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1. 发明授权

KR101850359B1 부상 반송 가열 장치 有权
公开(公告)号：KR101850359B1
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：KR1020120044460
申请日：2012-04-27
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 미야지마유야 , 오쿠다다이스케 , 오카모토슌이치 , 우치카타토모오
IPC分类号： B05C9/14 , B05C13/00 , B05D3/00
摘要： [과제] 도포막(塗布膜)에건조얼룩을생기게하지않고기판을가열하면서반송(搬送)할수 있는부상(浮上) 반송가열장치를제공한다. [해결수단] 기판(基板)을초음파진동부상시키는진동판부(2)와, 상기진동판부를가열하는히터부(3)와, 상기진동판부에초음파진동을주는초음파발생부(4)와, 기판의단부(端部)를지지하여기판의부상방향과수직인방향으로기판을반송하는반송부(5)를구비하는부상반송가열장치이고, 히터부(3)는, 진동판부(2)의기판을부상시키는면의이면(裏面) 측에진동판부(2)와소정간격을설치하여배치되고, 기판의반송방향과직교하는방향의진동판부(2)의치수는동(同)방향의기판(W)의치수보다크고, 히터부(3)에의하여진동판부(2)가가열되는것에의하여, 부상반송중의기판(W) 전면(全面)이진동판부(2)에의하여가열된다.

2. 发明公开

KR1020160138343A 기판 반송 장치 审中-实审
标题翻译：基板运输装置
公开(公告)号：KR1020160138343A
公开(公告)日：2016-12-05
申请号：KR1020160051359
申请日：2016-04-27
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 오카모토칸지 , 하마카와켄지 , 미야지마유야
IPC分类号： B65G49/06 , B65G54/00 , B65G27/10 , B65G69/20 , B65G51/03 , H01L21/677 , G02F1/13
CPC分类号： B65G49/061 , B65G27/10 , B65G51/03 , B65G54/00 , B65G69/20 , B65G2201/022 , B65G2812/0304 , B65G2812/16 , G02F1/1303 , H01L21/67727 , H01L21/67793
摘要： [과제] 건조온도의설정이변경된경우여도, 진동판과환승유닛과의높이위치의조절이불필요한기판반송장치를제공한다. [해결수단] 기판반송면(搬送面) 상(上)에서기판을초음파부상(浮上)시키는복수매(枚)의진동판과, 상기진동판의기판반송면의이측(裏側)에설치되는히터부를구비하는기판반송장치이고, 이웃하는진동판끼리의사이에는, 기판이다음의진동판으로갈아타는환승유닛이설치되고, 이환승유닛은, 기판반송면측으로에어를분출(噴出)하고, 기판반송면의일부를형성하는반송에어분출부와, 인접하는각각의진동판에연설(延設)되는지지연장부를가지고있고, 지지연장부에는, 진동판을향하여분출하는지지에어분출부가설치되어있고, 이지지에어분출부로부터분출되는에어에의하여, 환승유닛이진동판사이에있어서비접촉으로지지되는것과함께, 진동판의기판반송면과반송에어분출부가평활하게조정되는구성으로한다.

3. 发明授权

KR101793021B1 기판 반송 장치 有权
标题翻译：衬底 -
公开(公告)号：KR101793021B1
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：KR1020110097170
申请日：2011-09-26
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 우치카타토모오 , 오쿠다다이스케 , 오카모토슌이치 , 미야지마유야 , 히메노다카마사
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G51/03
摘要： 기판상의도포막에건조얼룩이생기는것을억제하여기판을반송할수 있고, 또한, 장치의제조상및 조립상의오차가큰 경우에서도파티클의발생을억제할수 있는기판반송장치를제공한다. 스테이지의표면으로부터부상(浮上)시킨기판을기판가이드로가이드하면서반송하는기판반송장치이고, 기판가이드는, 기판의측면에당접(當接)하는것으로기판을구속하는것과함께, 스테이지의표면과수직인방향으로변위(變位) 가능한기판가이드본체와, 기판가이드본체를스테이지의표면으로부터부상시키는부상유닛과, 기판가이드본체를스테이지의표면측으로압박시키는압박수단을구비하고있고, 기판가이드본체는기판의측면에당접하는기판당접부를가지고있고, 이기판당접부의높이위치가, 부상유닛과압박수단에의하여, 스테이지의표면으로부터부상하는기판의높이위치에유지되는구성으로한다.
摘要翻译：本发明提供一种基板输送装置，其能够抑制在基板上的涂膜上产生干燥污点，从而即使在装置的制造和组装时存在较大误差的情况下，也能够抑制粒子的产生。 <解决问题的手段]>的基板输送装置用于输送从所述台部分（浮上）与基板上由接触（当接）在所述基板的一侧的结合引导基板，其是在基板指南，基板引导，一起，载物台的表面于表面并垂直于设置有压力的位移（变位）的方向用于损伤单元，其与电路板导轨体，从载物台的表面和该级的基板引导体侧表面上的压力在基板引导体的部分时，基片引导体具有这样的结构，其中与所述衬底的部件，所述抵接，并且所述抵靠部分是板的高度位置，通过一个部分单元和推动装置，保持衬底中的阶段的表面出现在与所述衬底的每一侧接触的高度位置。

4. 发明公开

KR1020130105331A 열처리 장치 审中-实审
标题翻译：热处理装置
公开(公告)号：KR1020130105331A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020130010829
申请日：2013-01-31
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 미야지마유야
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/324
CPC分类号： G02F1/1303 , B65G49/065 , H01L21/324
摘要： PURPOSE: A heat treatment device is provided to prevent the generation of a drying smear on a coating layer by maintaining uniform temperature on the surface of a substrate. CONSTITUTION: Vibration plates (2) are arranged in a substrate transfer direction (W). An ultrasonic generating part (4) applies ultrasonic vibration to each vibration plate. The ultrasonic generating part includes an ultrasonic oscillator (41) and a horn (42). A temperature controlling part (3) controls the temperature of the vibration plate part. A gas floating part (6) is floated by the injection of a gas. A transfer part (5) includes a hand (51) and a reciprocating tool (52).
摘要翻译：目的：提供一种热处理装置，通过保持基板表面的均匀温度来防止在涂层上产生干燥污迹。构成：振动板（2）布置在基板传送方向（W）上。超声波发生部（4）对每个振动板施加超声波振动。超声波发生部包括超声波振荡器（41）和喇叭（42）。温度控制部（3）控制振动板部的温度。气体浮动部分（6）通过注入气体浮起。传送部件（5）包括手（51）和往复工具（52）。

5. 发明公开

KR1020140011472A 기판 반송 장치 审中-实审
标题翻译：基板运输装置
公开(公告)号：KR1020140011472A
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：KR1020130082827
申请日：2013-07-15
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 우치카타토모오 , 하마카와켄지 , 미야지마유야
IPC分类号： B65G49/06 , G09F9/00 , B65G51/03 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67784 , B65G47/911 , B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045
摘要： The purpose of the present invention is to provide a substrate returning apparatus which can return a substrate by preventing the generation of a dry stain on a coating film on the substrate. The substrate returning apparatus returns a substrate at a state of being lifted while driving a substrate guide by grasping a substrate lifted by ultrasonic vibration with the substrate guide. The substrate guide comprises: a substrate bonding unit which bonds a substrate; and a lifting unit which lifts the substrate bonding unit to a fixed height position from a vibration plate. The lifting unit comprises: an air pad unit having an air discharge unit which discharges air toward the vibration plate; and an air discharge flow path which discharges the air discharged from the air discharge unit. The air discharge flow path is installed between the air discharge unit and the substrate bonded on the substrate bonding unit and discharges air in a gap formed by the air pad unit and the vibration plate toward a higher position than the height of the substrate.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种基板返回装置，其可以通过防止在基板上的涂膜上产生干污迹而返回基板。基板返回装置在通过用基板引导件抓住由超声波振动提升的基板的同时驱动基板引导件的同时使基板回升。基板引导件包括：接合基板的基板接合单元; 以及将基板接合单元从振动板提升到固定的高度位置的提升单元。提升单元包括：气垫单元，具有将空气朝向振动板排出的排气单元; 以及排出从排气单元排出的空气的排气流路。排气流路安装在排气单元和粘合在基板接合单元上的基板之间，并且在由气垫单元和振动板形成的间隙中的空气朝向比基板的高度更高的位置排出。

6. 发明公开

KR1020120135029A 부상 반송 가열 장치 审中-实审
标题翻译：加热和运输的加热装置
公开(公告)号：KR1020120135029A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：KR1020120044460
申请日：2012-04-27
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 미야지마유야 , 오쿠다다이스케 , 오카모토슌이치 , 우치카타토모오
IPC分类号： B05C9/14 , B05C13/00 , B05D3/00
CPC分类号： B05C9/14 , B05C13/02 , B05D3/029
摘要： PURPOSE: A floating and transferring type heating apparatus is provided to heat and transfer a substrate with a coating film without generating stains on the coating film. CONSTITUTION: A floating and transferring type heating apparatus(1) includes a vibration plate(2), a heater(3), an ultrasound wave generator(4), and a transferring part(5). The vibration plate vibrates and floats a substrate(W) with ultrasound waves. The heater heats the vibration plate. The ultrasound wave generator applies ultrasound wave-based vibrations to the vibration plate. The transferring part transfers the substrate to the vertical direction of the floated direction of the substrate. The heater is arranged to be spaced apart from the vibration plate. The entire surface of the substrate under transferring is heated by the vibration plate.
摘要翻译：目的：提供一种浮动转印式加热装置，用于在涂膜上加热和转印基材，而不会在涂膜上产生污渍。构成：浮动传送式加热装置（1）包括振动板（2），加热器（3），超声波发生器（4）和转印部分（5）。振动板用超声波振动并漂浮衬底（W）。加热器加热振动板。超声波发生器对振动板施加超声波振动。转印部件将基板转移到基板的浮动方向的垂直方向。加热器布置成与振动板间隔开。转印基板的整个表面被振动板加热。

7. 发明公开

KR1020120044884A 기판 반송 장치 有权
标题翻译：基板运输装置
公开(公告)号：KR1020120044884A
公开(公告)日：2012-05-08
申请号：KR1020110097170
申请日：2011-09-26
申请人： 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
发明人： 우치카타토모오 , 오쿠다다이스케 , 오카모토슌이치 , 미야지마유야 , 히메노다카마사
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G51/03
CPC分类号： H01L21/67784 , B65G47/911 , B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045
摘要： PURPOSE: A substrate transfer device is provided to easily transfer a substrate by preventing a dry spot on a coating layer of a substrate. CONSTITUTION: A substrate guide body(31) comprises a substrate abutment unit(34) which abuts the side of a substrate. A floating unit(50) floats the substrate guide body from the surface of a stage. The floating unit includes an air pad(51) in a location facing the surface of the stage. A pressing unit(60) pressurizes the substrate guide body to the surface of the stage. A guide support unit(32) supports the substrate guide body.
摘要翻译：目的：提供基板转印装置，通过防止基板的涂层上的干斑，容易地转印基板。构成：衬底引导体（31）包括邻接衬底侧的衬底抵接单元（34）。浮动单元（50）从基台的表面浮起基板引导体。浮动单元在面向台的表面的位置包括气垫（51）。按压单元（60）将基板引导体加压到载物台的表面。引导支撑单元（32）支撑基板引导体。

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