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1. 发明授权

KR101776549B1 인쇄품질 검사기능을 갖는 노광 장치 有权
公开(公告)号：KR101776549B1
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：KR1020170021050
申请日：2017-02-16
申请人： 윤석연 , 우철식
发明人： 윤석연 , 우철식
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/84
CPC分类号： G03F7/7065 , G03F1/84 , G03F7/70291 , G03F7/70383 , G03F7/70716 , G03F7/7085 , G03F7/70991
摘要： 본발명은인쇄품질검사기능을갖는노광장치에관한것으로, 보다상세하게는 LDI(Laser Direct Imaging)를이용한마스크리스(Maskless) 방식의노광장치에있어, 노광공정으로로딩(Loading)된연성의대상시트(기판)의인쇄품질을검사하여불량여부를확인할수 있도록한 것이다. 특히, 본발명은정상으로판정된연성의대상시트에대하여, 노광작업을위한빛이조사되는위치에대응하여대상시트의지지위치도이동될수 있도록롤러형태의지지구조를적용함으로써, 대상시트의들뜸이나변형등을방지하고정확한노광공정이이루어질수 있다. 따라서, LDI를이용한마스크리스방식의노광기술분야및 이를이용한 PCB 회로공정분야, PSR 공정분야, 플랙시블기판제조분야는물론, 이와유사내지연관된분야에서신뢰성및 경쟁력을향상시킬수 있다.

2. 发明授权

KR101814329B1 ＬＤＩ용 노광 장치 有权
标题翻译： LDI曝光装置
公开(公告)号：KR101814329B1
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：KR1020170021045
申请日：2017-02-16
申请人： 윤석연 , 우철식
发明人： 윤석연 , 우철식
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/2053 , G03F7/70025 , G03F7/70383 , G03F7/70716 , G03F7/70825
摘要： 본발명은 LDI용노광장치에관한것으로, 보다상세하게는 LDI(Laser Direct Imaging)를이용한마스크리스(Maskless) 방식의노광장치에있어, 노광공정시연성의대상시트(기판)를효율적으로지지함으로써, 제품의수율및 생산성을크게향상시킬수 있도록한 것이다. 특히, 본발명은클램프를이용하여특정부분을압착지지하는방식이아니라, 빛이조사되는위치에대응하여대상시트의지지위치도이동될수 있도록롤러형태의지지구조를적용함으로써, 대상시트의들뜸이나변형등을방지할수 있다. 따라서, LDI를이용한마스크리스방식의노광기술분야및 이를이용한 PCB 회로공정분야, PSR 공정분야, 플랙시블기판제조분야는물론, 이와유사내지연관된분야에서신뢰성및 경쟁력을향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种LDI曝光设备，更具体地说，涉及一种使用LDI（激光直接成像）的无掩模曝光设备，其通过有效地支撑目标片材（基板）这样可以大大提高产品的产量和生产力。特别地，本发明所应用的滚子式的支撑结构，但用于支撑按压某些部分，是所述目标片对应于该位置处的光被使用夹紧照射的移动性支持位置，目标片材的激励的方法和可以防止变形等。因此，无掩模曝光系统技术，并使用使用LDI，PSR过程现场，柔性基板的制造，以及能够提高同样地相关联的字段的可靠性和竞争力的同一领域PCB电路处理。

3. 发明授权

KR101773743B1 유동형 적재지지모듈과 노광용 반건조기판 적재트레이 및 이를 이용한 기판 제조 방법 有权
标题翻译：浮动载重模块，半干式曝光基板载盘及使用其的基板制造方法
公开(公告)号：KR101773743B1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：KR1020170024704
申请日：2017-02-24
申请人： 윤석연 , 우철식
发明人： 윤석연 , 우철식
IPC分类号： B65G49/06 , H05K3/02
CPC分类号： B65G49/062 , B65G2201/022 , B65G2201/0258 , H05K3/027 , H05K3/064
摘要： 본발명은유동형적재지지모듈과노광용반건조기판적재트레이및 이를이용한기판제조방법에관한것으로, 보다상세하게는 PCB 인쇄공정및 PSR 공정등에서활용되는노광공정중 반건조된제품을노광하기위하여운반하는과정에서, 반경화된노광잉크가마이크로단위에서변형되거나손상되는것을최소화하여반건조기판을안전하게운반할수 있도록한 것이다.특히, 본발명은적재트레이를구성함에있어, 기판과의접촉되는부분을유동이가능하도록구성하여, 외부충격이나진동등에의해적재트레이에놓여진해당기판의표면에마찰력이발생하는것을최소화함으로써, 제품의표면에도포되어반경화된노광잉크에손상이나변형이발생하는것을최소화할수 있다.따라서, LDI를이용한마스크리스방식의노광기술분야및 이를이용한 PCB 회로공정분야, PSR 공정분야, 플랙시블기판제조분야, 연성PCB 운반용트레이분야는물론, 이와유사내지연관된분야에서신뢰성및 경쟁력을향상시킬수 있다.
摘要翻译：流动型堆叠支撑模块，用于曝光的半干式基板堆叠以及使用该半导体堆叠支撑模块制造基板的方法技术领域本发明涉及流动型堆叠支撑模块，在形成堆垛托盘的过程中，通过使微干燥单元中的半干燥曝光油墨变形或损坏最小化，可以安全地输送干燥基材，特别是在堆垛托盘的结构中，为了最小化由于外部冲击或振动而放置在堆叠托盘上的基板表面上的摩擦力的发生，从而最小化施加在产品表面上的半固化曝光油墨的损坏或变形的发生因此，使用LDI的无掩模曝光技术，使用LDI的PCB电路工艺，PSR工艺场以及柔性基板区，柔性PCB运输部门，以及托盘，可以改善在一类似于关联的字段的可靠性和竞争力。

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