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1. 发明授权

KR102205818B1 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102205818B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020197002287
申请日：2017-09-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 이와오미치노리 , 기쿠모토노리유키 , 야스다슈이치 , 후지타가즈히로 , 오사와미즈키 , 에비스이히로시
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 기판처리장치는, 기판을유지하는기판유지유닛과, 상기기판의주면을향해서처리액을토출하기위한토출구에연통하는처리액배관과, 상기처리액배관에처리액을공급하기위한처리액공급유닛과, 상기처리액배관의내부에존재하고있는처리액을흡인하기위한흡인유닛과, 상기처리액공급유닛및 상기흡인유닛을제어하는제어장치를포함하고, 상기제어장치가, 상기처리액공급유닛에의해, 상기토출구로부터토출하기위해서상기처리액배관에처리액을공급하는처리액공급공정과, 상기흡인유닛에의해, 상기처리액배관의내부에존재하고있는처리액을흡인하는흡인공정을실행하고, 상기제어장치가, 상기흡인공정에있어서, 처리액을흡인하여, 흡인후의처리액의선단면을, 상기처리액배관의내부에있어서의미리정하는대기위치에배치시키는제 1 흡인공정과, 처리액을흡인하여, 처리액의선단면을상기대기위치보다후퇴시키는제 2 흡인공정을선택적으로실행한다.

2. 发明授权

KR102055070B1 기판 건조 방법 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102055070B1
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：KR1020180088661
申请日：2018-07-30
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오쿠타니마나부 , 기쿠모토노리유키 , 요시하라나오히코 , 아베히로시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687

3. 发明授权

KR101943727B1 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101943727B1
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：KR1020170021184
申请日：2017-02-16
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키 , 기무라마사히로 , 야스다슈이치 , 후지타가즈히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/683

4. 发明授权

KR102219403B1 기판 처리 장치, 처리액 배출 방법, 처리액 교환 방법, 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102219403B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020190011210
申请日：2019-01-29
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 이와오미치노리 , 기쿠모토노리유키 , 야스다슈이치
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
摘要： 기판처리장치는, 처리액공급노즐을갖고, 당해처리액공급노즐로부터처리액을기판에공급하여기판을처리하는처리부와, 처리액공급원으로부터공급되는상기처리액을저류하는저류부와, 상기저류부에저류된상기처리액을상기처리액공급노즐로보내는송액배관과, 상기송액배관과는다른유로를구성하고, 그유로내에서처리액을유통시키는유통배관과, 상기유통배관에개재되고, 상기유통배관을유통하는처리액에용존하는산소농도를측정하는산소농도계와, 상기유통배관에연통되고, 저산소유체공급원으로부터공급되는저산소유체를상기유통배관으로보내는저산소유체공급관과, 상기저산소유체공급관에개재되고, 상기유통배관으로의상기저산소유체의공급유량을변경하는유량변경밸브와, 제어부를구비하고있다. 상기제어부는, 상기유통배관내의상기처리액의배출시에, 적어도상기유통배관내가상기저산소유체로채워질때까지의동안, 상기저산소유체가상기유통배관에공급되도록상기유량변경밸브를제어하는유량변경제어부를갖는다.

5. 发明授权

KR102127045B1 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102127045B1
公开(公告)日：2020-06-25
申请号：KR1020180061183
申请日：2018-05-29
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키 , 하야시도요히데 , 후지타나오토 , 이와오미치노리 , 사카이와타루
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687

6. 发明授权

KR101987590B1 탈산소 장치 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101987590B1
公开(公告)日：2019-06-10
申请号：KR1020180064862
申请日：2018-06-05
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키 , 사사키미츠토시 , 고바야시겐지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , B01D19/02 , B01D19/00

7. 发明公开

KR1020160089465A 기판 처리 장치 有权
标题翻译：基板处理装置
公开(公告)号：KR1020160089465A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：KR1020167016704
申请日：2014-12-17
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/6708 , H01L21/67126 , H01L21/68721 , H01L21/68742 , H01L21/6715 , H01L21/02307 , H01L21/67017
摘要： 기판처리장치에서는, 챔버덮개부및 컵부 (161) 가제 1 위치에위치하는상태에서는, 컵측벽부 (611) 와액 수용측벽부 (253) 가직경방향으로겹치고, 가드부 (166) 가액 수용측벽부 (253) 에지지된다. 챔버덮개부및 컵부 (161) 가제 1 위치보다상방의제 2 위치로이동할때에는, 가드부 (166) 가컵 측벽부 (611) 에의해매달려상방으로이동한다. 챔버덮개부및 컵부 (161) 가제 2 위치에위치하는상태에서는, 컵측벽부 (611) 의하단이액 수용측벽부 (253) 의상단보다상방에위치하고, 가드부 (166) 가컵 측벽부 (611) 의하단과액 수용측벽부 (253) 의상단사이의간극을덮는다. 이에의해, 회전하는기판으로부터의처리액이컵 측벽부 (611) 보다하방으로비산한경우에도, 처리액이외측벽부 (164) 에부착되는것을억제할수 있다.
摘要翻译：在基板处理装置的状态下，室盖和杯位于第一位置，杯侧壁和液体接收侧壁在径向上彼此重叠，并且防护件由液体接收侧支撑壁。当腔室盖和杯子移动到高于第一位置的第二位置时，护罩从杯侧壁悬挂而向上移动。当室盖和杯位于第二位置时，杯侧壁的下端位于液体接收侧壁的上端的上方，护罩覆盖杯侧壁的下端之间的间隙和液体接收侧壁的上端。

8. 发明授权

KR102055069B1 기판 건조 방법 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102055069B1
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：KR1020180086588
申请日：2018-07-25
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오쿠타니마나부 , 기쿠모토노리유키 , 요시하라나오히코 , 아베히로시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687

9. 发明公开

KR1020170108814A 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR1020170108814A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020170021184
申请日：2017-02-16
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키 , 기무라마사히로 , 야스다슈이치 , 후지타가즈히로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67023 , B08B3/08 , B08B3/10 , B08B15/007 , B08B2203/0229 , H01L21/0206 , H01L21/67051
摘要： 기판처리장치에서는, 제 2 컵차양부의내주연은, 대향부재측벽부의외주면과직경방향으로대향한다. 이로써, 처리액이컵부보다상측으로비산되는것을억제할수 있다. 또, 대향부재측벽부의외주면과제 2 컵차양부의내주연사이의직경방향의거리인제 2 컵갭 거리는, 대향부재측벽부의내주면과기판유지부의외주면사이의직경방향의거리인유지갭 거리보다크다. 이로써, 기판으로부터비산되는제 2 처리액을제 2 컵으로받을때에, 제 2 처리액이하방향의기류에의해하방을향하여밀려내려가는것을방지또는억제할수 있다. 그결과, 복수종류의처리액을복수의컵에의해분별하여받을수 있다.
摘要翻译：在基板处理装置中，第二杯形斜面部分的内周边缘与相对构件的侧壁部分的外周表面径向相对。结果，可以抑制处理液从杯部向上飞散。另外，除了外周表面构件任务2杯遮罩部分远在西班牙keopgaep第二距离的内周之间沿径向方向的相对侧壁更大，该距离在相对的侧壁构件内表面和基片保持部外周面的间隙距离之间的径向方向上保持。因此，当受到来自衬底到第二杯散射的第二处理液中，可以防止或从下降抑制由下面方向的处理液2的流动向下推。结果，可以通过多个杯子来识别多种处理溶液。

10. 发明公开

KR1020160117291A 탈산소 장치 및 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：脱氧装置和底材加工装置
公开(公告)号：KR1020160117291A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160037557
申请日：2016-03-29
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 기쿠모토노리유키 , 사사키미츠토시 , 고바야시겐지
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , B01D19/02 , B01D19/00
CPC分类号： B01D19/0005 , B01D19/0063 , B08B3/00 , C11D11/0047 , H01L21/02052 , H01L21/67051 , H01L21/67253 , H01L21/02046 , B01D19/00 , B01D19/02 , H01L21/67034 , H01L21/6704
摘要： 탈산소장치는, 대상액의용존산소농도를저감하는장치이다. 탈산소장치는, 대상액을저류하는저류조와, 산소와는다른첨가가스를저류조내의대상액중에공급하는가스공급부와, 가스공급부로부터대상액중에공급되는첨가가스의공급개시로부터의총량인총 공급량과대상액중의용존산소농도와의관계를나타내는상관정보를기억하는기억부와, 당해총 공급량과당해상관정보에기초하여대상액중의용존산소농도를구하는연산부를구비한다. 이로써, 산소농도계등에의해대상액의용존산소농도를측정하지않고, 대상액의용존산소농도를용이하게취득할수 있다.

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