专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020110109868A 반송 장치 및 도포 시스템 无效
标题翻译：运输设备和涂装系统
公开(公告)号：KR1020110109868A
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020110024144
申请日：2011-03-18
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 모리토시히로
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67721 , G03F7/16 , G03F7/70975 , H01L21/0274
摘要： 부상하는 기판을 확실히 보지(保持)할 수 있고, 게다가, 보지한 기판을, 간단한 구성에 의하여 전체적으로 평탄하게 한다.
기판(W)을 반송하는 반송 장치(40)는, 기판(W)을 부상시키는 부상 스테이지(1)와, 부상시킨 기판(W)의 측부 하면(9)을 흡착하는 흡착 기구(3)와, 흡착 기구(3)를 이동시키는 것에 의하여 당해 흡착 기구(3)가 흡착한 기판(W)을 소정 높이(h)로 부상시킨 상태로 반송하는 반송 구동 수단을 구비하고 있다. 흡착 기구(3)는, 기판(W)의 측부 하면(9)을 접촉시키는 것으로 당해 기판(W)의 측부를 상기 소정 높이(h)에 위치 결정하는 접촉면(11)을 가지고 있는 스토퍼(10)와, 기판(W)의 측부 하면(9)을 흡착 가능하고, 흡착 전은 접촉면(11)보다도 위로 소정 치수(S)에 관하여 돌출하고 흡착하면 당해 소정 치수(S)에 관하여 아래로 수축하는 흡착 패드(20)를 가지고 있다.

2. 发明公开

KR1020160138343A 기판 반송 장치 审中-实审
标题翻译：基板运输装置
公开(公告)号：KR1020160138343A
公开(公告)日：2016-12-05
申请号：KR1020160051359
申请日：2016-04-27
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 오카모토칸지 , 하마카와켄지 , 미야지마유야
IPC分类号： B65G49/06 , B65G54/00 , B65G27/10 , B65G69/20 , B65G51/03 , H01L21/677 , G02F1/13
CPC分类号： B65G49/061 , B65G27/10 , B65G51/03 , B65G54/00 , B65G69/20 , B65G2201/022 , B65G2812/0304 , B65G2812/16 , G02F1/1303 , H01L21/67727 , H01L21/67793
摘要： [과제] 건조온도의설정이변경된경우여도, 진동판과환승유닛과의높이위치의조절이불필요한기판반송장치를제공한다. [해결수단] 기판반송면(搬送面) 상(上)에서기판을초음파부상(浮上)시키는복수매(枚)의진동판과, 상기진동판의기판반송면의이측(裏側)에설치되는히터부를구비하는기판반송장치이고, 이웃하는진동판끼리의사이에는, 기판이다음의진동판으로갈아타는환승유닛이설치되고, 이환승유닛은, 기판반송면측으로에어를분출(噴出)하고, 기판반송면의일부를형성하는반송에어분출부와, 인접하는각각의진동판에연설(延設)되는지지연장부를가지고있고, 지지연장부에는, 진동판을향하여분출하는지지에어분출부가설치되어있고, 이지지에어분출부로부터분출되는에어에의하여, 환승유닛이진동판사이에있어서비접촉으로지지되는것과함께, 진동판의기판반송면과반송에어분출부가평활하게조정되는구성으로한다.

3. 发明授权

KR102018506B1 도포 장치 有权
公开(公告)号：KR102018506B1
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：KR1020130012368
申请日：2013-02-04
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 모리토시히로 , 하마카와켄지
IPC分类号： B05C13/02 , B05B13/04 , B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/683 , H01L21/027

4. 发明公开

KR1020170016276A 기판 부상 반송 장치 审中-实审
标题翻译：基础设施和运输设备
公开(公告)号：KR1020170016276A
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020160087888
申请日：2016-07-12
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 오쿠다다이스케 , 모리토시히로 , 오카모토칸지
IPC分类号： B65G49/06 , B65G51/03 , G02F1/13
摘要： [과제] 천폭(川幅) 방향으로치수가큰 광폭기판에서도평면도를고정도(高精度)로유지하면서반송(搬送)할수 있는기판부상(浮上) 반송장치를제공한다. [해결수단] 반송방향으로연장되고, 기판부상면(浮上面) 상(上)에기판을부상시키는부상스테이지부와, 기판부상면상에부상한기판을보지(保持)하는기판보지부를구비하고, 기판부상면상에부상한상태의기판을보지한상태로기판보지부가반송방향을따라이동하는것에의하여, 기판이기판부상면상에부상한상태로반송되는기판부상반송장치에있어서, 부상스테이지부와기판보지부와의사이에는, 기준사이즈의기판보다도반송방향과직교하는천폭방향치수가큰 광폭기판을반송하는경우에, 기판부상면으로부터천폭방향으로비어져나오는광폭기판의비어져나옴영역을부상시키는보조부상지지부를구비하는구성으로한다.

5. 发明公开

KR1020130058607A 도포 장치 审中-实审
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR1020130058607A
公开(公告)日：2013-06-04
申请号：KR1020120126697
申请日：2012-11-09
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 모리토시히로
IPC分类号： B05C13/00 , B05C11/00 , B05C5/02 , H01L21/027
CPC分类号： B05C13/00 , B05C5/0225 , B05C5/0245 , B05C11/00 , H01L21/0273
摘要： PURPOSE: A coating device is provided to easily exchange a sow block unit although a substrate transferring path which is continuously expanded to one direction. CONSTITUTION: A coating device includes a substrate transferring path expanded to one direction, a substrate transferring unit, and a coating unit(4). The substrate transferring unit transfers a substrate along the expanded direction of the substrate transferring path. A sow block unit(42) is detachably installed in the coating unit to face the substrate transferring path. The sow block unit discharges coating liquid. A coating film is formed on the substrate by discharging the coating liquid while the substrate on the substrate transferring path transfers by the substrate transferring unit.
摘要翻译：目的：提供一种涂覆装置，以便容易地更换母猪块单元，尽管基底传送路径被连续地扩展到一个方向。构成：涂布装置包括向一个方向膨胀的基板传送路径，基板传送单元和涂布单元（4）。基板转印单元沿着基板传送路径的扩展方向传送基板。母体块单元（42）可拆卸地安装在涂覆单元中以面对基板传送路径。母猪块单位排出涂液。通过在衬底传送路径上的衬底被衬底传送单元传送的同时通过排出涂布液而在衬底上形成涂膜。

6. 发明公开

KR1020140011472A 기판 반송 장치 审中-实审
标题翻译：基板运输装置
公开(公告)号：KR1020140011472A
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：KR1020130082827
申请日：2013-07-15
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 우치카타토모오 , 하마카와켄지 , 미야지마유야
IPC分类号： B65G49/06 , G09F9/00 , B65G51/03 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67784 , B65G47/911 , B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045
摘要： The purpose of the present invention is to provide a substrate returning apparatus which can return a substrate by preventing the generation of a dry stain on a coating film on the substrate. The substrate returning apparatus returns a substrate at a state of being lifted while driving a substrate guide by grasping a substrate lifted by ultrasonic vibration with the substrate guide. The substrate guide comprises: a substrate bonding unit which bonds a substrate; and a lifting unit which lifts the substrate bonding unit to a fixed height position from a vibration plate. The lifting unit comprises: an air pad unit having an air discharge unit which discharges air toward the vibration plate; and an air discharge flow path which discharges the air discharged from the air discharge unit. The air discharge flow path is installed between the air discharge unit and the substrate bonded on the substrate bonding unit and discharges air in a gap formed by the air pad unit and the vibration plate toward a higher position than the height of the substrate.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种基板返回装置，其可以通过防止在基板上的涂膜上产生干污迹而返回基板。基板返回装置在通过用基板引导件抓住由超声波振动提升的基板的同时驱动基板引导件的同时使基板回升。基板引导件包括：接合基板的基板接合单元; 以及将基板接合单元从振动板提升到固定的高度位置的提升单元。提升单元包括：气垫单元，具有将空气朝向振动板排出的排气单元; 以及排出从排气单元排出的空气的排气流路。排气流路安装在排气单元和粘合在基板接合单元上的基板之间，并且在由气垫单元和振动板形成的间隙中的空气朝向比基板的高度更高的位置排出。

7. 发明公开

KR1020130045175A 부상 반송 장치 审中-实审
标题翻译：具有检测和运输的设备
公开(公告)号：KR1020130045175A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020120113586
申请日：2012-10-12
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 모리토시히로
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G51/03 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/6773 , B65G49/063 , B65G49/069 , B65G51/03 , H01L21/0273 , H01L21/67736
摘要： PURPOSE: A levitating and transferring apparatus is provided to transfer a substrate with a preset levitation height by quickly responding to the change of a levitation environment. CONSTITUTION: A levitation stage includes a surface on which a plurality of outlets(11) and absorption holes(12) are arranged in a substrate transfer direction. A main pipe(13) is connected to an absorption force supply unit(30). A branch pipe(15) is connected to the main pipe and each absorption hole. A differential pressure damper(20) is installed in the main pipe and includes a manifold(21) and a valve(22) to connect the main pipe to the outside. The valve is opened or closed by an external force due to the differential pressure between the main pipe and the outside which affects the value. [Reference numerals] (AA) Substrate transferring direction
摘要翻译：目的：提供悬浮和转移装置，通过快速响应悬浮环境的变化来转移具有预设悬浮高度的基底。构成：悬浮台包括在基板传送方向上布置有多个出口（11）和吸收孔（12）的表面。主管（13）与吸收力供给单元（30）连接。分支管（15）连接到主管和每个吸收孔。差压缓冲器（20）安装在主管中并包括歧管（21）和将主管连接到外部的阀（22）。阀门由于主管和外部之间的压差而受到外力打开或关闭，影响该值。（附图标记）（AA）基板转印方向

8. 发明公开

KR1020160115693A 가열 건조 장치 审中-实审
标题翻译：加热干燥装置
公开(公告)号：KR1020160115693A
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR1020160013827
申请日：2016-02-04
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 오쿠다다이스케 , 오카모토칸지
IPC分类号： F26B3/00 , G02F1/13 , F26B15/10 , F26B25/00 , F26B21/06
摘要： [과제] 반송(搬送) 경로상(上)의기판(基板)에대하여도, 기판상에형성된도포막(塗布膜)에건조얼룩이생기는것을억제하여건조시킬수 있는가열건조장치를제공한다. [해결수단] 초음파진동부상(浮上)시키면서기판을반송하는반송장치의반송경로상에서기판을가열건조시키는가열건조장치이고, 기판상의도포막을가열시키는히터부와, 진동판에당접(當接)하는것에의하여챔버부를형성하고, 챔버부내에기판을밀봉상태로보지(保持)하는챔버덮개부와, 챔버부내를배기(排氣)하는배기부를구비하고, 챔버덮개부에는, 챔버덮개부가진동판에당접한상태로, 진동판상의기판에근접하여기판전면(全面)과대향(對向)하는천판(天板)이설치되고, 배기부는, 배기구로부터챔버부내를배기하는것에의하여챔버부내를저감압(低減壓) 상태로형성하면서, 히터부를가열시키는것에의하여기판상의도포막을건조시키는구성으로한다.

9. 发明公开

KR1020160053792A 도포액 펌프 유닛 및 도포 장치 审中-实审
标题翻译：涂料液体泵单元和涂料装置
公开(公告)号：KR1020160053792A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020150151587
申请日：2015-10-30
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 하마카와켄지 , 이토토시후미
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/1333
摘要： [과제] 기판상에박막을형성하는경우여도, 횡단차이의발생을억제할수 있는도포액펌프유닛및 도포장치를제공한다. [해결수단] 기판과도포유닛을상대적으로이동시켜기판상에도포막을형성하는도포장치의상기도포유닛에도포액을공급하는도포액펌프유닛이고, 상기도포액펌프유닛은, 도포액을공급하는펌프본체와, 이펌프본체에구동력을전달하는볼 나사구동부와, 구동력을발생시키는모터부가이 순으로 1축(軸) 상에배치되어있고, 상기모터부와상기볼 나사구동부와의사이에는, 유성롤러감속기가설치되어있는구성으로한다.
摘要翻译：提供一种即使在基板上形成薄膜也能够抑制水平阶梯的涂布液泵单元和涂布装置。涂布溶液泵单元向涂覆装置的涂布单元提供涂布溶液，其被配置为通过相对移动基材和涂布单元在基材上形成涂膜。在涂布液泵单元中，泵体，滚珠丝杠驱动单元和马达单元依次布置在泵体供应涂布溶液的第一轴上，滚珠丝杠驱动单元将驱动力传递到泵体，马达单元产生驱动力，并且在马达单元和滚珠丝杠驱动单元之间安装行星滚子减速器。

10. 发明公开

KR1020130105332A 도포 장치 审中-实审
标题翻译：涂料部分
公开(公告)号：KR1020130105332A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020130012368
申请日：2013-02-04
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 모리토시히로 , 하마카와켄지
IPC分类号： B05C13/00 , B05B13/04
CPC分类号： B05C13/02 , B05B13/04 , B05C5/0208 , B05C11/10 , H01L21/027 , H01L21/683 , H01L2221/683
摘要： PURPOSE: A coating device is provided to accurately detect the height of both stepped regions in the width direction of a nozzle by a sensor mounted on a base member on a horizontal plane. CONSTITUTION: A coating device (1) comprises a returning apparatus part (2), a coating apparatus part (3) and a sensor (7). The returning apparatus part returns a substrate (W) toward a returning direction. The coating apparatus part has a nozzle (30) facing the substrate being returned vertical to the returning direction around a gap in a height direction and a lifting part (32) moving up and down the nozzle in the height direction and discharges a coating solution toward the substrate from the nozzle. The sensor detects the height in the both side parts (35) in the width direction of a nozzle for controlling the position of the nozzle to a horizontal plane.
摘要翻译：目的：提供一种涂布装置，用于通过安装在水平面上的基底构件上的传感器来精确地检测喷嘴宽度方向上的两个台阶区域的高度。构成：涂覆装置（1）包括返回装置部分（2），涂覆装置部分（3）和传感器（7）。返回装置部件朝向返回方向返回基板（W）。所述涂布装置部具有与所述基板相对的喷嘴（30），所述喷嘴（30）相对于所述返回方向围绕高度方向的间隙返回，并且所述提升部（32）在所述高度方向上上下移动所述喷嘴，并且向来自喷嘴的基材。传感器检测喷嘴的宽度方向上的两侧部（35）的高度，用于将喷嘴的位置控制为水平面。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式