专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明公开

KR1020150032327A 구동 시스템 및 구동 방법, 그리고 노광 장치 및 노광 방법 审中-实审
标题翻译：驱动系统和驱动方法以及曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020150032327A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：KR1020157003294
申请日：2013-07-09
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 사카타고이치 , 아사우미히로요시
IPC分类号： G05B19/402 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/70483 , G03F7/70725 , G05B19/19 , G05B19/402 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/68
摘要： 제1 및 제2 계측기의 계측 결과(X
2 , X
1 )와 대응하는 게인(또는 전달 함수)(α, β)을 이용하여 합성량(X
c =αX
2 +βX
1 )을 구하고, 이 합성량(X
c )과 제1 및 제2 계측기 중 한쪽의 계측 결과(X
2 , X
1 )를 각각 하이패스 필터(F
1 )와 로우패스 필터(F
2 )를 통해 합성함으로써, 합성 제어량(X
mix =F
1 (X
c )+F
2 (X
2 , X
1 ))을 구한다. 합성 제어량(X
mix )과 목표치(R)를 이용하여 조작량(U)을 구하고, 이 조작량(U)을 제어 대상에 부여하는 피드백 제어계를 구성한다. 이에 따라, 제1 및 제2 계측기의 설치 위치의 오프셋을 제거하기 위한 하이패스 필터의 추가가 불필요하게 되어, 공진이 나타나는 대역에 관계없이, 고대역에서 강인한 플레이트 스테이지(PST)의 구동을 제어하는 구동 시스템을 설계할 수 있게 된다.
摘要翻译：通过使用测量结果（X 2，X 2，X 2，X 1）获得合成量（X c =±X 2 + 2X 1）来获得合成控制变量（X mix = F 1（X c）+ F 2 X 1）和第一和第二测量仪器的相应增益（或传递函数）（±，2）并合成合成量（X c）和第一和第二测量仪器的测量结果（X 2，X 1）之一，第二测量仪器分别通过高通滤波器（F 1）和低通滤波器（F 2）。构造反馈控制系统，其使用合成控制变量（X mix）和期望值（R）获得控制输入（U），并给出设备的控制输入（U）。这使得添加高通滤波器以不再需要去除第一和第二测量仪器的安装位置的偏移，并且允许在板级（PST）的高带宽中控制鲁棒驱动的驱动系统，而不管带宽如何哪个共振似乎是设计的。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式