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1. 发明授权

KR100687306B1 배출-구동 에스엠아이에프 포드 정화 시스템 有权
标题翻译：推动驱动的SMIF POD灌溉系统
公开(公告)号：KR100687306B1
公开(公告)日：2007-02-27
申请号：KR1020007010687
申请日：1999-03-22
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 포스나이트윌리엄제이. , 보노라안토니씨. , 마틴레이몬드에스. , 타트로제이
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은, 포드(21) 내부의 웨이퍼들로부터 오염 물질 및/또는 입자들을 제거하기 위하여 일정하게 제어된 효율적인 정화 가스 유량 및 가스 유동 패턴들을 제공하기 위한 시스템이다. 상기 정화 시스템은 경계면에서의 누출을 실질적으로 방지하기 위하여 가스 입구와 제거 라인(23, 25)들 사이의 경계면에 시일을 포함하고 있다.

2. 发明授权

KR100589753B1 웨이퍼 매핑 시스템 有权
标题翻译：晶圆映射系统
公开(公告)号：KR100589753B1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：KR1020017004782
申请日：1999-10-13
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 로센퀴스트프레데릭티. , 리챠드손브루스 , 포스나이트윌리엄제이. , 보노라안소니씨.
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 웨이퍼 매핑 시스템은 공정도구(20)의 포트 도어에 지지된다. 포트 도어가 포트를 통하여 웨이퍼(25)를 이송하기 위해서 공정도구의 접근포트(24)로부터 떨어져 내려갈 때, 본 발명에 따른 웨이퍼 매핑 시스템은 포드쉘에서의 다양한 웨이퍼의 존재 및 위치를 검출하며, 그 정보는 추후 사용을 위하여 메모리에 저장된다. 이와 같이, 이 시스템에 따른 웨이퍼 매핑은 추가적인 공정 단계나 시간을 들이지 않고 일어난다. 포트 도어는 어떤 주어진 시간에 포트 도어의 정확한 위치를 확인되도록 하는 서보 구동기에 의해 내려간다. 이와 같이, 포드쉘 내에서 웨이퍼의 위치는 상기 도어가 내려갈 때 포트 도어에 지지된 웨이퍼 매핑시스템에 의해 정확하게 확인된다.
摘要翻译：晶片映射系统被支撑在处理工具20的端口门上。当端口门向下远离，以便通过端口传输晶片25的加工工具的存取端口24，在根据本发明的晶片映射系统检测在容器壳体的各种晶片的存在和位置，并信息存储在内存中供以后使用。如此，根据该系统的晶片映射不需要额外的处理步骤或时间。端口门由伺服驱动器降低，可在任何给定时间确定端口门的正确位置。这样，当门下降时，晶片映射系统通过支撑在端口门上的晶片映射系统精确地确定晶片盒内晶片的位置。

3. 发明授权

KR100570357B1 공작물 처리 장치 有权
标题翻译：加工工具的设备
公开(公告)号：KR100570357B1
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020027013757
申请日：2001-04-10
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 밥비스다니엘 , 에왈드티모시 , 코아디매츄 , 김재
IPC分类号： B25J9/22
CPC分类号： B25J18/04 , B25J9/042 , H01L21/67766
摘要： 이중 패들 단부 이펙터 로봇(108)은 공작물들의 병렬 공정이 가능한 것으로 개시되어 있다. 단부 이펙터(108)는, 말단 링크(106)의 단부에 회전 가능하게 결합된 하부 패들(250)과, 하부 패들(250)에 회전 가능하게 결합된 상부 패들(252)을 포함한다. 하부 패들은 하부 패들(250)에 대하여 상부 패들(252)을 회전시킬 수 있는 구동 어셈블리를 지지한다. 본 발명의 일 실시예에서, 이중 패들 단부 이펙터 로봇(108)은 웨이퍼 선별기 내에서 한 쌍의 정렬기 상의 공작물의 병렬 공정을 수행하도록 웨이퍼 선별기 내에서 사용될 수 있다. 이러한 실시예에서, 로봇(100)은 공작물 카세트 내에서 인접한 선반들로부터 한 쌍의 공작물들을 먼저 얻을 수 있다. 카세트로부터 물러난 후에, 단부 이펙터(108) 상의 각각의 패들은 부채꼴로 펼쳐져서 각각의 정렬기의 척들로 웨이퍼를 이송한다. 정렬기 상의 공작물의 공정이 완료된 후에, 펼쳐진 단부 이펙터 패들은 공작물을 획득하고, 상부 패들(252)은 하부 패들(250) 위에 직접 위치된 본래 위치로 돌아가며, 이어서 처리된 공작물을 원래 카세트 또는 새로운 카세트로 되돌아가게 한다. 이 방식에서의 공작물들의 병렬 공정은 종래의 웨이퍼 선별기 시스템에서보다 상당히 더 많은 처리량을 제공한다. 처리량은 각각의 정렬기에서 공작물들을 위한 버퍼 장소를 제공함으로써 또한 향상될 수 있다.

4. 发明授权

KR100562542B1 모듈형 선별기 失效
标题翻译： MODULAR SORTER
公开(公告)号：KR100562542B1
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：KR1020027013756
申请日：2001-04-10
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 밥비스다니엘 , 에왈드티모시 , 코아디매츄 , 포스나이트윌리엄제이.
IPC分类号： B65G49/07
摘要： 본 발명은 특정한 웨이퍼 제조 작업에 의해 요구되는 바와 같이 로드 포트 어셈블리들을 추가하거나 제거하기 위해서 모듈형 구획부가 용이하게 추가되고 제거될 수 있는 모듈형 선별기에 관한 것이다. 일 실시예에서, 본 발명에 따른 모듈형 선별기는 선별기, 웨이퍼 핸들링 로봇, 한 쌍의 정렬기 및 중앙집중 제어기를 위한 소환경을 한정하는 2-와이드 모듈형 구획부를 포함한다. 일 실시예의 모듈형 구획부는, 컨테이너 또는 개방 카세트를 받기 위하여, 그리고 선별기의 소환경 내에서 웨이퍼를 처리하도록 선별기의 소환경으로 카세트를 제공하기 위하여, 나란히 있는 한 쌍의 로드 포트 어셈블리를 포함한다. 본 발명은 제거 가능한 단부 패널을 또한 포함한다. 선별기에 추가적인 모듈형 구획부를 추가해야 할 때, 단부 패널은 제거되고 커넥터 프레임에 의해 대체된다. 커넥터 프레임은 하나의 로드 포트 어셈블리 혹은 두 개의 로드 포트 어셈블리들을 포함하는 추가적인 모듈형 구획부가 원래의 모듈형 구획부에 부착되게 한다. 모듈형 구획부들의 모든 전원 및 제어 구성 요소는 바람직하게 중앙집중 제어기에 위치된다. 추가적인 모듈형 구획부의 부착과 동시에, 추가의 구획을 위한 전원과 신호 연결은 제어기에 플러그로 접속된다. 그 다음에, 제어기는 추가의 구획을 인식하고 3-와이드 선별기 또는 4-와이드 선별기로서 작동하도록 전체 작동 체계를 변경시킨다.

5. 发明授权

KR100432380B1 부품을 이송하는 보호 컨테이너, 컨베이어 및 방법 失效
标题翻译：自行车，自行车和自行车
公开(公告)号：KR100432380B1
公开(公告)日：2004-05-22
申请号：KR1020007014827
申请日：1999-06-24
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 보노라,앤토니,씨. , 고울드,리챠드,에이치.
IPC分类号： B65G61/00
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G13/04 , B65G37/02 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , Y10S414/14
摘要： A system for transporting articles. The transport system includes a conveyor system which includes a transport device for carrying articles between workstations and a drive rail and a support rail for supporting the transport device. The drive rail includes a drive system for propelling the transport device between workstations. At least one shoe carried by the transport device rides on the support rail for movably supporting the transport device on the support rail. The transport system also includes a protective container including a housing having an interior compartment for supporting a plurality of articles. The bottom surface of the housing is configured to engage the drive system such that actuation of the drive system propels the housing along the drive and support rails. At least one shoe carried by the housing is configured to ride on the support rail of the conveyor system to movably support the housing on the support rail. The transport system also includes the method of transporting articles including the steps of providing a transport device for holding at least one article and having at least one shoe, positioning the transport device with the base of the device supported on a drive rail and the shoe supported on a support rail, and actuating a drive system carried by the drive rail to propel the transport device along the drive rail and support rail.
摘要翻译：运输物品的系统。该输送系统包括输送系统，该输送系统包括用于在工作站和驱动导轨之间运送物品的运送装置和用于支撑运送装置的支撑导轨。传动轨道包括用于在工作站之间推进传输装置的传动系统。由运输装置携带的至少一只鞋子搁置在支撑轨道上，以将运输装置可移动地支撑在支撑轨道上。运输系统还包括保护容器，保护容器包括具有用于支撑多个物品的内部隔室的壳体。壳体的底表面构造成接合驱动系统，使得驱动系统的致动沿着驱动和支撑轨道推动壳体。由外壳承载的至少一个鞋配置成骑在传送系统的支撑轨道上以将外壳可移动地支撑在支撑轨道上。运输系统还包括运输物品的方法，包括以下步骤：提供用于保持至少一个物品的运输装置并具有至少一个鞋子，将运输装置与支撑在驱动轨道上的装置的基座定位并且支撑鞋子在支撑导轨上，并且驱动由所述驱动导轨承载的驱动系统以沿着所述驱动导轨和支撑导轨推进所述输送装置。

6. 发明公开

KR1020040041157A 웨이퍼 엔진 有权
标题翻译： 웨이퍼엔진
公开(公告)号：KR1020040041157A
公开(公告)日：2004-05-14
申请号：KR1020047003086
申请日：2002-08-30
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 보노라안소니씨. , 고울드리차드에이치. , 하인로저지. , 크로락마이클 , 스피즐제리
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67766 , H01L21/67775 , H01L21/68707 , Y10S414/137
摘要： 본 발명은 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 엔진에 관한 것이다. 웨이퍼 엔진은, 웨이퍼를 X축을 따라 이동시키기 위한 선형 구동부와, 웨이퍼를 θ축을 중심으로 회전시키기 위한 회전 구동부와, 웨리퍼를 Z축을 따라 이동시키기 위한 선형 구동부와, 웨이퍼를 반경방향 축을 따라 이동시키기 위한 선형 구동부를 포함한다. 웨이퍼를 Z축을 따라 이동시키기 위한 선형 구동부는 회전 구동부로부터 편심되어 있다. 회전 구동부가 θ축을 중심으로 회전할 때, Z축 구동부와 반경방향 축 구동부가 또한 θ축을 중심으로 회전하게 된다. 웨이퍼를 반경방향 축을 따라 이동시키기 위한 선형 구동부는 상부 및 하부 단부 작동체를 가지는 이중 또는 신속 교체 활주 몸체 메커니즘이다. 활주 몸체 메커니즘은 또한 웨이퍼를 정렬하는 수단을 가지고, 다양한 검사와 표시 공정을 수행한다.
摘要翻译：公开了一种用于工具前端的工件处理和/或检查的集成系统。该系统包括整体结构的刚性构件，例如安装在与半导体工艺关联的工具的前部的金属板。包括加载端口组件，预调整器和工件处理机器人的前端部件被安装到板上以提供前端部件相对于彼此的精确且可重复的定位。

7. 发明公开

KR1020020047037A 소규모 환경 내에서의 카세트 버퍼링 失效
标题翻译：在小型环境中进行磁带缓冲
公开(公告)号：KR1020020047037A
公开(公告)日：2002-06-21
申请号：KR1020017014757
申请日：2000-05-11
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 보노라안토니씨. , 포스나이트윌리엄제이. , 쉔크조슈아더블유.
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 공정 기구에 부착된 소규모 환경(120) 내에서 하나 이상의 카세트(110)를 버퍼링하기 위한 SMIF 인터페이스를 개시한다. 상기 인터페이스는 포트 도어(112)와 이 포트 도어를 중심으로 주위에 인접한 포트 플레이트(114)로 구성된 장입 포트를 포함한다. SMIF 인터페이스 및/또는 공정 기구는 장입 포트가 카세트를 이것의 이송 포드(106)로부터 분리시킨 후에 카세트를 저장하기 위한 적어도 하나의 선반(121)을 포함한다. 작동에 있어서, 제1 카세트가 공정 기구 안에 위칙되고 제2 포드가 장입 포트 상에 안착되어 있는 동안에, 카세트는 포드로부터 분리되어서 저장 선반 상에 저장된다. 제1 카세트에 대한 공정 처리가 완료되면, 제2 카세트는 공정 기구 상에 장입된다. 제1 카세트는 포드로 복귀되어 장입 포트로부터 제거된다. SMIF의 소규모 환경 내에 카세트의 버퍼를 제공하게 되면, 공정 기구는 이 공정 기구가 유휴되지 않도록 하기 위하여 포드를 인터페이스에 주기적으로 공급하는 것과는 무관하게 된다.

8. 发明公开

KR1020020035563A ＳＭＩＦ 호환 개방 카세트 인클로저 无效
标题翻译： SMIF兼容开放式磁带盒
公开(公告)号：KR1020020035563A
公开(公告)日：2002-05-11
申请号：KR1020027000489
申请日：2000-07-10
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 보노라안소니씨. , 네츠쉬로버트 , 설리반패트릭 , 포스나이트윌리암제이. , 쉔크조슈아 , 노마에드윈
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 베어 카세트가 쉽게 적재되고 적하되는 I/O 포트를 위한 인간공학적 적재 어셈블리(100)는 안전에 관한 위험을 최소화하고 포트상에 있는 동안 공작물 주변의 분진 및 오염물질들의 양을 최소화하기 위해서 카세트의 적재후에 오퍼레이터와 I/O 포트를 격리시킨다. 적재 어셈블리(100)는 포트 플레이트(102) 주변에 고정 커버 부분을 구비하는 커버 어셈블리를 포함하고, 개방될 때 커버 어셈블리내에 카세트가 위치되도록 하는 조와 같이 개방하고 닫히며, 닫혀질 때 커버 어셈블리내에 카세트가 넣어지는 두개의 피봇팅 커버 부분(112, 114)을 포함한다. 적재 어셈블리는 피봇팅 커버 부분이 개방될 때 카세트가 적재되는 피봇팅 데크를 또한 포함한다. 피봇팅 커버 부분이 닫힐 때, 피봇팅 데크는 카세트를 회전시키고 수평 방향으로 위치된 공작물을 가진 카세트를 포트의 포트 도어상에 앉히게 한다.

9. 发明公开

KR1020010092264A 포오트 도어의 유지 및 배출 시스템 失效
标题翻译： Portdoor的维护和排放系统
公开(公告)号：KR1020010092264A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：KR1020017001603
申请日：1999-08-05
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 포스나이트윌리엄제이. , 센크조슈아더블유.
IPC分类号： B65G49/07
摘要： 본 발명에서는 포드와 포오트 출입구(26) 사이 및 포드 출입구(22)의 내부로부터 유출된 오염인자, 미립자, 그리고 기체를 제거하기 위하여 장전 포오트에서 포오트 출입구(26) 상에 포드 출입구(22)를 유지시키기 위한 시스템이 공개되어 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 진공발생원(36)은 공정 도구의 내부에, 또는 인접해서, 아니면 원격인 위치에 제공될 수 있으며 그러한 진공발생원(36)은 포오트 출입구(26)의 전방면 내에서 진공 포오트(34)에 연결되어 있다. 나란히 놓여 있는 포오트(26)와 포드(22) 출입구의 표면 사이에 음압을 발생시키기 위하여 진공 상태가 제공된다.

10. 发明公开

KR1020010082371A 통합 로드 포트 컨베이어 이송 시스템 无效
标题翻译：集成载荷输送机输送系统
公开(公告)号：KR1020010082371A
公开(公告)日：2001-08-29
申请号：KR1020017007697
申请日：1999-12-13
申请人： 어사이스트 테크놀로지스, 인코포레이티드
发明人： 보노라,안토니,씨. , 고울드,리차드,에이치. , 케르,제프리,알.
IPC分类号： B65G37/00
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67706 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67763 , H01L21/67766 , H01L21/67769
摘要： 컨베이어(14)와워크스테이션(16)사이로제품(12)을이동하기위한이송시스템(10)과방법(도 16)에관한것이다. 이송시스템(10)은컨베이어(14)에이해지지된제품을결합하고제품(12)을컨베이어(14) 위로상승하도록형상진리프트장치(64)를가진엘리베이터시스템(60)을포함한다. 리프트장치(64)는컨베이어(14)를다라서리프트장치(64)를지나서제품(12)을이동하기위해위치설정되어있는대기위치와컨베이어위로제품(12)을유지하는작동위치사이로이동가능하다. 이송시스템(10)은또한워크스테이션에근접한제품(12)을지지하기위한지지조립체(62)를포함한다. 지지조립체(62)는워크스테이션(16)에서제품(12)을유지하기위한선반(120)과컨베이어(14)와리프트장치(64) 사이로선반을이동하기위한이동기구(126)를포함한다. 방법(도 16)은제품(12)을결합하고제품(12)을컨베이어(14) 위로상승하도록지지체(62)를이동하는단계와, 컨베이어(14)에로드포트선반(120)을연장하는단계와제품(12)과컨베이어(14) 사이로선반(120)을삽입하는단계를포함한다. 선반(120)을연장하는단계후, 방법(도 16)은선반(120)상에제품(12)이놓이도록지지체(62)를이동하는단계와지지체(62)를이동하는단계후, 방법(도 16)은선반(120)을로드포트(22)로수축하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供了一种集成的舱内转移，储存和输送系统，用于在输送机和诸如工作站的工位之间移动物品。该系统包括一个转移组件，它包括一个升降机构和一个排量机构。传送组件将物品在输送系统和缓冲器或储存站之间传送以存储物品。递送机器人将物品在缓冲器或存储站和工作站之间传送以传送到站。机器人包括垂直移动机构和水平移动机构。机器人还包括适于夹紧物品的臂，特别是具有在顶部上具有蘑菇形手柄的标准配置的物品。手臂接合手柄，将物品或运输吊舱从储存站提升到工作站的装载端口。在一个实施例中，臂包括从其侧面被动地接合手柄的C形适配件。在其他实施例中，臂包括联接到组件的致动器，该组件从上方主动地夹持手柄。本发明的优点包括将运输舱从升高的储存站安全地移动到工作站的下部放置的储存站或负载端口的能力。

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