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    • 2. 发明公开
    • 유리판의 단면 연삭 장치 및 그 방법
    • 玻璃板面研磨装置及方法
    • KR1020100106293A
    • 2010-10-01
    • KR1020107004066
    • 2008-10-01
    • 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
    • 타나카테루요시키타지마코우이치타카하시유지니시무라나오키
    • B24B55/02H01J9/24B24B9/10H01J11/34
    • B24B9/10B24B55/12B24B57/02
    • 본 발명은 유리판의 단면 연삭 공정에 있어서 연삭액이 유리판의 평면에 비산되는 것을 효과적으로 억제하고, 또한 연삭액의 효율적인 회수를 꾀한다. 차폐판(6)은 접촉부(4)를 유리 기판(2)의 평면 중앙측으로부터 포위하는 포위부(9)를 갖는다. 이 포위부(9)의 일단은 숫돌(3)의 회전 방향 전방측에서 유리 기판(2)의 단면(2a)과 교차해서 연장되어 있다. 또한, 차폐판(6)을 사이에 두고 숫돌(3)과는 반대측의 위치에는 퍼지 노즐(7)이 배치되어 있다. 이 퍼지 노즐(7)에는 차폐판(6)과 유리 기판(2)의 간극을 통해 연삭액이 유리 기판(2)의 평면에 침입하는 것을 저지하기 위한 퍼지수(13)를 분사하는 복수의 노즐 개구부가 병렬로 배열되어 있다.
    • 在研磨玻璃板的端面的过程中,有效地防止研磨液在玻璃板的平面上散射,并且有效地回收研磨液。 屏蔽板(6)包括从玻璃基板(2)的平面的中心侧包围接触部分(4)的环绕部分(9)。 围绕部分(9)的一端沿着研磨轮(3)的旋转方向的前侧在玻璃基板(2)的端面(2a)上延伸。 吹扫喷嘴(7)设置在与砂轮(3)相对的屏蔽板(6)的相对侧上。 在吹扫喷嘴(7)中,用于喷射清洗水(13)的喷嘴开口用于防止研磨液通过屏蔽板(6)和玻璃基板(2)之间的间隙进入玻璃基板(2)的平面, 排成一行。