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1. 发明公开

KR1020170122339A 기화기 审中-实审
标题翻译：化油器
公开(公告)号：KR1020170122339A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020160050930
申请日：2016-04-26
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 이영종 , 이희준 , 김대현 , 이승준 , 정근태
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/265 , H01L21/60 , H01J37/317 , H01L21/02 , H01L21/67 , C23C16/448 , C23C16/455 , C23C14/48
摘要： 바디; 상기바디내부에위치되며, 케미칼을저장할수 있는복수의적층셀들; 및상기복수의적층셀들을연통시키기위한복수의연통용홀들;을포함하며, 상기복수의연통용홀들중 어느하나의연통용홀-제1 연통용홀-은, 상기복수의적층된셀 중어느하나의셀-제1 셀-의일(一) 개구부와연통되도록위치된것으로서, 제1 셀의상위또는하위방향으로인접한셀-제2 셀-과제1 셀이연통되도록하는것을특징으로하는기화기가개시된다.
摘要翻译：体; 位于体内并能够储存化学物质的多个堆叠的细胞; 以及用于连通多个堆叠的电池的多个孔，其中用于通用的多个孔中的一个 - 用于第一通信的孔 - 包括多个层叠的电池， uisel - 为定位成与uiil（一）开口，邻近细胞的上或下方向的第一小区的通信 - 所述第一小区的第二小区 - 一个蒸发器，它其特征在于，使得通信中的小区中所公开的任务1 。

2. 发明公开

KR1020150017319A 산업용 히팅 장치 및 이를 이용한 기화장치 无效
标题翻译：加热装置及使用其的蒸发装置
公开(公告)号：KR1020150017319A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：KR1020140190879
申请日：2014-12-26
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현 , 송현우 , 신용석 , 박준석 , 이영종
IPC分类号： F17D1/18 , F17D1/05 , F16L53/00 , E03B7/12
摘要： 산업용 히팅 장치 및 이를 이용한 기화장치가 개시된다. 이로써, 배관의 보온 유지를 위한 작업이 용이할 뿐만 아니라 재활용이 가능하며, 특히, 배관의 다양한 배치 조건 및 형상, 구조에 적응적으로 대처할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种工业加热装置和使用该加热装置的蒸发装置，其使得保持管道的工作变得容易并且能够被再次使用，并且更具体地涉及适应性地处理管道的各种布置条件，形状和结构。根据本发明的实施例，本发明包括：围绕管的加热件; 感测由加热构件加热的管道的温度的温度传感器; 以及与所述加热部件的电阻并联连接的电阻器。

3. 发明公开

KR1020130046870A 기화시스템 및 바텀 시스템 有权
标题翻译：蒸气装置和底部系统
公开(公告)号：KR1020130046870A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：KR1020110111519
申请日：2011-10-28
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현 , 이영종
IPC分类号： B01J7/00 , F17C7/04
CPC分类号： B01J7/00 , B01J4/001 , F17C7/04
摘要： PURPOSE: A vaporizing system and a bottom system are provided to be able to perform the maximum evaporation operation with a minimum size, to leave no welding oxide in a body part or a bottom part by assembling the bottom part or the body part after manufactured as separated parts. CONSTITUTION: A compound vaporizing system comprises a body part(10) and a bottom part(50) capable of being combined to the body part in an attachable/detachable manner. The body part comprises a first fluid path(11) and a second fluid path(15) providing a movement route of compounds. The first fluid path and the second fluid path are connected when the bottom part and the body part are combined. A bottom system comprises a first bottom part combined to a first vaporizing apparatus having the body part including the first and second fluid paths providing a movement route of compounds in an attachable/detachable manner. The first fluid path and the second fluid path are connected to each other when the first vaporizing apparatus and the first bottom part are combined in an attachable/detachable manner.
摘要翻译：目的：提供蒸发系统和底部系统，以能够以最小尺寸执行最大蒸发操作，通过组装底部或主体部件而制造为主体部分或底部部分而不存在焊接氧化物分离部分。构成：复合蒸发系统包括主体部分（10）和能够以可附接/可拆卸的方式组合到主体部分的底部部分（50）。主体部分包括提供化合物的运动路线的第一流体路径（11）和第二流体路径（15）。当底部和身体部分组合时，第一流体路径和第二流体路径连接。底部系统包括组合到第一蒸发装置的第一底部部分，其具有包括第一和第二流体路径的主体部分，其以可附接/可拆卸的方式提供化合物的移动路线。当第一蒸发装置和第一底部以可附接/可拆卸的方式组合时，第一流体路径和第二流体路径彼此连接。

4. 发明公开

KR1020120048464A 산업용 배관 히팅 장치 有权
标题翻译：管道加热装置
公开(公告)号：KR1020120048464A
公开(公告)日：2012-05-15
申请号：KR1020110065825
申请日：2011-07-04
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현
IPC分类号： F16L53/00 , F16L59/10 , F16L55/00
CPC分类号： F16L53/30 , F16L59/14
摘要： PURPOSE: An industrial pipe heating device is provided to secure a high heat-retaining performance because heating units are closely adhered to a pipe. CONSTITUTION: An industrial pipe heating device comprises a pair of heating units(110) enclosing a pipe. Each heating unit comprises a first heating block(130), a thermal insulation material(140), and a heater(150). A pipe receiving portion(131) of the first heating block accepts at least a part of the pipe. The thermal insulation material is formed in the outer side of the first heating block. The heater is arranged between the first heating block and thermal insulation material.
摘要翻译：目的：提供工业管道加热装置，以确保高的保温性能，因为加热单元紧密地粘附到管道上。构成：工业管加热装置包括一对封闭管道的加热单元（110）。每个加热单元包括第一加热块（130），绝热材料（140）和加热器（150）。第一加热块的管接收部分（131）接受管道的至少一部分。绝热材料形成在第一加热块的外侧。加热器布置在第一加热块和绝热材料之间。

5. 发明公开

KR1020110111656A 기화 장치 및 이를 이용한 기화 방법 无效
标题翻译：汽化装置及使用其的汽化方法
公开(公告)号：KR1020110111656A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：KR1020100030833
申请日：2010-04-05
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현 , 송현우 , 이희준 , 박준석
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4482 , Y10S261/65
摘要： 기화 장치 및 이를 이용하는 기화 방법을 제공한다. 기화 장치는, 화합물을 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상으로서 주입구와 배출구를 포함하는 본체, 주입구를 통해서 내부 공간과 연결되는 주입 라인, 배출구를 통해서 내부 공간과 연결되는 배출 라인, 주입 라인과 연결되는 내부 공간을 제1 온도 범위로 유지시키는 제1 정온 유지 수단, 및 배출 라인과 연결되는 내부 공간을 제2 온도 범위로 유지시키는 제2 정온 유지 수단을 포함하며, 제1 온도 범위는 제2 온도 범위보다 낮을 수 있다.

6. 发明授权

KR100653312B1 약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 有权
标题翻译：罐用于罐的液体的特殊化学和计量方法
公开(公告)号：KR100653312B1
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020050037893
申请日：2005-05-06
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 신현주
IPC分类号： B65D90/48 , B65D90/00
摘要： 본 발명은 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 보관용기와 보관용기 내부의 액위를 측정하기 위한 방법에 관한 것으로서, 반도체 소자 또는 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정에서라도 레벨센서의 측정값의 정확도를 향상시켜 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 한 약품 보관용기와, 상기 약품보관용기 내부의 액위 측정방법을 제공한다.

7. 实用新型

KR200427901Y1 가스 분산구가 구비된 전구체 보관용기 失效
标题翻译：前驱罐与扩散器
公开(公告)号：KR200427901Y1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR2020060019171
申请日：2006-07-14
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 오원택
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/00 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/205 , C23C16/45553 , H01L21/0228
摘要： 본 고안은 화학약품의 기화량을 증가시키기 위한 가스 분산구가 구비된 약품 보관용기에 관한 것으로서, 본 고안에서는 용기본체 내부에 주입관을 통해 전구체로 공급되는 불활성가스를 분산시켜 전구체와의 접촉면적을 넓혀주어 기화량을 증가시키는 가스 분산구를 형성함으로서, 같은 시간에 공급되는 전구체 증기의 량이 증가되어 다량의 웨이퍼를 처리할 수 있어 생산량의 증가를 이룰 수 있으며, 일반적으로 시간당 일정량의 전구체의 기화를 위하여 사용되는 통상의 온도보다 낮은 온도에서 원하는 량의 기화가 가능하기 때문에 전구체 보관용기 및 전구체 증기 공급배관의 설정온도를 내릴 수 있게 하여 전구체의 변질 및 오염을 방지하는 유용한 효과를 얻을 수 있다.

8. 发明公开

KR1020210031033A 케미컬 회수용 응축모듈 및 이를 구비한 케미컬 회수 시스템 有权
公开(公告)号：KR1020210031033A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020190112274
申请日：2019-09-10
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현 , 이영종 , 이희준 , 정근태 , 윤성한 , 오진욱 , 신현국 , 신은영
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 본발명의일 실시예에따르면, 반도체제조공정에사용되는케미컬을회수하기위한케미컬회수용응축모듈로서, 제1 내부공간을가지며, 케미컬을주입받는주입구를상부에구비하고케미컬을배출하는배출구를하단부에구비한통형상의케이스; 상기케이스의외측면의적어도일부를감싸는자켓; 상기제1 내부공간을상하방향으로통과하며내부에냉각유체가흐르는냉각유체배관;을포함하고, 상기자켓의내측면과이 자켓이둘러싸는케이스의외측면사이에제2 내부공간이형성되며, 상기냉각유체배관과상기제2 내부공간이연통하도록구성된것을특징으로하는케미컬회수용응축모듈이제공된다.

9. 发明公开

KR1020180002954A 케미컬 회수 시스템 有权
标题翻译：化学回收系统
公开(公告)号：KR1020180002954A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：KR1020160081895
申请日：2016-06-29
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 김대현 , 이영종 , 이희준 , 정근태 , 윤성한
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/60
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67005 , H01L21/67098 , H01L21/67207 , H01L22/30 , H01L2021/60187
摘要： 본발명의일 실시예에따르면, 반도체제조공정의반응챔버에공급하는케미컬을회수하는시스템으로서, 케미컬을반응챔버로공급하는공급경로에서분기된회수경로의상류측에배치되어케미컬의적어도일부를액화시키는제1 냉각모듈; 상기회수경로의하류측에배치되어케미컬을저장하는회수용기; 및상기회수경로상에서상기제1 냉각모듈과상기회수용기사이에개재되고, 상기회수경로의일부를형성하는회수용배관및 상기회수용배관에서분기된배출용배관을구비한세퍼레이터;를포함하고, 상기제1 냉각모듈을통과한액체케미컬이상기회수용기로공급되고상기제1냉각모듈을통과한기체케미컬은상기배출용배관에연결된배출경로를따라배출됨으로써, 상기회수용기에저장된액체케미컬의기화를방지하는것을특징으로하는케미컬회수시스템이제공된다.
摘要翻译：在根据本发明的一个实施例，用于回收被供给到半导体制造过程的反应室的化学物质提供了一种系统，它被设置在从供给路径分支供给化学到反应室中的至少化学的一部分的恢复路径的上游侧液化的第一冷却模块; 回收容器，设置在回收路径的下游以存储化学品; 以及介于所述回收路径上的所述第一冷却模块和所述回收容器之间的分离器，所述分离器具有形成所述回收路径的一部分的回收管和从所述回收管分支出的排出管，由此第一穿过所述制冷模块与在沿排放路径的连接到管道用于气态化学排出机会受体液体化学品供给是排气穿过第一冷却模块，存储在回收容器中的液体化学品的蒸发提供化学回收系统。

10. 发明授权

KR101795560B1 모세관 현상을 이용한 고효율 기화기 有权
标题翻译：高效率化油器采用毛细现象
公开(公告)号：KR101795560B1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：KR1020150063870
申请日：2015-05-07
申请人： (주)지오엘리먼트
发明人： 이영종 , 이희준 , 김대현 , 이승준 , 정근태
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본발명의일 실시예에따르면, 바디; 바디로캐리어가스를주입받기위한캐리어가스주입부; 바디로액체케미칼을주입받기위한액체케미칼주입부; 적어도하나의통형상구조체; 및바디에형성되며, 적어도하나의통형상구조체가위치되는공간; 을포함하며, 적어도하나의통형상구조체의표면은거칠기처리가되어있는것을특징으로하는기화기가개시된다.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，用于将载气注入体内的载气注入单元; 一种液体化学品注射单元，用于将液体化学品注入体内; 至少一个管状结构; 在主体中形成并且至少一个管状结构位于其中的空间; 其中至少一个圆柱形结构的表面经受粗加工处理。

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