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1. 发明公开

KR1020170015176A 가스 전달 시스템 审中-实审
标题翻译：气体输送系统
公开(公告)号：KR1020170015176A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020160094074
申请日：2016-07-25
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 드루어리존 , 키무라요시에 , 아담스제임스 , 아담스요코야마구치 , 젬락토니
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/455 , H01L21/67 , H01L21/60
CPC分类号： H01L21/67017
摘要： 기판프로세싱시스템을위한가스전달시스템은제 1 매니폴드및 제 2 매니폴드를포함한다. 가스전달서브시스템은가스소스들로부터가스들을선택적으로전달한다. 가스전달서브시스템은제 1 가스혼합물을제 1 매니폴드로전달하고제 2 가스혼합물을제 2 매니폴드로전달한다. 가스스플리터는제 2 매니폴드의유출부와유체로연통하는유입부, 제 1 매니폴드의유출부와유체로연통하는제 1 유출부, 및제 2 유출부를포함한다. 가스스플리터는제 2 가스혼합물을제 1 유출부로출력되는제 1 플로우레이트의제 1 부분및 제 2 유출부로출력되는제 2 플로우레이트의제 2 부분으로스플릿한다 (split). 기판프로세싱시스템의제 1 존및 제 2 존은가스스플리터의제 1 유출부및 제 2 유출부와각각유체로연통한다.
摘要翻译：用于基板处理系统的气体输送系统包括第一歧管和第二歧管。气体输送子系统选择性地从气体源输送气体。气体输送子系统将第一气体混合物输送到第一歧管和第二气体混合物。气体分配器包括与第二歧管的出口流体连通的入口，与第一歧管的出口流体连通的第一出口和第二出口。气体分配器以第一流量将第二气体混合物分成第一部分，第一流量输出到第一出口，第二部分以第二流量分配，输出到第二出口。基板处理系统的第一和第二区分别与气体分离器的第一和第二出口流体连通。

2. 发明公开

KR1020100106532A 복수의 가스의 가스 혼합물을 제공하는 장치, 복수의 믹싱 매니폴드 출구 밸브를 제어하는 방법 및 이를 구현하기 위한 머신 판독가능 저장 매체 有权
标题翻译：气体运输延迟解决方案
公开(公告)号：KR1020100106532A
公开(公告)日：2010-10-01
申请号：KR1020107016734
申请日：2008-12-17
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 샤리프이크발 , 타스카마크 , 젬락토니
IPC分类号： F17D3/03 , F17D3/00 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67069 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/877 , Y10T137/87885 , F17D3/03 , F17D3/00 , H01L21/00
摘要： 일 실시형태에 있어서, 복수의 가스의 가스 혼합물을 제공하는 장치는, 복수의 질량 유량 제어기 (MFC; mass flow controller); 이 복수의 MFC 각각과 유체 연결된 믹싱 매니폴드; 이 믹싱 매니폴드 상에 위치된 복수의 믹싱 매니폴드 출구; 및 이 복수의 믹싱 매니폴드 출구 각각과 유체 연결된 격리 디바이스 (isolation device) 를 가질 수도 있다.

3. 发明授权

KR101548399B1 복수의 가스의 가스 혼합물을 제공하는 장치, 복수의 믹싱 매니폴드 출구 밸브를 제어하는 방법 및 이를 구현하기 위한 머신 판독가능 저장 매체 有权
标题翻译：用于提供气体混合物的装置一种控制多个混合排气阀的方法和用于实施该方法的机器可读存储介质
公开(公告)号：KR101548399B1
公开(公告)日：2015-08-28
申请号：KR1020107016734
申请日：2008-12-17
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 샤리프이크발 , 타스카마크 , 젬락토니
IPC分类号： F17D3/03 , F17D3/00 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67069 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
摘要： 일실시형태에있어서, 복수의가스의가스혼합물을제공하는장치는, 복수의질량유량제어기 (MFC; mass flow controller); 이복수의 MFC 각각과유체연결된믹싱매니폴드; 이믹싱매니폴드상에위치된복수의믹싱매니폴드출구; 및이 복수의믹싱매니폴드출구각각과유체연결된격리디바이스 (isolation device) 를가질수도있다.

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