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1. 发明公开

KR1020170141673A 대면적 다단 나노구조의 제조 审中-实审
标题翻译：大面积多级纳米结构的制造
公开(公告)号：KR1020170141673A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020177029825
申请日：2016-04-19
申请人： 보드 오브 레젼츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
发明人： 스레니바산,시들가타,브이. , 조셉,프라빈 , 아벳,오바디아 , 그리가스,미셸 , 말라바라푸,아킬라 , 어제이,파라스
IPC分类号： G03F7/00 , G02B6/124 , H01L21/306 , H01L21/285 , H01L21/308 , H01L21/311 , H01L21/027 , H01L21/762 , G03F7/20
CPC分类号： H01L29/6659 , G02B6/124 , G03F7/0002 , H01L21/02164 , H01L21/0228 , H01L21/0271 , H01L21/0337 , H01L21/2855 , H01L21/30604 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/31144 , H01L21/76224 , H01L28/90 , H01L29/665 , H01L29/66515 , H01L29/6653 , H01L29/66545 , G03F7/2022 , H01L21/0274
摘要： 다양한단면지오메트리의자기정렬나노스케일구조를제조및 복제하는방법들. 이방법들은단일한리소그래피단계를사용하여공정의정렬과오버레이필요성을완전히제거함으로써 0에가까운오버레이오류를가능하게한다. 또한이 방법들을사용하여마스터템플릿, 복제템플릿, 그리고나노각인기반의패턴복제를위한다양한형상의자기정렬나노스케일다단/다고도패턴을제조하는기법들이개발되었다. 뿐만아니라, 템플릿들은희생폴리머레지스트에복수의단을패터닝하는데 사용될수 있고, 단지한 패터닝단계를사용하여다양한기판들에완성된대면적나노전자및 나노광학소자를형성할수 있는단들의패턴전사를달성한다.
摘要翻译：用于制造和复制各种横截面几何形状的自对准纳米级结构的方法。这些方法通过完全消除使用单个光刻步骤的对齐和重叠工艺的需要而实现接近于零的重叠误差。另外，使用这些方法，已经开发了用于制作主模板，复制模板和基于纳米压印的图案复制的自对准纳米级多级/多高度图案的各种形状的图案。此外，模板可以用于在牺牲聚合物抗蚀剂中图案化多个阶段，并且可以仅使用一个图案化步骤来实现可以在各种衬底上形成完成的大面积纳电子和纳米光学元件的阶段的图案转移的。

2. 发明公开

KR1020160045818A 나노미터 규격 정확도를 갖는 사용자 정의 프로파일의 박막들의 프로그램 작동 가능한 적층 방법 审中-实审
标题翻译：具有纳米尺度精度的用户定义轮廓的薄膜的可编程沉积
公开(公告)号：KR1020160045818A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020167007337
申请日：2014-08-18
申请人： 보드 오브 레젼츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
发明人： 스레니바산,시들가타,브이. , 싱할,슈라완
IPC分类号： B05D5/00 , B05D1/02 , B05D1/34 , B05D1/40 , B05D3/00 , B05D3/06 , B05D3/12 , H01L21/208 , B29C35/08 , B81C1/00
CPC分类号： B05D1/40 , B05D1/02 , B05D1/34 , B05D1/42 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/0466 , B05D3/0486 , B05D3/0493 , B05D3/067 , B05D3/12 , B05D5/00 , B29C35/0888 , B29C43/021 , B29C59/026 , B81C1/0046 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271
摘要： 사용자정의프로파일의박막들을프로그램작동가능하게적층하는잉크젯기반처리방법에관한것이다. 전구체액체유기재료인액적들이멀티젯에의해기판상의다양한위치에서방출된다. 후면압력에의해구부러진기판은아래로내려와기판의전방면에의해액적들과의제1 접축부를형성하며이로써액체프론트가외부를향해퍼져다른액적들과통합하여기판과슈퍼스트레이트사이에포획되는연속막을형성하는것을시작한다. 기판의비-평형과도상태, 연속막 및기판에이어유지시간이후에이루어진다. 연속막은이어폴리머로가교된다. 슈퍼스트레이트는폴리머로부터분리되고이로서폴리머막이기판상에남겨진다. 이러한방식으로, 비-균일막들이상단한재료낭비없이저비용방식으로형성될수 있다.

3. 发明公开

KR1020110122664A 처리 시스템의 화학적 분석에 사용하기 위한 전자 빔 여기 장치 无效
标题翻译：用于处理系统中化学分析的电子束离子
公开(公告)号：KR1020110122664A
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020117003680
申请日：2009-07-16
申请人： 베러티 인스트루먼트, 인코퍼레이티드 , 보드 오브 레젼츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
发明人： 호스크,지미,더블유. , 고엑크너,매튜,제이. , 윌런,마이크 , 쿠에니,앤드류,윅스 , 하비,케네스,씨. , 쌤번,피.엘.,스테판
IPC分类号： H01J31/00 , H01S3/09
摘要： 본 발명은 가스 라인 전자 빔 여기 장치에 관한 것이다. 전자 빔 여기 장치는 일반적으로, 전자 챔버 내에 전자 구름을 발생시키기 위한 가변 밀도 전자 공급원과, 상기 전자 챔버로부터 공급되는 전자 빔 형태의 전자를 형광 가스 종 유출류로 가속시키기 위한 가변 에너지 전자 추출 장치를 포함한다. 전자 빔의 전자 에너지는 가변 에너지 전자 추출 장치를 관통하는 전위를 조절함으로써 가변적으로 제어되며, 이에 따라 챔버의 추출 홀을 통과하여 추출 장치로 이동하는 전자에 전류가 인가된다. 전자 공급원에 인가되는 여기력은 전자 빔의 전자 에너지와 독립적으로 조절될 수 있으며, 이에 따라 전자 빔의 전자의 에너지 레벨의 변경 없이 전자 빔의 전자 밀도를 변경할 수 있다.

4. 发明公开

KR1020160047503A 선형 또는 각 운동량 바이어싱 기반 비가역 음향 기기 审中-实审
标题翻译：基于线性或角度偏移的非重复声学设备
公开(公告)号：KR1020160047503A
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020167007338
申请日：2014-08-04
申请人： 보드 오브 레젼츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
发明人： 알루,안드레아 , 플레리,로맹 , 수나스,디미트리오스
IPC分类号： G10K11/04 , H01P1/39
CPC分类号： G10K11/04 , H01P1/39
摘要： 선형또는각 운동량바이어싱을통해비가역성을달성하는비가역음향기기에관한것이다. 비가역음향기기는전방위적으로대칭이거나평탄한음향공동(예를들어, 링공동)을포함하고, 여기서공동은공동을채우는기체, 유체또는고체매질의순환또는선형유동을부과함으로써바이어싱된다. 음향도파관들이공동에연결되거나공동이둘러싸는매질로부터활성화된다. 이러한기기의포트는음향파동으로활성화된다. 공동이대략적으로바이어싱될때, 음향파동은다른음향도파관들중 하나로전송되는반면다른음향도파관들에서는어떠한음향파동의전송도이루어지지않는다. 그결과, 선형인비가역성이입력신호를왜곡하거나높은입력파워또는대규모기기를요하지않으면서여기서실현된다.
摘要翻译：通过线性或角动量偏差实现非互易性的不可逆声学装置。不可逆声学装置包括方位对称或平面的声腔（例如，环腔），其中通过施加填充空腔的气体，流体或固体介质的圆形或线性运动来对空腔进行偏置。声波导管连接到空腔，或者腔从周围介质激发。该设备的端口被声波激发。当空腔被适当地偏置时，声波被传送到另一个声波导中的一个，而在其它声波导处不发生声波。因此，现在在声学中实现线性非互易性，而不会使输入信号失真或需要高输入功率或大体积的器件。

5. 发明公开

KR1020060026852A 스케즐링 다중 로벗 처리 시스템 无效
标题翻译：调度多机器人处理系统
公开(公告)号：KR1020060026852A
公开(公告)日：2006-03-24
申请号：KR1020057021838
申请日：2004-04-12
申请人： 에프 에스 아이 인터내셔날,인코포레이티드 , 보드 오브 레젼츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
发明人： 라마난,나타라잔 , 지스마,에이치.,닐 , 스리스칸다라자,첼리아
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67276 , G06F19/00 , Y02P90/86
摘要： A robotic manufacturing system may include multiple robots for transporting materials between a series of stages in a manufacturing process. To provide enhanced efficiency, each of these robots may independently operate according to a reverse process flow, cyclical schedule of operation.
摘要翻译：机器人制造系统可以包括用于在制造过程中的一系列阶段之间运输材料的多个机器人。为了提供更高的效率，这些机器人中的每一个可以根据逆过程流程，循环的操作时间表独立地操作。

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