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热词
    • 1. 发明公开
    • 복합 멤브레인을 사용한 테스트 가스 누출 검출
    • 使用复合膜测试气体泄漏检测
    • KR1020090125059A
    • 2009-12-03
    • KR1020097017259
    • 2008-02-27
    • 배리언 인코포레이티드
    • 라이퍼트,안토니,지.
    • G01N27/00G01N27/12
    • G01M3/20G01M3/007G01M3/202G01M3/207Y10T29/49
    • A leak detector includes a leak detector inlet to receive a test gas; a vacuum pump coupled to the leak detector inlet; a test gas sensing unit connected through a passage to the leak detector inlet; and a membrane that is permeable to the test gas disposed in the passage between the leak detector inlet and the test gas sensing unit, the membrane having a permeance to the test gas that varies by less than five percent over a temperature range of T-20K to T+20K, where Tis a design temperature. In addition, methods are provided for making a composite membrane that includes a semi-permeable membrane and a porous membrane. Furthermore, a reference leak, which includes a composite membrane is provided.
    • 泄漏检测器包括用于接收测试气体的泄漏检测器入口; 耦合到泄漏检测器入口的真空泵; 测试气体感测单元,其通过通道连接到所述检漏器入口; 以及对于设置在检漏器入口和测试气体检测单元之间的通道中的测试气体可渗透的膜,该膜具有在T-20K的温度范围内变化小于5%的测试气体的渗透性 到T + 20K,其中是设计温度。 此外,提供了制造包括半透膜和多孔膜的复合膜的方法。 此外,提供了包括复合膜的参考泄漏。
    • 6. 发明公开
    • 누설검출방법및장치
    • KR1019950001301A
    • 1995-01-03
    • KR1019940015116
    • 1994-06-27
    • 배리언 인코포레이티드
    • 데이비드지.마호니글렌이.루이쯔잭더블유.파머
    • G01N21/00
    • 시험 부품내의 큰 누설부를 검출할 목적으로 무헬륨 팽창 누설 시험 기술이 이용된다. 그 기술은 시험 대상 부품내에 헬륨이나 다른 추적 가스가 존재하는 것을 요건으로 하지 않는다. 큰 누설 유량 범위에 걸쳐 누설 검출할 수 있도록, 무헬륨 팽창 기술을 헬륨 질량 분광 누설 검출기와 함께 이용되는 것이 바람직하다. 시험 부품을 밀봉된 시험용 취부구 내에 배치하고 그 시험용 취부구와 팽창 챔버 사이의 밸브를 개방한다. 밸브 개방후 팽창 챔버내의 압력을 측정한다. 그 측정 압력이 기준 압력 미만인 경우, 시험 부품이 밀봉되어 있음을 나타낸다. 측정 압력이 기준 압력보다 큰 경우, 시험 부품이 누설되고 있음을 나타낸다. 시험 부품이 밀봉된 것으로 나타난 경우, 헬륨 질량 분광 누설 시험을 수행하여 시험 부품내에 작은 누설부가 있는지를 결정한다. 시험시, 약간의 헬륨의 시험 부품내에 존재하는 경우, 무헬륨 팽창 누설 시험과 동시에 대기 총누설 시험을 수행할 수 있다.
    • 9. 发明授权
    • 2단진공펌핑장치
    • 两级真空抽气装置
    • KR100319011B1
    • 2002-06-20
    • KR1019980708532
    • 1998-02-25
    • 배리언 인코포레이티드
    • 하블래니언마스베드
    • F04C23/00F04C18/02
    • 본 발명은 진공 펌핑 장치에 관한 것으로서, 이 진공 펌핑 장치는 비스크롤형 보조 펌프(60)와 단일 하우징(52)에 배치된 스크롤 펌프(62)를 포함한다. 보조 펌프(60)와 스크롤 펌프(62)는 나란하게 연결되며 공동 모터(68)에 의하여 구동된다. 보통, 보조 펌프는 비교적 높은 펌핑 속도를 가지며 스크롤 펌프는 비교적 높은 압축비를 갖는다. 보조 펌프는 재생 송풍기와, 루츠형 송풍기 또는 스크류형 송풍기일 수도 있다. 동축 회전식 스크롤 펌프가 이용되면, 재생 송풍기는 상부에 비선회형 스크롤 블레이드가 장착된 디스크의 외주에 또는 외주 근처에 형성될 수도 있다. 다른 배치 방법으로서는, 하우징 내에 제 1 스크롤 펌프와 제 2 스크롤 펌프가 배치된다. 제 1 스크롤 펌프와 제 2 스크롤 펌프의 스크롤 블레이드 세트들은 다른 선회 반경을 갖는다. 스크롤 펌프의 누설은 스크롤 펌프의 입구 영역 주위에서 폐루프형 밀봉부를 형성하거나 중간 압력을 이 입구 영역에 연결하므로써 감소될 수도 있다. 스크롤 펌프의 누설과 오염 물질은 구동 부품들과 선회형 스크롤 블레이드가 비선회형 스크롤 블레이드의 반대쪽에 위치되는 것과 같은 스크롤 펌프 구조에서 감소될 수도 있다.