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1. 发明授权

KR101850873B1 액체로부터 용존 가스를 선택적으로 제거하기 위한 시스템 有权
标题翻译：一种选择性地从液体中去除溶解气体的系统
公开(公告)号：KR101850873B1
公开(公告)日：2018-04-23
申请号：KR1020137027070
申请日：2012-03-15
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 브람머,울리히 , 자이베르트,요하네스 , 고트샬크,크리스티아네
IPC分类号： B01D19/00 , C02F1/20
CPC分类号： B01D19/0005 , B01D19/0031 , B01D19/0036 , B01D19/0063 , B01D19/0068 , C02F1/20 , C02F2103/04 , C02F2209/225 , C02F2209/245 , C02F2209/38 , C02F2209/40
摘要： 액체들로부터선택적으로용존가스들을퍼지하기위한시스템은두 개의제 1 접촉기인렛들및 두개의제 1 접촉기아웃렛들을가지는제 1 접촉기를포함할수 있다. 제 1 접촉기는제 1 접촉기의제 1 인렛에서액체소스및 제 1 접촉기의제 2 인렛에서불활성가스소스와유체연통될수 있다. 제 1 접촉기의제 2 인렛은액체소스로부터가스의제 1 부분을퍼지하는불활성가스를수용할수 있다. 퍼지된가스의제 1 부분은제 1 접촉기의제 1 아웃렛에서제 1 접촉기로부터배출될수 있다. 상기시스템은또한두 개의제 2 접촉기인렛들및 두개의제 2 접촉기아웃렛들을포함하는제 2 접촉기를포함할수 있다. 제 2 접촉기는제 1 접촉기의제 2 아웃렛과그리고제 2 접촉기의제 2 인렛에서불활성가스소스와유체연통될수 있다. 제 2 접촉기의제 2 인렛은액체소스로부터가스의제 2 부분을퍼지하는불활성가스를수용할수 있다. 퍼지가스의제 2 부분은제 2 접촉기의제 1 아웃렛에서제 2 접촉기로부터배출될수 있다.

2. 发明授权

KR101776017B1 용존 오존 제거 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치, 용존 오존 제거 방법, 기판 세정 방법 有权
公开(公告)号：KR101776017B1
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：KR1020150149307
申请日：2015-10-27
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 방병선 , 윤준희 , 권길성
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/02057 , B01D19/0005 , B08B3/08 , B08B3/102 , B08B3/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , H01L21/67051
摘要： 본발명은액체내에용존오존을제거하는용존오존제거유닛및 이를포함하는기판처리장치, 용존오존제거방법, 기판세정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른, 액체내에용존오존을제거하는방법은상기액체내에마이크로버블을공급하고, 상기마이크로버블이상기액체내에용해되면서발생되는에너지또는라디칼이온으로상기용존오존을상기액체외부로빠져나가도록제공되는용존오존제거방법을포함한다.

3. 发明公开

KR1020170048786A 용존 오존 제거 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치, 용존 오존 제거 방법, 기판 세정 방법 有权
标题翻译：溶解臭氧去除单元和包括其的基底处理设备，溶解臭氧去除方法，基底清洁方法
公开(公告)号：KR1020170048786A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：KR1020150149307
申请日：2015-10-27
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 방병선 , 윤준희 , 권길성
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/02057 , B01D19/0005 , B08B3/08 , B08B3/102 , B08B3/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , H01L21/67051
摘要： 본발명은액체내에용존오존을제거하는용존오존제거유닛및 이를포함하는기판처리장치, 용존오존제거방법, 기판세정방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른, 액체내에용존오존을제거하는방법은상기액체내에마이크로버블을공급하고, 상기마이크로버블이상기액체내에용해되면서발생되는에너지또는라디칼이온으로상기용존오존을상기액체외부로빠져나가도록제공되는용존오존제거방법을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种溶解臭氧去除单元和基板处理装置中，所述溶解的臭氧除去的方法，该基板清洗方法，其包括相同的，以除去溶解的臭氧在液体中。在液体与本发明中，溶解的臭氧的能量或者作为溶解在液体中的微气泡的移相器的液体供给微气泡产生游离基离子的一个实施例中，和所述液体外除去溶解的臭氧，按照方法去除溶解的臭氧。

4. 发明授权

KR101672964B1 유체 처리 장치 有权
标题翻译：流体处理设备
公开(公告)号：KR101672964B1
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020107028849
申请日：2009-04-22
申请人： 브이더블유에스 웨스트가스 리미티드
发明人： 랭네빌어니스트 , 세버링케네스웨인
IPC分类号： B01D17/02 , B03D1/16 , B03D1/26 , E21B43/34
CPC分类号： B01D19/0005 , B01D17/0205 , B01D17/0217 , B01F3/04496 , B01F5/0428 , B03D1/1412 , B03D1/1456 , B03D1/247
摘要： 유체처리장치(10)는제1 및제2 유체챔버(14, 16)를갖는유체용기(12)를포함한다. 제1 유체챔버(14)에처리될유체를전달하기위한유체입구(26)가제공된다. 1 이상의노즐어셈블리(34)가제1 챔버(14)와제2 챔버(16) 사이에배열되어제1 유체챔버(14)로부터제2 유체챔버(16)에의유체연통을제공하는데, 여기서상기노즐어셈블리(34)는가스와상기유체의혼합을촉진하도록된다.

5. 发明授权

KR101600037B1 선박평형수 처리시스템 有权
标题翻译：压力水处理系统
公开(公告)号：KR101600037B1
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：KR1020140079003
申请日：2014-06-26
申请人： (주) 테크윈
发明人： 정붕익 , 김정식 , 신현수 , 황선덕
IPC分类号： B63J4/00 , C02F1/467 , B63B13/00
CPC分类号： B63J4/002 , B01D19/0005 , B63B13/00 , C02F1/02 , C02F1/46104 , C02F1/467 , C02F1/4674 , C02F1/725 , C02F2103/008 , C02F2201/46145 , C02F2201/4617 , C02F2201/4618 , C02F2209/29 , C02F2303/04
摘要： 선박평형수로사용될해수를선박의선박평형수탱크로공급하기위한해수공급부, 해수공급부를통해상기선박평형수탱크로공급되는해수의일부를공급받아전기분해하여차아염소산나트륨과부생가스로수소가스를생성하는전기분해장치및, 전기분해장치에서생성된전해수와수소가스가혼합된기액혼합물을전달받아촉매반응에의해수소가스를제거하고남은전해수를선박평형수공급부를통해선박평형수탱크로공급하는수소가스제거장치를포함하는것을특징으로하는선박평형수처리시스템이게시된다.
摘要翻译：公开了一种压载水处理系统，包括：压载水供应单元，用于将用作压载水的海水供应到压载水箱; 接收供给到所述压载水箱的部分所述海水的电解装置，并且经由所述压载水供给单元电解供给到所述压载水箱的一部分海水，生成次氯酸钠和氢气作为副产物气体; 以及氢气除去装置，其接收电解装置中产生的电解水和氢气的气液混合物，通过催化剂反应除去氢气，并通过压载水将剩余的电解水供给压载水箱供应单位。

6. 发明公开

KR1020120036814A 용매-함유 폴리카르보네이트 용액의 탈휘발화에 대한 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于溶解含溶剂的聚碳酸酯溶液的装置和方法
公开(公告)号：KR1020120036814A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：KR1020117028507
申请日：2010-05-26
申请人： 코베스트로 도이칠란드 아게
发明人： 쾨니크,토마스 , 콜그뤼버,클레멘스 , 반덴아인데,요한 , 바에스,요한 , 데보스,스테판
IPC分类号： B01D19/00 , B29C47/10 , B29C47/76 , C08J3/02 , B29K69/00 , B29K105/16
CPC分类号： B01D19/0031 , B01D19/0005 , B01D19/0052 , B29C47/0009 , B29C47/10 , B29C47/1063 , B29C47/767 , B29K2069/00 , B29K2105/0005 , B29K2105/0008 , B29K2105/0026 , B29K2105/0032 , B29K2105/0038 , B29K2105/0044 , B29K2105/005 , B29K2105/06 , B29K2105/16 , C08J3/02
摘要： 본 발명은 용매-함유 폴리카르보네이트 용액을 탈휘발화하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치를 사용함으로써, 플래쉬 탈휘발기 및 탈기 압출기의 장치 조합의 도움으로, 휘발성 성분의 잔류량이 낮고 광학 특성, 특히 황변 지수가 개선된 폴리카르보네이트가 용매-함유 중합체 용융물로부터 제조된다.

7. 发明公开

KR1020070115657A 연료전지 발전시스템 无效
标题翻译：燃料电池发电系统
公开(公告)号：KR1020070115657A
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR1020070051437
申请日：2007-05-28
申请人： 후지 덴키 가부시키가이샤
发明人： 사사키,노리오
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/0618 , B01D19/0005 , B01D19/0042 , H01M8/04164 , H01M8/0668
摘要： A fuel cell power generation system is provided to ensure sufficient contact time and contact area between condensed water and air for decarboxylation, thereby reducing a running cost or installation space thereof. A fuel cell power generation system includes: a fuel cell main body which is a laminate of many unit cells having an electrolyte interposed between a fuel electrode and an air electrode; a reformer which reforms fuel and supplies the reformed gas to the fuel electrode; an air supply device which supplies air to the air electrode; a condensation heat exchanger which withdraws condensed water from exhaust gas discharged from the fuel cell main body and/or the reformer; a decarboxylation device(11) which removes carbon dioxide dissolved in the condensed water; and a water tank which stores the condensed water decarboxylated in the decarboxylation device. The decarboxylation device has a slant board(30) formed of a porous material, and is configured to circulate air for decarboxylation from the lower part to the upper part of the slant board and to let the condensed water flow from the upper part to the lower part of the slant board, wherein the condensed water comes into contact with the air for carboxylation on the both surfaces(30a,30b) of the slant board while flowing down the slant board.
摘要翻译：提供燃料电池发电系统以确保冷凝水和空气之间的充分的接触时间和接触面积用于脱羧，从而降低其运行成本或安装空间。燃料电池发电系统包括：燃料电池主体，其是具有介于燃料电极和空气电极之间的电解质的许多单电池的叠层体; 改革者改革燃料并将改性气体供应给燃料电极; 向空气电极供给空气的供气装置; 从所述燃料电池主体和/或所述重整器排出的废气中抽出冷凝水的冷凝热交换器; 去除溶解在冷凝水中的二氧化碳的脱羧装置（11）; 以及储存在脱羧装置中脱羧的冷凝水的水箱。脱羧装置具有由多孔材料形成的倾斜板（30），并且被构造成从斜板的下部向上部循环用于脱羧的空气，使冷凝水从上部流向下部倾斜板的一部分，其中冷凝水与倾斜板的两个表面（30a，30b）上的空气接触，同时向下倾斜。

8. 发明授权

KR100656871B1 연료 탈산소화 장치 失效
标题翻译：燃料脱氧装置
公开(公告)号：KR100656871B1
公开(公告)日：2006-12-19
申请号：KR1020050018514
申请日：2005-03-07
申请人： 유나이티드 테크놀로지스 코포레이션
发明人： 불라츠키,세르게이에프. , 거말라,말리카 , 스파다치니,루이스제이. , 램,포스터필립
IPC分类号： B01D19/00 , B01D61/00
CPC分类号： B01D19/0031 , B01D19/0005 , B01D61/00 , C10G31/11 , F02C7/22 , F02C7/224
摘要： 본 발명은 다공성 멤브레인을 갖는 탈산소화기 시스템을 포함하는 에너지 전환 장치용 연료 시스템에 관한 것이다. 탈산소화기는 다공성 멤브레인에 의해 연료 채널로부터 분리된 산소 수용 채널을 포함한다. 모세관력이 멤브레인을 가로지른 차압과 반대작용하여 연료의 임의의 누설을 방지하고, 멤브레인을 가로지른 산소 농도차는 다공성 멤브레인을 통한 연료의 탈산소화를 가능하게 한다.
탈산소화기 시스템, 산소 투과성 다공성 멤브레인, 연료 시스템

9. 发明公开

KR1020050099530A 기체용해량 조정 방법, 장치 및 시스템 有权
标题翻译：用于控制气体溶解量的方法，装置和系统
公开(公告)号：KR1020050099530A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020057014420
申请日：2004-02-12
申请人： 후지사토 테츠히코 , 이순화
发明人： 후카가와마사유키 , 하다노게사요시 , 후지사토테츠히코 , 후지사토료사쿠
IPC分类号： B01F1/00 , B01D19/00 , C02F1/20
CPC分类号： B01F3/0446 , B01D19/0005 , B01D19/0042 , B01D19/0063 , C02F1/20 , C02F2209/42 , C02F2301/063 , C02F2303/12 , Y10S261/26
摘要： 닫힌 탱크(5) 상부에 설치된 구멍과 진공펌프(1a)를 파이프(1b) 등으로 연결해, 상기 탱크(5) 내부를 감압공간으로 할 수 있는 감압부(1A); 가압펌프(2)에 의해 가압된 피처리액(W)을 탱크(5)내 상부로부터 감압공간을 향해 주변기체를 다량으로 휘말아들이면서 노즐(3)을 통해 분사하는 분사공급부(1B);분사된 피처리액(W)을 용기(4)의 개구부 중앙에서 받아 바닥에 다량의 기포를 발생시키고 이를 액포로 변화시키는 액포생성기(1C); 상기 용기(4)의 상단부에서 흘러넘친 액포를 아래로 흐르게 하여 탈기된 피처리액으로 임시 저류하고, 이 처리액을 회수하는 회수펌프부(1D); 및 상기 탱크(5) 안에 저류되어 있는 처리액(2W)의 수위를 유지하기 위한 정보를 펌프(7) 및 밸브(5b) 등에 전달하는 탱크내 수위센서 일부(1E);를 포함하는 구성으로 된 것을 특징으로 하는 기체용해량 조정장치.

10. 发明公开

KR1020010062204A 액체원료의 공급방법 및 공급장치 失效
标题翻译：液体原料的供应系统和供应方法
公开(公告)号：KR1020010062204A
公开(公告)日：2001-07-07
申请号：KR1020000074136
申请日：2000-12-07
申请人： 니폰 파이오니쿠스 가부시키가이샤
发明人： 다카마츠유키치 , 요네야마다케오 , 이시하마요시야스 , 아사노아키라
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： B01D19/0031 , B01D19/0005
摘要： PURPOSE: To provide a supply system and supply method for liquid raw material which are capable of easily removing an inert gas dissolved in the liquid raw material in a semiconductor manufacturing process using the liquid raw material. CONSTITUTION: This supply system has the structure which has a deaeration section for the liquid raw material and a liquid flow rate control section and in which the deaeration section has a gas permeable synthetic resin tube, an inlet and outlet for the liquid raw material connected by the synthetic resin tube, a flow passage for passing the inert gas along the exterior side surface of the synthetic resin tube and an inlet and outlet for the inert gas. The liquid raw material dissolved in a first inert gas is passed to the interior side of the gas permeable synthetic resin tube and a second inert gas having a permeability to the synthetic resin tube lower than that of the first inert gas is passed along the surface on the exterior side of the synthetic resin tube.
摘要翻译：目的：提供一种能够在使用液体原料的半导体制造工艺中容易地除去溶解在液体原料中的惰性气体的液体原料的供给系统和供给方法。构成：该供给系统具有液体原料的脱气部和液体流量控制部，其中脱气部具有透气性合成树脂管，液体原料的入口和出口由合成树脂管，用于沿着合成树脂管的外侧表面使惰性气体流过的流路和用于惰性气体的入口和出口。溶解在第一惰性气体中的液体原料通过到透气性合成树脂管的内侧，并且使合成树脂管的渗透性比第一惰性气体低的第二惰性气体沿着表面通过合成树脂管的外侧。

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