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1. 发明授权

KR100296695B1 위상시프트마스크의제조방법과이를이용한반도체집적회로장치의제조방법 失效
标题翻译：一种用于使用制造相移掩模的该方法制造半导体集成电路器件的方法和
公开(公告)号：KR100296695B1
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：KR1019920008027
申请日：1992-05-13
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 다께꾸마도시쯔구 , 스즈끼도시오 , 이와이히데또시 , 이시하라마사미찌
IPC分类号： H01L21/31
CPC分类号： G03F1/26 , G03F1/29 , G03F1/84
摘要： 마스크의패턴데이타작성방법및 제조기술에관한것으로써, 위상시프트마스크의패턴데이타의검사를가능하제하기위해, 위상시프드마스크의패턴데이타를실제패턴데이타층, 보조패턴데이타층및 위상시프트패턴데이타층으로분리해서배치한다(101). 계속해서실제패턴데이타층의실제패턴의데이타만을검사및 수정한다(102). 그후, 검사및 수정에의해서얻어진올바른실제패턴의데이타, 보조패턴의데이타및 위상시프트패턴의데이타와의합성패턴의데이타에서반도체웨이퍼상에전사되는것으로상정되는예상패턴의데이타를작성한다(103). 그리고,그예상패턴의데이타와실제패턴의데이타를비교하고, 보조패턴및 위상시프트패턴의데이타를검사한다(104).
摘要翻译：至于掩模的方法写入的图案数据，和制造技术，以便清除启用的相移掩模的图案数据的检查，peudeu掩模的图案数据时的相位实际图案数据层，所述辅助图案数据层，和一个相移模式数据它被设置成从所述层101隔离。继续检查和修改数据层（102）的实际模式的实际模式的唯一的数据。在然后，通过修改获得的正确的实际图案的测试和数据，与该数据的数据的复合图案，并且所述辅助图案的相移模式的数据到在预期图案创建数据被假定为被转移到半导体晶片103。和来自所述投影的图案的原始图案的数据的数据进行比较，并检查辅助图案和相移图案（104）的数据。

2. 发明授权

KR100127946B1 고형유기폐기물 처리장치 失效
公开(公告)号：KR100127946B1
公开(公告)日：1997-10-28
申请号：KR1019940008793
申请日：1994-04-26
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 신도야스히로 , 야마구찌우사부로 , 이오까가즈오 , 스즈끼도시오 , 미나가와아끼히로 , 기따바따께쇼이찌
IPC分类号： B09B1/00

3. 发明公开

KR1019940007725A 전자선 묘화 장치를 위한 묘화 데이타의 작성 방법 및 전자선 묘화 방법 无效
标题翻译：用于电子束绘图设备的绘图数据创建方法和电子束绘制方法
公开(公告)号：KR1019940007725A
公开(公告)日：1994-04-28
申请号：KR1019930019269
申请日：1993-09-22
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 , 히다치컴퓨터 엔지니어링 가부시키가이샤
发明人： 아사누마도시후미 , 쯔끼조에아끼라 , 스즈끼도시오
IPC分类号： G06F17/00
摘要： 반도체 집적회로(대규모 반도체 집적회로: LSI)등의 회로설계 패턴 데이타로부터 전자선 묘화장치를 위한 묘화 데이타를 작성하는 기술 및 그것을 이용한 전자선 묘화기술에 관한 것으로, 연속적으로 묘화되는 필드의 순번을 반복부 필드와 비반복부 필드의 구별에 관계없이 그들의 배치위치가 서로 접하는 순번등으로 하는 것에 의해, 배치 위치적으로 서로 접하는 필드 사이에서는 묘화의 시간차를 작게 한다. 이것에 의해서, 인접 필드 사이를 묘화하고 있을때, 전자선 묘화장치의 진공계 내부의 바람직하지 않은 온도 변화에 의한 영향을 작게 하고, 진공계에 있어서의 시료대의 온도 변화등에 기인해서 발생하는 묘화 정밀도의 저하를 방지할수 있다.

4. 发明公开

KR1019940023549A 고형유기폐기물 처리장치 失效
公开(公告)号：KR1019940023549A
公开(公告)日：1994-11-17
申请号：KR1019940008793
申请日：1994-04-26
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 신도야스히로 , 야마구찌우사부로 , 이오까가즈오 , 스즈끼도시오 , 미나가와아끼히로 , 기따바따께쇼이찌
IPC分类号： B09B1/00

5. 发明授权

KR100185722B1 설계패턴데이타를 묘화데이타로 변환하는 변환방법 및 장치 失效
标题翻译：将设计图案数据转换为曝光数据的方法和装置
公开(公告)号：KR100185722B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019910002609
申请日：1991-02-19
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 스즈끼도시오
IPC分类号： H01L21/70
CPC分类号： G06F17/5068
摘要： 설계패턴데이타를 묘화데이타로 변환하는 변환방법 및 장치로써, 모든 도형을 일단 묘화데이타로 변환하고 나서 데이타 압축을 실행하여 최종적으로 묘화에 이용되는 묘화데이타를 얻기 까지의 컴퓨터처리시간이 길게 되는 것을 피하기 위하여, 설계패턴데이타에 포함되는 규칙성을 인식하고, 그것에 따라서 파악되는 반복 패턴이나 동일 패턴에 대해서 도형의 중첩제거나 패턴의 보정등의 처리를 고려한 중첩없이 규정된 기본 패턴 등을 생성하는 것에 의해 해당기본 패턴과 그 반복정보등에 따라서 2중노출방지를 위한 중첩제거나 패턴보정등의 전자선묘화장치를 위한 묘화데이타로의 변환처리를 실행한다.
이러한 변환방법 및 장치를 이용하는 것에 의해 묘화데이타 작성을 위한 처리시간이 단축되고, 기본패턴에 대응하는 묘화데이타의 반복표현에 의한 데이타압축에 의해서 묘화데이타량이 삭감된다.

6. 发明授权

KR100149616B1 고형유기폐기물의처리장치 失效
标题翻译：固体有机废物处理设备
公开(公告)号：KR100149616B1
公开(公告)日：1998-08-17
申请号：KR1019950023929
申请日：1995-08-03
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 신도야스히로 , 야마구찌우사부로 , 후시끼다까유끼 , 노무라하지메 , 스즈끼도시오
IPC分类号： B09B5/00
CPC分类号： C05F17/0205 , B01D53/84 , C05F17/0054 , C05F17/02 , Y02A50/2358 , Y02P20/145 , Y02W30/43
摘要： The present invention relates to a high-speed and high-decomposition-ratio solid organic waste processing apparatus which does not scatter around unpleasant odor or a large amount of vapor, which does not need to add saw dust, rice hulls, etc. as a water content adjustment material and which can be installed compactly with excellent space performance even in narrow stores or business facilities in cities, wherein a heat exchanger for condensing vapor in a gas transferred from a processing tank into a liquid is disposed via an interval at a side of a compost discharging side of the processing tank which is difficult to receive thermal influence, a blast fan for blowing outside air to the heat exchanger is arranged at a side of the heat exchanger opposite the side of the processing tank, and a neutralizing apparatus for neutralizing water condensed by the heat exchanger and a deodorizing apparatus for deodorizing a portion of the gas transferred from the processing tank are arranged at a lower side of the heat exchanger.

7. 发明授权

KR1019970010844B1 고형유기폐기물 처리장치 失效
标题翻译：固体有机废物处理系统
公开(公告)号：KR1019970010844B1
公开(公告)日：1997-07-01
申请号：KR1019940008793
申请日：1994-04-26
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 신도야스히로 , 야마구찌우사부로 , 이오까가즈오 , 스즈끼도시오 , 미나가와아끼히로 , 기따바따께쇼이찌
IPC分类号： B09B1/00
CPC分类号： C05F17/0045 , A61L9/16 , C05F17/00 , C05F17/0063 , C05F17/02 , C05F17/0252 , Y02P20/145 , Y02W30/43
摘要： 내용없음

8. 发明公开

KR1019960007031A 고형유기폐기물의처리장치 失效
标题翻译：固体有机废物处理设备
公开(公告)号：KR1019960007031A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019950023929
申请日：1995-08-03
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 신도야스히로 , 야마구찌우사부로 , 후시끼다까유끼 , 노무라하지메 , 스즈끼도시오
IPC分类号： B09B5/00
摘要： 고형유기폐기물의 처리장치에 관한 것으로써, 악취나 다량의 수증기를 주위로 발산하지 않고, 또한 수분조정재로써의 톱밥이나 왕겨등의 첨가를 필요로 하지 않으며, 또 좁은 도회의 점포나 사업소에서도 스페이스성좋게 컴팩트하게 설치할 수 있는 고속, 고분해율의 고형유기폐기물의 처리장치를 얻기 위해, 고형유기폐기물의 처리조에서 보내지는 기체중의 수증기를 응축해서 액체로 하는 열교환장치를 처리조로 부터의 열의 영향이 적은 처리조의 콤포스트배출측의 옆에 간격을 두고 마련함과 동시에 열교환장치의 처리조측과 반대측에 열교환 장치로 외기를 분사하는 송풍팬을 마련하고, 또 열교환장치로 응축된 물을 중성화하는 중화장치와 처리조에서 보내지는 기체의 일부를 탈취처리하는 탈취장치를 열교환장치의 하측에 배치한 것이다.
이러한 장치를 이용하는 것에 의해, 악취나 다량의 수증기를 주위로 발산하지 않고, 또한 수분조정재로써의 톱밥이나 왕겨등의 첨가를 필요로 하지 않으며, 또 좁은 도회의 점포나 사업소에서도 스페이스성좋게 컴팩트하게 설치할 수 있다.

9. 发明公开

KR1019920022418A 위상시프트마스크의제조방법과이를이용한반도체집적회로장치의제조방법 失效
标题翻译：制造相移掩模的方法和使用其的半导体集成电路器件的制造方法
公开(公告)号：KR1019920022418A
公开(公告)日：1992-12-19
申请号：KR1019920008027
申请日：1992-05-13
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 다께꾸마도시쯔구 , 스즈끼도시오 , 이와이히데또시 , 이시하라마사미찌
IPC分类号： H01L21/31
摘要： 내용 없음.

10. 发明公开

KR1019920000123A 설계패턴데이타를 묘화데이타로 변환하는 변환방법 및 장치 失效
标题翻译：一种转换方法和设备，用于将设计图案数据转换成绘图数据
公开(公告)号：KR1019920000123A
公开(公告)日：1992-01-10
申请号：KR1019910002609
申请日：1991-02-19
申请人： 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
发明人： 스즈끼도시오
IPC分类号： H01L21/70
摘要： 내용 없음

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