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    • 2. 发明授权
    • 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치 및 소팅방법
    • 半导体测试处理器和分拣方法的排序装置
    • KR100857911B1
    • 2008-09-10
    • KR1020070010418
    • 2007-02-01
    • 미래산업 주식회사
    • 범희락윤대곤박용근
    • G01R31/26H01L21/66
    • G01R31/2867G01R31/2874
    • 본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치 및 소팅방법에 관한 것으로서, 상세하게는 로딩부와 언로딩부를 별도로 구현함으로써, 소팅작업의 효율성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업시간을 단축시킬 수 있고, 소팅장치와 테스트장치를 분리하여 별도의 장비로 구현할 수 있어, 테스트장치에서의 시간지연이나 에러발생 유무에 관계없이 소팅작업을 진행할 수 있으며, 그에 따라 전체 핸들러 장비에서 수행되는 작업시간을 단축시킬 수 있는 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치 및 소팅방법에 관한 것이다.
      이를 구현하기 위한 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치는 테스트할 반도체 소자를 테스트트레이에 장착하는 로딩부; 테스트 완료된 테스트트레이로부터 반도체 소자를 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 언로딩부; 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에 배치되며, 테스트할 반도체 소자가 장착된 테스트트레이를 테스트장치에 공급하고, 테스트 완료된 테스트트레이를 테스트장치로부터 공급받는 교환부; 및 상기 교환부와 상기 로딩부 사이에서 테스트트레이를 이송하고, 상기 교환부와 상기 언로딩부 사이에서 테스트트레이를 이송하며, 상기 언로딩부와 상기 로딩부 사이에서 테스트트레이를 이송하는 이송부를 포함한다.
      핸들러, 소팅장치, 테스트장치, 테스트트레이
    • 3. 发明授权
    • 핸들러의 테스트 트레이 이송방법
    • 传送手持式测试盘的方法
    • KR100765461B1
    • 2007-10-09
    • KR1020060115699
    • 2006-11-22
    • 미래산업 주식회사
    • 윤효철범희락송재명박용근윤대곤
    • H01L21/677
    • H01L21/6773G05B19/41815G05B2219/31002G05B2219/45031H01L21/67745
    • A method of transferring a test tray of a handler is provided to increase remarkably the number of tested electronic parts for a predetermined time by performing predetermined tests on the electronic parts while moving simultaneously two test trays. Test trays(T) with electronic parts are arranged at right and left sides of a waiting region, wherein the waiting region is prepared at the front of chambers. The test trays are vertically erected and supplied to left and right heating/cooling chambers(151a,151b) one by one. Each test tray is transferred to a rear portion in the left and right heating/cooling chambers. The test trays are vertically supplied in a test chamber(152) in order to perform simultaneously predetermined tests on the test trays corresponding to four test boards. When the electronic parts of the test trays are completed with the predetermined tests, the test trays are supplied to left and right heating/cooling control chambers(154a,154b). The test trays are transferred to front portions in the left and right heating/cooling control chambers. The test trays are horizontally transferred to the waiting position.
    • 提供一种传送处理机的测试托盘的方法,通过在同时移动两个测试托盘的同时对电子部件进行预定的测试来显着增加测试的电子部件的数量达预定时间。 具有电子部件的测试托盘(T)布置在等待区域的左侧和左侧,其中等待区域准备在室的前部。 试验托盘垂直竖立,一个接一个地供给左右加热/冷却室(151a,151b)。 每个测试盘被传送到左和右加热/冷却室中的后部。 测试托盘垂直地供应在测试室(152)中,以便对与四个测试板相对应的测试盘同时进行预定的测试。 当通过预定测试完成测试托盘的电子部件时,将测试托盘供应到左右加热/冷却控制室(154a,154b)。 测试托盘被传送到左右加热/冷却控制室中的前部。 测试托盘水平传送到等待位置。
    • 4. 发明公开
    • 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법
    • 用于测试半导体器件的处理器及其控制方法
    • KR1020070089118A
    • 2007-08-30
    • KR1020070083544
    • 2007-08-20
    • 미래산업 주식회사
    • 박용근윤대곤
    • H01L21/66
    • G01R31/2867G01R31/2601
    • A handler for testing semiconductor devices and a method for controlling the same are provided to improve space utility by loading and unloading a semiconductor in a horizontal direction and testing the semiconductor in a vertical direction. A loading unit(30) loads semiconductor devices to be tested on a test tray. A first chamber heats or cools the semiconductor devices of the test tray to a given test temperature. A first rotator(52) rotates the test tray in the first chamber at a right angle. A test unit has a test head(62) which is electrically connected to the semiconductor devices. A second chamber cools or heats the semiconductor devices carried from the test unit. A second rotator(72) rotates the test tray in the second chamber at a right angle. An unloading unit(40) unloads the semiconductor devices from the test tray.
    • 提供了用于测试半导体器件的处理器及其控制方法,以通过在水平方向上装载和卸载半导体并在垂直方向上测试半导体来提高空间效用。 加载单元(30)在测试托盘上装载待测试的半导体器件。 第一腔室将测试托盘的半导体器件加热或冷却到给定的测试温度。 第一旋转器(52)使第一室中的测试盘以直角旋转。 测试单元具有电连接到半导体器件的测试头(62)。 第二室冷却或加热从测试单元携带的半导体器件。 第二旋转器(72)使第二室中的测试盘以直角旋转。 卸载单元(40)从测试托盘卸载半导体器件。
    • 5. 发明授权
    • 키패드 조립장치
    • 键盘组装设备
    • KR100715564B1
    • 2007-05-09
    • KR1020050008734
    • 2005-01-31
    • 미래산업 주식회사
    • 이효동권성태박용근송호근
    • H05K13/02
    • 본 발명은 휴대폰에 설치되는 키패드를 조립시 베이스부재를 팰렛을 이용하여 연속적으로 공급하여 베이스부재에 다수개의 키를 조립할 수 있는 키패드 조립장치에 관한 것으로, 베이스부재(20)를 수납하는 팰렛(30)과, 팰렛(30)에 수납된 베이스부재(20)에 접착제토출부(250)에 의해 접착제(250a)가 토출되어 키조립작업위치(W)로 이송되면 베이스프레임(10)에 설치된 XY갠트리(210)에 의해 X/Y축방향으로 이동하여 키공급부(230,240)를 통해 공급되는 키(234a)를 픽업하여 접착제(250a)가 토출된 베이스부재(20)에 다수개의 키(234a)를 순차적으로 장착하는 키조립헤드부(220a)와, 베이스부재(20)가 수납된 팰렛(30)을 로딩부(110)에 로딩한 후 접착제토출부(250)와 키조립작업위치(W)로 이송하고, 다수개의 키(234a)가 장착된 베이스부재(20)가 수납된 팰렛(30)을 프레스부(260)로 이송하며 프레스부(260)에서 다수개의 키(234a)가 베이스부재(20)에 압착되면 팰렛(30)을 언로딩부(130)로 이송하여 다수개의 키(234a)가 조립된 베이스부재(20)를 배출한 후 빈 팰렛(30)을 로딩부(110)로 순환 이송시키는 순환이송부(100)로 구성된다.
      키패드, 베이스부재, 키, XY갠트리
    • 6. 发明授权
    • 반도체 소자 테스트용 테스트 챔버 유닛
    • 用于测试半导体器件的测试室单元
    • KR100674418B1
    • 2007-01-29
    • KR1020050071010
    • 2005-08-03
    • 미래산업 주식회사
    • 박용근박재완양근홍
    • H01L21/68
    • A test chamber unit for testing a semiconductor device is provided to simplify a test process by transferring test trays to a test unit without performing a sorting process. A plurality of test trays including semiconductor devices are loaded vertically into test tray loading units(11,21). A plurality of first chambers(13,23) are used for heating or cooling the semiconductor devices and performing a test process by connecting electrically the semiconductor devices with the test socket of the test head. A plurality of second chambers(14,24) are used for cooling or heating the semiconductor devices. The test trays are loaded vertically into a plurality of test tray unloading units(12,22).
    • 提供了用于测试半导体器件的测试室单元,以通过将测试托盘传送到测试单元而不进行分选过程来简化测试过程。 包括半导体器件的多个测试托盘垂直地装载到测试托盘加载单元(11,21)中。 多个第一室(13,23)用于加热或冷却半导体器件,并通过将半导体器件与测试头的测试插座电连接来执行测试过程。 多个第二腔室(14,24)用于冷却或加热半导体器件。 测试托盘垂直地装载到多个测试托盘卸载单元(12,22)中。
    • 7. 发明公开
    • 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
    • 用于半导体测试处理器的载波模块
    • KR1020060125136A
    • 2006-12-06
    • KR1020050046988
    • 2005-06-02
    • 미래산업 주식회사
    • 함철호박용근송호근
    • G01R31/26H01L21/67
    • G01R31/2867G01R1/0433G01R31/2893H01L22/30
    • A carrier module for a semiconductor test handler is provided to stably support a semiconductor element even when a solder ball is formed at the edge of the semiconductor element by supporting the region between solder balls of the semiconductor element. A carrier module for a semiconductor test handler includes a carrier body and a seating unit(123). The carrier body is fixed on a test tray. The seating unit is fixed on one surface of the carrier body. A semiconductor element is seated on and supported by the seating unit. An aperture(124) is formed on the seating unit of the carrier body, so that an external terminal of the semiconductor element is exposed to the outside. Arc shape guide grooves(125) are successively formed along the inner periphery of the aperture correspondingly to the outer-most external terminals of the semiconductor element.
    • 提供一种用于半导体测试处理器的载体模块,以便即使当通过支撑半导体元件的焊球之间的区域在半导体元件的边缘形成焊球时也可稳定地支撑半导体元件。 半导体测试处理器的载体模块包括载体主体和座位单元(123)。 承载体固定在测试盘上。 座椅单元固定在承载体的一个表面上。 半导体元件就座在座椅单元上并由其支撑。 在承载体的座位单元上形成开口(124),使得半导体元件的外部端子暴露于外部。 与半导体元件的最外侧端子对应地沿着孔的内周依次形成弧形引导槽(125)。
    • 8. 发明公开
    • 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 식별장치
    • 用于在半导体测试处理器中分辨测试托盘的设备
    • KR1020060118823A
    • 2006-11-24
    • KR1020050041201
    • 2005-05-17
    • 미래산업 주식회사
    • 함철호김선활박용근송호근
    • G01R31/26H01L21/66
    • G01R31/2867G01R1/0408G01R31/2893H01L22/30
    • An apparatus for discriminating a test tray of a semiconductor test handler is provided to prevent the test tray from being erroneously combined to a test head by correctly detecting the ID(IDentification) number before the test trays are distributed up and down. A mount part is installed at a wall of a chamber. A plurality of sensor dogs(120) are movably installed on a mount part and come in contact with the concavo-convex of a test tray transferred into the chamber. One end of each sensor dog is positioned inside the chamber, and the other end is positioned outside the chamber. A sensing unit senses the movement of each sensor dog at the outside of the chamber. An elastic member is for elastically supporting the sensor dogs.
    • 提供了用于识别半导体测试处理器的测试托盘的装置,以通过在测试托盘上下分布之前正确检测ID(识别号)来防止测试托盘错误组合到测试头。 安装部分安装在室的壁上。 多个传感器狗(120)可移动地安装在安装部分上并与传送到室中的测试盘的凹凸接触。 每个传感器狗的一端位于室内,另一端位于室外。 感测单元感测每个传感器狗在腔室外部的移动。 弹性构件用于弹性支撑传感器狗。
    • 9. 发明授权
    • 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치
    • 半导体测试处理器的器件传输
    • KR100622415B1
    • 2006-09-19
    • KR1020040101753
    • 2004-12-06
    • 미래산업 주식회사
    • 함철호임우영박용근송호근
    • H01L21/68H01L21/66
    • G01R31/2893
    • 본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치에 관한 것으로, 캠판을 교체하지 않고 반도체 소자를 흡착하는 픽커 간의 간격을 임의의 원하는 간격으로 조절할 수 있도록 한 것이다.
      이를 위한 본 발명은, 복수개의 반도체 소자를 해제 가능하게 고정하여 소정의 위치로 반송하는 소자 반송장치에 있어서, 베이스부와; 상기 베이스부에 수평하게 설치되는 적어도 1개 이상의 수평 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 이동하도록 설치되어, 반도체 소자를 고정하는 복수개의 픽커와; 상기 베이스부에 이동가능하게 설치되며, 복수개의 캠홈이 경사지게 형성된 캠판과; 일측이 상기 각 픽커에 고정되고 타측이 상기 각 캠홈에 상대 이동가능하게 연결되어, 상기 픽커와 각 캠홈을 연결하는 연결부재와; 상기 캠판을 베이스부의 임의의 위치로 이동시키는 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치를 제공한다.
      핸들러, 소자 반송장치, 소자 간격조정장치, 픽커, 캠판, 캠홈
    • 10. 发明授权
    • 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치
    • 用于检测处理器中被测装置的布置状态的装置
    • KR100602052B1
    • 2006-07-14
    • KR1020040004635
    • 2004-01-26
    • 미래산업 주식회사
    • 송호근박용근
    • G01R15/22
    • 본 발명은 핸들러에서 트레이에 놓인 부품을 픽킹할 때에 픽킹의 정상 여부를 확인하기 위한 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치에 관한 것이다.
      본 발명은 핸들러의 다수의 픽 앤드 플레이스 기구의 상단에 각각 장착되며, 그 상단에 슬롯(slot)이 형성된 다수의 슬롯편; 상기 다수의 슬롯편에 각각 형성된 슬롯을 관통하였는지 여부에 따라 피시험 소자의 불완전상태를 감지하기 위해 기준면의 일측과 타측에 각각 설치되어 발광 및 수광하는 발광 소자 및 수광 소자; 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하는 카메라; 상기 카메라의 촬영에 필요한 빛을 조사하는 조명; 픽 앤드 플레이스 기구가 트레이의 피시험 소자를 픽킹하면, 상기 발광 소자를 발광시켜서 다수의 슬롯편에 형성된 슬롯을 통한 빛을 상기 수광 소자로 감지하여 상기 픽 앤드 플레이스 기구에 의한 피시험 소자의 정상 픽킹 여부를 확인하고, 상기 발광 소자에서 발광된 빛이 상기 수광 소자에 감지되지 않으면 상기 조명을 조사하고 상기 카메라로 상기 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하여 촬영된 영상을 분석하여 비정상 픽 앤드 플레이스 기구를 판별하는 제어부로 구성된다.
      핸들러, 픽 앤드 플레이스 기구, 카메라