专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR100701517B1 기판의 연마종점 검출장치 및 검출방법 失效
标题翻译：一种用于检测抛光底层的端点的装置和方法
公开(公告)号：KR100701517B1
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：KR1020020013016
申请日：2002-03-11
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 시오미준이치 , 후지모토히로키 , 니시하라에이지 , 이마무라아츠시
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： G06T7/40 , G06T7/0002 , G06T7/0004 , G06T7/41 , G06T2207/30148 , Y10S438/959
摘要： 본 발명은 마찰력이나 광의 반사율과는 다른 원리를 이용하여 연마종점을 검출할 수 있는 기술을 제공한다.
기판의 연마대상표면의 2차원 화상을 취득하고, 그 2차원 화상을 해석함으로써, 2차원 화상의 엔트로피(H1, H2)를 산출한다. 그리고, 이 엔트로피(H1, H2)를 이용하여 기판의 연마종점을 판정하거나, 또는 이 엔트로피(H1, H2)의 대신에 화상의 차분 통계량과 같은 다른 화상 특성값을 이용할 수도 있다.
웨이퍼, 연마, 종점, 엔트로피, 차분 통계량, 화상 특성값.
摘要翻译：周期性地拾取用于抛光的基板表面的二维图像，并分析图像以获得二维图像的熵H 1，H 2。然后根据熵H 1，H 2确定抛光的终点。或者，可以使用诸如图像的差异统计量的其他图像特征值来代替熵H 1，H 2。

2. 发明公开

KR1020030026839A 화상처리를 이용한 검사대상물의 표면검사방법 및 그 장치 无效
标题翻译：表面检测方法和使用图像处理的对象的设备
公开(公告)号：KR1020030026839A
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：KR1020020050707
申请日：2002-08-27
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 시오미쥰이치 , 이마무라아츠시 , 사노히로시 , 우에무라하루오 , 가나이타카오 , 후지모토히로키 , 고쿠보마사히코 , 호리에마사히로
IPC分类号： G01N21/88
CPC分类号： G01N21/956 , G01R31/309
摘要： PURPOSE: A surface inspection method and device of an object using image processing is provided to execute a surface inspection of the object without a skilled inspector and easily determine a proper wavelength band in obtaining an image. CONSTITUTION: An inspection method for inspecting a surface condition of an object for inspection comprises an illumination optical system(400) including a first light source for irradiating a surface of the object from an oblique direction with first light, and a second light source for irradiating the surface of the object from a substantially perpendicular direction with second light whose principal spectrum range is in longer wavelengths than the first light; an imaging device(200) for capturing a first image including image components relating to at least two color components included in the first light and for capturing a second image relating to the second light; and a region-identifying section for identifying a specific color region having a specific color on the surface of the object on the basis of the first image and the second image.
摘要翻译：目的：提供使用图像处理的物体的表面检查方法和装置，以在没有熟练的检查者的情况下执行对象的表面检查，并且在获得图像时容易地确定适当的波长带。构成：检查被检查体的表面状态的检查方法包括照明光学系统（400），其包括用于从倾斜方向用第一光照射被检体的表面的第一光源和用于照射的第二光源主体光谱范围在比第一光的波长更长的第二光从基本垂直的方向观察物体的表面; 用于捕获第一图像的成像装置，所述第一图像包括与包括在所述第一光中的至少两个颜色分量相关的图像分量，并用于捕获与所述第二光有关的第二图像; 以及区域识别部分，用于基于第一图像和第二图像来识别对象表面上的具有特定颜色的特定颜色区域。

3. 发明公开

KR1020020073386A 기판의 연마종점 검출장치 및 검출방법 失效
标题翻译：基板抛光端点检测
公开(公告)号：KR1020020073386A
公开(公告)日：2002-09-26
申请号：KR1020020013016
申请日：2002-03-11
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 시오미준이치 , 후지모토히로키 , 니시하라에이지 , 이마무라아츠시
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： G06T7/40 , G06T7/0002 , G06T7/0004 , G06T7/41 , G06T2207/30148 , Y10S438/959
摘要： PURPOSE: To provide a technique that can detect a polishing end point with the use of a principle different from frictional force and light reflectance. CONSTITUTION: A two-dimensional image of a polished surface of a substrate is acquired, and the two-dimensional image is analyzed to compute entropies H1 and H2 of the two-dimensional image. The entropies H1 and H2 are used to determine a polishing end point of the substrate. The entropies H1 and H2 can be replaced with another image feature such as a difference statistic of the image.
摘要翻译：目的：提供一种可以使用不同于摩擦力和光反射率的原理来检测抛光终点的技术。构成：获取衬底的抛光表面的二维图像，并且分析二维图像以计算二维图像的熵H1和H2。熵H1和H2用于确定衬底的抛光终点。熵H1和H2可被替换为另一图像特征，例如图像的差分统计量。

4. 发明公开

KR1020110035881A 잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 장치에 있어서의 잉크젯 헤드의 세정 방법 无效
标题翻译：喷墨应用设备的喷墨头和喷头清洁方法
公开(公告)号：KR1020110035881A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020100087414
申请日：2010-09-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 하라다히로미 , 후지모토히로키
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13 , B05C5/02
CPC分类号： G02F1/13392 , B41J2/145 , B41J2/16517 , G02F1/1303
摘要： PURPOSE: An inkjet applying apparatus and inkjet head cleaning method of the inkjet applying apparatus are provided to clean plural inkjet heads properly and prevent the waste of spacer particle dispersion liquid. CONSTITUTION: A transparent substrate(1) comprises a red color filter region, a green color filter region, a blue color filter region and a black matrix, wherein the black matrix partitions those regions. Spacer particle dispersion liquid is discharged toward the black matrix and a space region is formed on the discharged region. Spacer particles of the spacer region are deposited onto the transparent substrate through a drying operation. A table(11) supports the transparent substrate, and a gantry(13) supports an inject head unit(12).
摘要翻译：目的：提供一种喷墨打印设备的喷墨打印设备和喷墨头清洁方法，以适当地清洁多个喷墨头并防止间隔物颗粒分散液的浪费。构成：透明基板（1）包括红色滤色器区域，绿色滤色器区域，蓝色滤色器区域和黑色矩阵，其中黑色矩阵分割这些区域。间隔粒子分散液体向黑色矩阵排出，在排出区域形成空间区域。通过干燥操作将间隔区的间隔颗粒沉积到透明基底上。桌子（11）支撑透明基板，并且台架（13）支撑注射头单元（12）。

5. 发明授权

KR101871082B1 약효 평가방법 및 약효 평가를 위한 화상 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101871082B1
公开(公告)日：2018-06-25
申请号：KR1020167015072
申请日：2014-11-18
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 후지모토히로키 , 고바야시마사요시 , 사사키류조
IPC分类号： G01N33/50 , C12M1/34 , G06T11/00
CPC分类号： G01N33/5008 , G06T7/0012 , G06T7/60 , G06T7/62 , G06T2207/10072 , G06T2207/10101 , G06T2207/30004 , G06T2207/30024 , H04N13/111
摘要： 약제후보의화학물질이세포집괴에어떠한약효를미칠까를보다적확하게평가하는것을가능하게하는기술을제공한다. 용기에담지된액체내의세포집괴에투여된화학물질의약효를평가하는약효평가방법에있어서, 세포집괴를연직면과대략일치하는단면에서단층촬상한단층화상을취득하는공정(단계 S102)과, 단층화상에기초하여세포집괴의특징량을산출하는공정(단계 S105)과, 특징량의산출결과에기초하여, 화학물질의약효를판정하는공정을구비하다.

6. 发明公开

KR1020160084429A 약효 평가방법 및 약효 평가를 위한 화상 처리 장치 审中-实审
标题翻译：药物效能评估方法及药物效果评价图像处理装置
公开(公告)号：KR1020160084429A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：KR1020167015072
申请日：2014-11-18
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 후지모토히로키 , 고바야시마사요시 , 사사키류조
IPC分类号： G01N33/50 , C12M1/34 , G06T11/00
CPC分类号： G01N33/5008 , G06T7/0012 , G06T7/60 , G06T7/62 , G06T2207/10072 , G06T2207/10101 , G06T2207/30004 , G06T2207/30024 , H04N13/111 , C12M1/34 , G06T11/006
摘要： 약제후보의화학물질이세포집괴에어떠한약효를미칠까를보다적확하게평가하는것을가능하게하는기술을제공한다. 용기에담지된액체내의세포집괴에투여된화학물질의약효를평가하는약효평가방법에있어서, 세포집괴를연직면과대략일치하는단면에서단층촬상한단층화상을취득하는공정(단계 S102)과, 단층화상에기초하여세포집괴의특징량을산출하는공정(단계 S105)과, 특징량의산출결과에기초하여, 화학물질의약효를판정하는공정을구비하다.
摘要翻译：提出了一种使得可以更准确地评估化学物质如何对细胞聚集体有效的技术。用于评估化学物质对包含在容器中的液体内的细胞团聚体的药物功效的功效评价方法包括：获取沿与垂直平面近似匹配的横截面成像的细胞聚集体的断层图像（步骤 S102）; 基于断层图像计算细胞聚集体的特征量（步骤S105）; 并根据特征量的计算结果确定化学物质的药物功效。

7. 发明授权

KR100515491B1 반도체 기판 상의 패턴을 검사하는 장치와 방법 및 컴퓨터판독 가능한 기록매체 失效
标题翻译：检查半导体基板和计算机可读介质图案的装置和方法
公开(公告)号：KR100515491B1
公开(公告)日：2005-09-16
申请号：KR1020020074247
申请日：2002-11-27
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 후지모토히로키
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G06T7/001 , B24B37/042 , B24B49/12 , G01N21/95607 , G06T7/12 , G06T7/32 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148 , H01L21/67288
摘要： CMP가 행해진 반도체의 기판(9)의 패턴을 검사하는 검사장치(1)에 있어서, 기판(9)의 패턴의 2차원 화상을 취득하는 광학 헤드부(11) 및 연산처리를 행하는 컴퓨터(13)를 설치한다. 컴퓨터(13)에는 미리 기준화상 및 기준화상의 에지화상이 준비되어 있으며, 취득화상과 기준화상과의 패턴 매칭이 행해진 후에 차분화상이 구해진다. 차분화상에서 에지화상이 나타내는 에지영역을 제외하고 화소치의 절대치의 평균과 소정의 문턱치가 비교되어 금속 잔막의 유무가 검출된다.
摘要翻译：在用于检查通过CMP处理的半导体衬底（9）上的图案的检查装置（1）中，用于获取衬底（9）的图案的二维图像的光学头部（11）和计算机（13）用于执行计算。在计算机（13）中，预先准备参考图像和参考图像的边缘图像，并且在执行所获取的二维图像与参考图像之间的图案匹配之后获得差分图像。在差分图像中，将像素的绝对值的平均值与预定阈值进行比较，同时省略由边缘图像指示的边缘区域，以检测是否存在金属残留膜。

8. 发明公开

KR1020030047736A 반도체 기판 상의 패턴을 검사하는 장치와 방법 및 컴퓨터판독 가능한 기록매체 失效
标题翻译：用于检查半导体基板上的图案的装置和方法以及计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR1020030047736A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：KR1020020074247
申请日：2002-11-27
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 후지모토히로키
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G06T7/001 , B24B37/042 , B24B49/12 , G01N21/95607 , G06T7/12 , G06T7/32 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148 , H01L21/67288
摘要： PURPOSE: An apparatus and method for inspecting a pattern on a semiconductor substrate, and a computer readable record medium are provided to be capable of improving the stability of the pattern inspection without the contact and damage for the pattern. CONSTITUTION: An apparatus(1) for inspecting a pattern on a semiconductor substrate(9), is provided with an optical head part(11) for obtaining two-dimensional image data by photographing the substrate, a stage part(12) for supporting and relatively moving the substrate for the optical head part, and a computer(13) connected with the optical head part and the stage part. At this time, the optical head part includes an optical system(111), a photographing part(112), and a light source unit(2).
摘要翻译：目的：提供一种用于检查半导体衬底上的图案的装置和方法以及计算机可读记录介质，以能够提高图案检查的稳定性，而不会对图案进行接触和损坏。构成：用于检查半导体衬底（9）上的图案的装置（1）设置有用于通过拍摄基板获得二维图像数据的光学头部（11），用于支撑和相对移动用于光学头部的基板，以及与光学头部和台部连接的计算机（13）。此时，光头部分包括光学系统（111），拍摄部分（112）和光源单元（2）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式