空沉积系统(110-1至110-4)根据可编程逻辑控制器的控制执行真空沉积。 主控制系统(100)根据通过输入单元输入的操作命令产生至少一个真空沉积系统的操作命令。 第一局域通信单元(120)通过本地通信发送由主控制系统创建的操作命令。 第二本地通信单元(130-1至130-4)接收从第一局域通信单元发送的命令,并将接收到的命令发送到可编程逻辑控制器。
    • 5. 发明公开
    • 마이크로웨이브를 이용한 기판 표면처리 및 박막형성장치
    • 使用微波形成薄膜和处理基板表面的设备
    • KR1020050115954A
    • 2005-12-08
    • KR1020040040697
    • 2004-06-04
    • 박상원정윤식박장식
    • 박상원박장식정윤식안원술김성국이용길김태우정원상
    • H01L21/363
    • H01J37/321H01J37/32201
    • 본 발명은 마그네트론의 안테너 주위와 기판 주위에 유도코일을 형성함으로써, 낮은 압력상태에서도 기판의 표면처리가 이루어질 수 있도록 하고, 타켓트 입자가 기판 주위의 플라즈마에 의해 이온화되어 기판에 입사되게 하되, 상기 표면처리과정과 박막성막과정이 연속하여 이루어질 수 있도록 한다.
      진공 챔버 내부에 진공상태를 유지하여 기판을 밀폐된 상태에서 마이크로웨이브에 노출시켜 표면처리하고, 성막공정을 수행하는 장치에 있어서, 마이크로웨이브를 방사하는 마그네트론과 마그네트론 안테너 주위에, RF 전원을 인가하여 기판의 표면처리를 할 수 있도록 유도코일을 형성하는 수단; 마이너스 바이어스가 인가된 기판 홀더에 기판을 형성하고, 상기 기판 주위에는 유도코일을 형성하는 수단; 타켓트가 부착된 백킹플레이트 하단에 자기회로를 형성하여 상기 타켓트에 인가된 전원에 의해 발생되는 플라즈마 상태를 형성하는 수단; 진공 배기를 하는 로터리펌프와 터보 펌프를 구성하고, 진공 챔버 내에 알곤가스, 산소가스 및 X가스를 공급하는 알곤가스봄베, 산소가스봄베 및 X가스봄베를 구성하는 수단;으로 이루어지는 마이크로웨이브를 이용한 기판 표면처리 및 박막형성장치에 관한 것이다.
    • 6. 发明公开
    • 전처리 알고리즘이 적용된 스테레오 음향반향 제거장치 및그 방법
    • 移除立体声声音的装置和方法
    • KR1020030008118A
    • 2003-01-24
    • KR1020010042887
    • 2001-07-16
    • (주) 에스제이-테크김용옥김현태손경식박장식
    • 박장식손경식김현태김용옥
    • H04R5/00
    • PURPOSE: A stereo sound echo removing device is provided to be capable of minimizing correlation between received stereo sound signals and a calculation amount, by adopting a preprocessing algorithm. CONSTITUTION: An orthogonalization device(101) extracts two sound components(f1(x1,x2),f2(x1,x2), which are orthogonal each other, from received stereo sound signals(x2(k),x1(k)). Absolute value calculators(102,105) filter absolute values of the extracted sound components, respectively. A gain attenuator(103) attenuates an absolute value of the filtered sound component from the absolute value calculator(102), and a gain attenuator(106) attenuates an absolute value of the filtered sound component from the absolute value calculator(105). An adder(104) adds the received stereo sound signal(x2(k)) and an output signal of the attenuator(103), and an adder(107) adds the received stereo sound signal(x1(k)) and an output signal of the attenuator(106).
    • 目的:提供立体声回声消除装置,通过采用预处理算法,能够最小化接收的立体声信号与计算量之间的相关性。 构成:正交化装置(101)从接收的立体声信号(x2(k),x1(k))中提取彼此正交的两个声音分量(f1(x1,x2),f2(x1,x2))。 绝对值计算器(102,105)分别对所提取的声音分量的绝对值进行滤波,增益衰减器(103)从绝对值计算器(102)衰减滤波后的声音成分的绝对值,增益衰减器(106) 加法器(104)将所接收的立体声信号(x2(k))和衰减器(103)的输出信号相加,加法器(107)将加法器(104)与绝对值计算器 将所接收的立体声信号(x1(k))和衰减器(106)的输出信号相加。
    • 7. 发明授权
    • 전처리 알고리즘이 적용된 스테레오 음향반향 제거장치 및그 방법
    • 전처리알고리즘이적용된스테오오음향반향제거장치및그방
    • KR100420581B1
    • 2004-03-02
    • KR1020010042887
    • 2001-07-16
    • (주) 에스제이-테크김용옥김현태손경식박장식
    • 박장식손경식김현태김용옥
    • H04R5/00
    • PURPOSE: A stereo sound echo removing device is provided to be capable of minimizing correlation between received stereo sound signals and a calculation amount, by adopting a preprocessing algorithm. CONSTITUTION: An orthogonalization device(101) extracts two sound components(f1(x1,x2),f2(x1,x2), which are orthogonal each other, from received stereo sound signals(x2(k),x1(k)). Absolute value calculators(102,105) filter absolute values of the extracted sound components, respectively. A gain attenuator(103) attenuates an absolute value of the filtered sound component from the absolute value calculator(102), and a gain attenuator(106) attenuates an absolute value of the filtered sound component from the absolute value calculator(105). An adder(104) adds the received stereo sound signal(x2(k)) and an output signal of the attenuator(103), and an adder(107) adds the received stereo sound signal(x1(k)) and an output signal of the attenuator(106).
    • 目的:通过采用预处理算法,提供立体声回声消除装置,以便能够使接收到的立体声信号与计算量之间的相关性最小化。 构成:正交化装置(101)从接收的立体声声音信号(x2(k),x1(k))中提取两个彼此正交的声音分量(f1(x1,x2),f2(x1,x2))。 绝对值计算器(102,105)分别对提取的声音分量的绝对值进行滤波,增益衰减器(103)衰减来自绝对值计算器(102)的滤波后的声音分量的绝对值,增益衰减器(106) 加法器(104)将接收到的立体声信号(x2(k))和衰减器(103)的输出信号相加,以及加法器(107),用于将来自绝对值计算器 将接收的立体声声音信号(x1(k))和衰减器(106)的输出信号相加。
    • 8. 发明公开
    • 스피커 겸용 멀티탭
    • 扬声器组合多播
    • KR1020160041336A
    • 2016-04-18
    • KR1020140135017
    • 2014-10-07
    • 박장식
    • 박장식
    • H01R13/66H01R13/717H04R1/02
    • H01R13/6641H01R13/7175H04R1/025
    • 본발명은스피커겸용멀티탭에관한것이다. 본발명은본체와상기본체의일측상부에형성되어외부로소리를발생하는스피커와상기본체내부의밑면중앙에서상향하여수직으로형성되는축과상기축의외주에일정간격으로각각형성되고내부에는일정한공간부가마련되어전선, 스피커선및 핸드폰선을풀리게하거나감기도록조절하는원통형의권취부재와상기권취부재와각각연결되어수평방향으로상기본체의외부에형성되는전선과상기권취부재사이에는상기각각전선, 스피커선및 핸드폰선의혼선을방지하기위하여상기축의외주면에각각형성되는격벽을포함하는것을특징으로한다.
    • 本发明涉及一种具有扬声器的组合多抽头。 具有扬声器的多重抽头组合包括:主体; 扬声器,形成在主体的一侧的上部,以产生声音向外; 在主体内部的底面的中间形成上下垂直的轴; 圆柱形卷绕构件以规则的间隔单独形成在轴的外圆周上并且在其中具有一定的间隔单元,并且调节待缠绕或退绕的电线,扬声器线和手机线; 所述电线单独地连接到所述卷绕构件,以在水平方向上形成在所述主体的外部; 以及形成在绕组构件之间和分别在轴的外周面上的分隔壁,以防止电线,扬声器线和手机线的串扰。