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1. 发明授权

KR101680620B1 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元照明光学装置曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101680620B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020137027738
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B26/02 , G02B5/08 , G02B5/30
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명광학장치는광학유닛(3)을구비한다. 광학유닛은, 입사광속을 2개의광속으로분할하는광 분할기(35)와, 제 1 광속의광로에배치될수 있는제 1 공간광 변조기(33)와, 제 2 광속의광로에배치될수 있는제 2 공간광 변조기(34)와, 제 1 공간광 변조기를통과한광속과제 2 공간광 변조기를통과한광속을합성하는광 합성기(36)를구비하며, 제 1 공간광 변조기및 제 2 공간광 변조기는, 이차원적으로배열되며개별적으로제어되는복수의광학요소(33a, 34a)를각각갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种光学单元，其可以布置在用于利用来自光源的光照射第一表面的照明装置的光学系统中，所述光学单元包括分光器，以分裂在入射光路中行进的入射光束，成多个梁; 第一空间光调制器，其可以布置在所述多个光束中的第一光束的光路中，并且在所述照明装置的光瞳平面处形成期望的光源分布; 第二空间光调制器，其可以布置在所述多个光束中的第二光束的光路中，并且在所述照明装置的光瞳平面处形成期望的光源分布; 以及组合器，将通过第一空间光调制器的光束与经过第二空间光调制器的光束组合，并将合成的光束引导到出射光路; 其中，所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的至少一个空间光调制器包括二维排列并分别控制的多个光学元件; 其中分光器侧的入射光路和光组合器侧的出射光路沿同一方向延伸; 并且其中所述分光器包括偏振分离膜。

2. 发明授权

KR101624140B1 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元照明光学装置曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101624140B1
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：KR1020147024048
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/10 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명광학장치는광학유닛(3)을구비한다. 광학유닛은, 입사광속을 2개의광속으로분할하는광 분할기(35)와, 제 1 광속의광로에배치될수 있는제 1 공간광 변조기(33)와, 제 2 광속의광로에배치될수 있는제 2 공간광 변조기(34)와, 제 1 공간광 변조기를통과한광속과제 2 공간광 변조기를통과한광속을합성하는광 합성기(36)를구비하며, 제 1 공간광 변조기및 제 2 공간광 변조기는, 이차원적으로배열되며개별적으로제어되는복수의광학요소(33a, 34a)를각각갖는다.

3. 发明授权

KR101563756B1 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元照明光学装置曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101563756B1
公开(公告)日：2015-10-27
申请号：KR1020107011180
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/10 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명광학장치는광학유닛(3)을구비한다. 광학유닛은, 입사광속을 2개의광속으로분할하는광 분할기(35)와, 제 1 광속의광로에배치될수 있는제 1 공간광 변조기(33)와, 제 2 광속의광로에배치될수 있는제 2 공간광 변조기(34)와, 제 1 공간광 변조기를통과한광속과제 2 공간광 변조기를통과한광속을합성하는광 합성기(36)를구비하며, 제 1 공간광 변조기및 제 2 공간광 변조기는, 이차원적으로배열되며개별적으로제어되는복수의광학요소(33a, 34a)를각각갖는다.

4. 发明公开

KR1020140111713A 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元，照明光学装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020140111713A
公开(公告)日：2014-09-19
申请号：KR1020147024048
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/10 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명 광학 장치는 광학 유닛(3)을 구비한다. 광학 유닛은, 입사 광속을 2개의 광속으로 분할하는 광 분할기(35)와, 제 1 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 1 공간 광 변조기(33)와, 제 2 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 2 공간 광 변조기(34)와, 제 1 공간 광 변조기를 통과한 광속과 제 2 공간 광 변조기를 통과한 광속을 합성하는 광 합성기(36)를 구비하며, 제 1 공간 광 변조기 및 제 2 공간 광 변조기는, 이차원적으로 배열되며 개별적으로 제어되는 복수의 광학 요소(33a, 34a)를 각각 갖는다.

5. 发明公开

KR1020130122808A 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元，照明光学装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020130122808A
公开(公告)日：2013-11-08
申请号：KR1020137027738
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B26/02 , G02B5/08 , G02B5/30
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명 광학 장치는 광학 유닛(3)을 구비한다. 광학 유닛은, 입사 광속을 2개의 광속으로 분할하는 광 분할기(35)와, 제 1 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 1 공간 광 변조기(33)와, 제 2 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 2 공간 광 변조기(34)와, 제 1 공간 광 변조기를 통과한 광속과 제 2 공간 광 변조기를 통과한 광속을 합성하는 광 합성기(36)를 구비하며, 제 1 공간 광 변조기 및 제 2 공간 광 변조기는, 이차원적으로 배열되며 개별적으로 제어되는 복수의 광학 요소(33a, 34a)를 각각 갖는다.

6. 发明公开

KR1020160137679A 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 审中-实审
标题翻译：照明光学装置，曝光装置，照明方法，曝光方法和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020160137679A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020167032647
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/10 , G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： 조명광학장치는광학유닛(3)을구비한다. 광학유닛은, 입사광속을 2개의광속으로분할하는광 분할기(35)와, 제 1 광속의광로에배치될수 있는제 1 공간광 변조기(33)와, 제 2 광속의광로에배치될수 있는제 2 공간광 변조기(34)와, 제 1 공간광 변조기를통과한광속과제 2 공간광 변조기를통과한광속을합성하는광 합성기(36)를구비하며, 제 1 공간광 변조기및 제 2 공간광 변조기는, 이차원적으로배열되며개별적으로제어되는복수의광학요소(33a, 34a)를각각갖는다.
摘要翻译：照明光学设备具有光学单元（3）。光学单元包括用于将入射光束分成两个光束的分光器35，可以布置在第一光通量的光路中的第一空间光调制器33以及可以布置在第二光通量的光路中的第二空间光调制器33。以及光合成器（36），用于合成穿过空间光调制器（34）的光通量和通过第一空间光调制器的光通量任务2空间光调制器，其中第一空间光调制器和第二空间光调制器以及二维排列的多个独立可控光学元件33a，34a。

7. 发明公开

KR1020100084559A 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：光学单元，照明OPTICL装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020100084559A
公开(公告)日：2010-07-26
申请号：KR1020107011180
申请日：2008-10-23
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 타니츠오사무
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/10 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： An illumination optical apparatus has an optical unit (3). The optical unit has a light splitter (35) to split an incident beam into two beams; a first spatial light modulator (33) which can be arranged in an optical path of a first beam; a second spatial light modulator (34) which can be arranged in an optical path of a second beam; and a light combiner (36) which combines a beam having passed via the first spatial light modulator, with a beam having passed via the second spatial light modulator; each of the first spatial light modulator and the second spatial light modulator has a plurality of optical elements (33a, 34a) arranged two-dimensionally and controlled individually.
摘要翻译：照明光学装置具有光学单元（3）。光学单元具有将入射光束分成两束的分光器（35）; 可以布置在第一光束的光路中的第一空间光调制器（33）可以布置在第二光束的光路中的第二空间光调制器（34）; 以及将通过第一空间光调制器通过的光束与经过第二空间光调制器的光束组合的光合并器（36）第一空间光调制器和第二空间光调制器中的每一个具有二维排列并分别控制的多个光学元件（33a，34a）。

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