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1. 发明公开

KR1020090090479A 고 기화효율을 가진 기화장치 无效
标题翻译：具有高蒸发效率的蒸发装置
公开(公告)号：KR1020090090479A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：KR1020080015715
申请日：2008-02-21
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/00
CPC分类号： C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： A vaporizing device with high vaporization efficiency is provided to gain the big evaporation amount with enhanced evaporation efficiency of chemicals by expanding contact areas of the chemicals and a connection pipe. A vaporizing device with high vaporization efficiency includes a chemical agent inlet(2), a discharge pipe(4), a connection pipe(5), and a heating unit. Chemicals are supplied from the outside through the chemical agent inlet. The discharge pipe discharges the chemicals to a gas state. The connection pipe is used as a flow path(50). The connection pipe is connected with the chemical agent inlet and the discharge pipe. The heating unit heats the flow path to vaporize the chemical. A plurality of flow paths are formed between the discharge pipe and the chemical agent inlet.
摘要翻译：提供高蒸发效率的蒸发装置，以通过扩大化学品和连接管的接触面积来增加化学品蒸发效率的大蒸发量。具有高蒸发效率的蒸发装置包括化学试剂入口（2），排放管（4），连接管（5）和加热单元。化学品从外部通过化学试剂入口供应。排放管将化学品排放到气体状态。连接管用作流路（50）。连接管与化学药剂入口和排放管连接。加热单元加热流路以蒸发化学品。在排出管和化学试剂入口之间形成多个流路。

2. 实用新型

KR200427901Y1 가스 분산구가 구비된 전구체 보관용기 失效
标题翻译：前驱罐与扩散器
公开(公告)号：KR200427901Y1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR2020060019171
申请日：2006-07-14
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/205 , C23C16/45553 , H01L21/0228
摘要： 본 고안은 화학약품의 기화량을 증가시키기 위한 가스 분산구가 구비된 약품 보관용기에 관한 것으로서, 본 고안에서는 용기본체 내부에 주입관을 통해 전구체로 공급되는 불활성가스를 분산시켜 전구체와의 접촉면적을 넓혀주어 기화량을 증가시키는 가스 분산구를 형성함으로서, 같은 시간에 공급되는 전구체 증기의 량이 증가되어 다량의 웨이퍼를 처리할 수 있어 생산량의 증가를 이룰 수 있으며, 일반적으로 시간당 일정량의 전구체의 기화를 위하여 사용되는 통상의 온도보다 낮은 온도에서 원하는 량의 기화가 가능하기 때문에 전구체 보관용기 및 전구체 증기 공급배관의 설정온도를 내릴 수 있게 하여 전구체의 변질 및 오염을 방지하는 유용한 효과를 얻을 수 있다.

3. 实用新型

KR2020090008580U 자동개폐장치와 자동개폐장치를 가진 보관용기 无效
标题翻译：自动开关柜和罐具有相同的功能
公开(公告)号：KR2020090008580U
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：KR2020080002326
申请日：2008-02-21
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： B65D47/20 , B65D47/06 , B65D51/00
摘要： 자동개폐장치를 구비하는 보관용기에서, 용기본체에는 물질이 저장되는 공간이 제공되고, 용기본체와 결합하는 용기커버에는 용기본체 내부로 이송가스를 주입하기 위한 주입구 및 용기본체에 저장된 물질 또는 이송가스를 외부로 배출하기 위한 배출구가 제공된다. 배출구의 자동개폐를 위하여 주입구와 배출구에 각각 대응하여 제1 및 제2 스템이 제공되고, 제1 및 제2 스템은 제1 및 제2 샤프트에 각각 연결되며, 제1 및 제2 샤프트는 조인트에 의해서 결합된다. 따라서, 이송가스의 주입에 따라서 제1 및 제2 샤프트가 이동하면서, 제1 및 제2 스템을 주입구와 배출구로부터 밀착 또는 분리시킨다. 이로써, 이송가스의 주입 여부에 따라서 배출구를 자동적으로 개폐할 수 있다.
스템, 주입구, 배출구, 샤프트

4. 发明授权

KR100639392B1 센서부의 교체가 용이한 보관용기 및 보관용기의 센서부 교체방법 有权
标题翻译： 센서부의교체가용이한보관용기및보관용기의센서부교체방센
公开(公告)号：KR100639392B1
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：KR1020050037897
申请日：2005-05-06
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： B65D90/48 , B65D85/84
摘要： Provided is a storage container, which has an easily detachable sensor section to reduce the time required to exchange the sensor and to improve the productivity of the container, and prevents a precursor and gas present in the container from leaking from the container. The storage container for organic and inorganic metallic compounds comprises: a main body(10) in which the compounds are stored; a cover(20) coupled to the top of the main body and having an inlet(21) and an outlet(22); an introduction tube(30) connected to the inlet for introducing inert gas; a discharge tube(40) connected to the outlet for discharging the inert gas and vaporized compounds; and a sensor section(50) having a level sensor mounted to the bottom of the main body for measuring the amount of a precursor in the container. In the container, an insertion groove having a shape corresponding to the shape of the sensor section is formed inside the bottom of the main body, wherein the insertion groove passes through one side of the main body and permits the sensor section to be inserted and detached in a sliding manner.
摘要翻译：提供一种存储容器，其具有易于拆卸的传感器部分以减少更换传感器所需的时间并提高容器的生产率，并且防止存在于容器中的前体和气体从容器泄漏。用于有机和无机金属化合物的储存容器包括：储存化合物的主体（10）一个与主体顶部连接并具有一个入口（21）和一个出口（22）的盖子（20）; 连接到用于引入惰性气体的入口的引入管（30）连接到出口的排放管（40），用于排放惰性气体和蒸发的化合物; 和具有安装在主体底部的液位传感器的传感器部分（50），用于测量容器中前体的量。在容器中，具有与传感器部分的形状相对应的形状的插入槽形成在主体的底部内，其中插入槽穿过主体的一侧，并且允许传感器部分插入和分离以滑动的方式。

5. 发明公开

KR1020080018651A 전구체 보관용기를 이용한 전구체의 버블링 방법 有权
标题翻译：使用CANISTER的前置器的爆破方法
公开(公告)号：KR1020080018651A
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：KR1020060081106
申请日：2006-08-25
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02205 , H01L21/0228 , H01L21/67017
摘要： A method of bubbling a precursor using a precursor storing container is provided to suppress deterioration of the precursor by preventing bubbles or liquid precursor from being discharged to an outlet pipe. A precursor storing container includes a body(10) storing a precursor, a cover(20) engaged to an upper portion of the body, an inlet pipe(30) having an inlet valve(31) transferring an inert gas into a built-in tube to bubble the precursor, an outlet pipe(40) having an outlet valve draining the vaporized precursor and the inert gas. A bubbling process of the precursor is performed in state the precursor storing container is mounted on a deposition apparatus, with the inlet valve and the outlet valve being opened. A stabilizing process of introducing an inert gas into an upper portion of the body is performed before the bubbling process.
摘要翻译：提供使用前体储存容器鼓泡前体的方法，以通过防止气泡或液体前体排放到出口管来抑制前体的劣化。前体储存容器包括容纳前体的本体（10），与本体的上部接合的盖（20），具有入口阀（31）的入口管（31），惰性气体将惰性气体转移到内置管以使前体起泡，出口管（40）具有排出蒸发的前体和惰性气体的出口阀。在前体储存容器安装在沉积设备上的状态下进行前体的起泡过程，其中入口阀和出口阀打开。在起泡过程之前进行将惰性气体引入身体的上部的稳定过程。

6. 发明授权

KR100680168B1 밀폐 안정화 구조를 갖는 금속제 보관용기 失效
标题翻译：具有密封结构的金属容器
公开(公告)号：KR100680168B1
公开(公告)日：2007-02-09
申请号：KR1020050037894
申请日：2005-05-06
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： B65D45/02 , B65D43/06
摘要： 본 발명은 유기 및 무기금속 화합물이 내부에 저장되는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되며 주입구와 배출구를 갖는 용기커버와, 상기 용기커버의 주입구와 연결되어 불활성가스가 주입되는 주입밸브를 갖는 주입관과, 상기 용기커버의 배출구와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 화합물이 배출되는 배출밸브를 갖는 배출관을 포함한 구성을 갖고, 상기 용기본체와 용기커버의 사이에는 밀폐구로서 금속제 오링이 장착된 유기 및 무기금속 화합물의 금속제 보관용기에 있어서, 상기 밀폐구와 접촉되는 용기본체 및 용기커버의 접촉면에 각각 날카로운 모서리를 갖는 삽입홈이 형성된 밀폐 안정화 구조를 갖는 금속제 보관용기에 관한 것으로,
상기 보관용기는 종래 밀폐구인 금속제 오링과 용기본체 및 용기커버가 직접 밀착되어 선접촉에 지나지 않았던 밀폐구조에 비하여, 금속제 오링과 용기본체 및 용기커버에 구비된 삽입홈이 적어도 두 모서리 이상에서 서로 밀착되도록 함에 따라 두배 이상의 접촉면을 가짐으로써 그 밀폐성을 향상시킬 수 있다.
용기본체, 용기커버, 주입관, 배출관, 밀폐구, 삽입홈, 구조물

7. 发明公开

KR1020060115472A 밀폐 안정화 구조를 갖는 금속제 보관용기 失效
标题翻译：具有密封结构的金属容器
公开(公告)号：KR1020060115472A
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：KR1020050037894
申请日：2005-05-06
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： B65D45/02 , B65D43/06
摘要： A metallic container having a seal structure is provided to reduce instability of the seal and dangerousness of a leak by a metallic o-ring for the seal of a container body and a container cover. The metallic container having a seal structure includes a container body(10), a container cover(20), an injection pipe(30) having an injection valve(31), a discharge pipe(40) having a discharge valve(41), an o-ring as a seal unit(50) mounted between the container body and container cover, and grooves having respective sharp edges and formed on the respective contact surface of the container body and container cover come in contact with the seal unit.
摘要翻译：提供具有密封结构的金属容器，以减少密封件的不稳定性和用于容器主体和容器盖的密封件的金属O形环的泄漏的危险性。具有密封结构的金属容器包括容器主体（10），容器盖（20），具有喷射阀（31）的喷射管（30），具有排出阀（41）的排出管（40）安装在容器主体和容器盖之间的密封单元（50）的O形环和形成在容器主体和容器盖的各个接触表面上的具有相应的锐利边缘的凹槽与密封单元接触。

8. 发明授权

KR100814925B1 전구체 보관용기를 이용한 전구체의 버블링 방법 有权
标题翻译：使用罐的前体鼓泡法
公开(公告)号：KR100814925B1
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：KR1020060081106
申请日：2006-08-25
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 전구체 보관용기를 이용한 전구체의 버블링 방법에 관한 것으로서, 전구체 보관용기를 반도체 또는 전자 재료 소자 제조용 ALD나 CVD와 같은 증착공정용 장치에 장착하여 버블링공정을 실시하기 이전에 용기본체 내부의 액체전구체 상단으로 불활성 가스가 유입되도록 하는 안정화 공정을 실시하는 버블링 방법을 제공한다.

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