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    • 반도체 장치
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    • H01L29/7869H01L27/0629H01L27/1225H01L29/045H01L29/78696
    • 안정된전기특성을갖는반도체장치를제공한다. 제1 내지제3 산화물반도체층과, 게이트전극과, 게이트절연층을갖는트랜지스터이며, 제2 산화물반도체층은, 제1 산화물반도체층과, 제3 산화물반도체층과의사이에설치되어있는부분을갖고, 게이트절연층은제3 산화물반도체층의상면과접하는영역을갖고, 게이트전극과, 상술한부분의상면은, 게이트절연층을개재하여서로중첩되는영역을갖고, 게이트전극과, 상술한부분의채널폭 방향의측면은, 게이트절연층을개재하여서로면하는영역을갖고, 제2 산화물반도체층은, 두께가 2nm 이상 8nm 미만인영역을갖고, 제2 산화물반도체층은, 채널폭 방향의길이가 60nm 미만이다.
    • 提供具有稳定电性能的半导体器件。 晶体管具有第一至第三氧化物半导体层,栅极电极和栅极绝缘层。 第二氧化物半导体层具有安装在第一氧化物半导体层和第三氧化物半导体层之间的部分。 栅极绝缘层具有接触第三氧化物半导体层的上表面的区域。 栅电极和上述上侧具有通过插入栅极绝缘层而重叠的区域。 栅极电极和沟道宽度方向上述部分的侧面具有通过插入栅极绝缘层而被接触的区域。 第二氧化物半导体层具有2nm至8nm的厚度的区域。 第二氧化物半导体层的沟道宽度方向的长度为60nm以下。