基本信息:
- 专利标题： 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법
- 专利标题（英）：Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
- 专利标题（中）：光学单元，照明光学装置，曝光装置和装置制造方法
- 申请号：KR1020137027738 申请日：2008-10-23
- 公开(公告)号：KR1020130122808A 公开(公告)日：2013-11-08
- 发明人： 타니츠오사무
- 申请人： 가부시키가이샤 니콘
- 申请人地址： *-**-*, Konan, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 가부시키가이샤 니콘
- 当前专利权人： 가부시키가이샤 니콘
- 当前专利权人地址： *-**-*, Konan, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 代理人： 제일특허법인
- 优先权： US12/245,021 2008-10-03; US60/960,996 2007-10-24; US61/006,446 2008-01-14
- 国际申请： PCT/JP2008/069704 2008-10-23
- 国际公布： WO2009054541 2009-04-30
- 主分类号： G02B27/09
- IPC分类号： G02B27/09 ; G02B26/02 ; G02B5/08 ; G02B5/30
摘要：
조명 광학 장치는 광학 유닛(3)을 구비한다. 광학 유닛은, 입사 광속을 2개의 광속으로 분할하는 광 분할기(35)와, 제 1 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 1 공간 광 변조기(33)와, 제 2 광속의 광로에 배치될 수 있는 제 2 공간 광 변조기(34)와, 제 1 공간 광 변조기를 통과한 광속과 제 2 공간 광 변조기를 통과한 광속을 합성하는 광 합성기(36)를 구비하며, 제 1 공간 광 변조기 및 제 2 공간 광 변조기는, 이차원적으로 배열되며 개별적으로 제어되는 복수의 광학 요소(33a, 34a)를 각각 갖는다.
摘要（英）：
The illumination optical apparatus includes an optical unit (3). The optical unit, the optical splitter 35 and the first spatial light modulator (33) which can be placed in the optical path of the first light flux dividing the incident light beam into two beams, which can be placed in the optical path of the second beam a second spatial light modulator 34, and an optical combiner (36) for synthesizing a first space passing through the light modulator of the light flux and the light flux passed through the second spatial light modulator, the first spatial light modulator and the second spatial light modulator, arranged in two dimensions and has a plurality of optical elements (33a, 34a) which individually controls each.
公开/授权文献:
- KR101680620B1 조명 광학 장치, 노광 장치, 조명 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 公开/授权日：2016-11-29
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B27/00 | 其他光学系统；其他光学仪器 |
| --------G02B27/09 | .其他位置不包括的光束整形，例如改变横截面积 |