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热词
    • 1. 发明授权
    • 기판 시트의 에지 프로세싱을 위한 장치 및 방법
    • KR102475416B1
    • 2022-12-07
    • KR1020197018851
    • 2017-11-29
    • B24B9/10B24B55/02B24B55/06
    • 기판시트의에지프로세싱장치이다. 상기장치는피니싱부재, 슈라우드, 및튜브형부재를포함한다. 상기피니싱부재는상기슈라우드의챔버내에서회전가능하도록유지된다. 슈라우드는슬롯의일부분을정의하는주 에지에서종료되는월 세그먼트를포함한다. 상기슬롯은상기피니싱부재와상기에지의인터페이스를용이하게하며, 유리시트의에지를슬라이딩가능하게수취하도록구성된다. 상기월 세그먼트는상기주 에지내의개구부에서종료되는노즐통로를더욱정의한다. 상기튜브형부재는상기주 에지로부터돌출하고상기노즐통로와유체연통되는통로를정의한다. 상기노즐통로로이송되는냉각재는진공유도된크로스-흐름의존재하에서도상기튜브형부재를경유하여상기피니싱부재상으로주입된다. 일부실시예들에서, 상기튜브형부재의공간적배열은조절가능하다.
    • 2. 发明授权
    • 실링 유닛 및 이를 포함하는 옥습기
    • KR102402704B1
    • 2022-05-26
    • KR1020220036510
    • 2022-03-24
    • B24B9/14B24B55/02
    • 본발명은옥습기에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른옥습기는, 내부에안경렌즈의가공이수행되는공간을가지고, 일측벽에내외부간을관통하는슬릿홀이형성되고, 상기일 측벽의일 측면의상기슬릿홀의일단으로부터상기슬릿홀의연장방향으로일정거리이격된위치에장애물이돌출되는하우징; 상기슬릿홀을관통하여상기안경렌즈에대한공정을수행하는공정유닛; 및상기슬릿홀을따라상기공정유닛이이동가능하도록상기슬릿홀을실링하는실링유닛을포함하고, 상기실링유닛은, 상기일 측벽의상기일 측면에상기슬릿홀을가로막도록제공되고, 상기슬릿홀의연장방향을따라왕복이동가능하게제공되며, 복수개가서로중첩되게제공되고, 상기공정유닛이관통하고상기슬릿홀의연장방향을따라연장되되상기슬릿홀의연장길이보다짧은연장길이를가지는슬라이딩홀이형성되는슬라이딩플레이트; 및상기슬라이딩플레이트의외측면을덮고상기공정유닛이맞물리도록관통하는관통홀이형성되며상기슬릿홀의연장방향을따라왕복이동가능하게제공되는슬라이딩커버를포함한다.
    • 8. 发明公开
    • 와이어소 장치
    • WIRE SAW DEVICE
    • KR20180004111A
    • 2018-01-10
    • KR20177028728
    • 2016-03-03
    • B24B27/06B24B55/02B28D5/04H01L21/304
    • B24B27/06B24B55/02B28D5/007B28D5/0076H01L21/304
    • 본발명은, 복수의와이어가이드에권회되고, 축방향으로왕복주행하는와이어에의해형성된와이어열과, 상기와이어에쿨런트또는슬러리를공급하는노즐과, 유지한워크를상기와이어열에압압하는워크이송기구를구비하고, 상기노즐로부터상기와이어에상기쿨런트또는상기슬러리를공급하면서, 상기워크이송기구에의해유지된상기워크를상기와이어열에압압하여절입이송함으로써, 상기워크를웨이퍼상으로절단하는와이어소장치로서, 상기노즐은상기와이어열의상방에, 이와이어열과직행하도록배치되고, 이배치된노즐의축방향에서본 좌우양방에방풍판이배치된것을특징으로하는와이어소장치이다. 이에따라, 쿨런트또는슬러리의유량을줄였다고하더라도, 쿨런트또는슬러리를와이어열에균일하게공급할수 있는와이어소장치가제공된다.
    • 本发明是一种线锯装置,其特征在于包括:线材,其由缠绕在多个线材引导件上并沿轴向往复运动的线材形成; 向导线供应冷却剂或浆料的喷嘴; 以及保持工件并将该工件按压在上述线列上的工件输送机构,上述工件输送机构所保持的上述工件被按压在上述线材坯料上,从上述喷嘴供给上述冷却材料或浆料 以便将工件切割成晶片状切片,将喷嘴放置在线材原料上方以与线材原料正交,并且将防风板放置在左侧和右侧两侧,从轴线观察 方向,放置喷嘴。 因此,提供了一种线锯装置,即使在冷却剂或浆料的流量减少时也能够均匀地向线材原料供应冷却剂或浆料。