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热词
    • 6. 发明授权
    • 스크롤압축기
    • KR102442467B1
    • 2022-09-14
    • KR1020200146292
    • 2020-11-04
    • F04C18/02F04C23/02F04C29/00
    • 본발명에따른스크롤압축기는, 내부공간이밀폐된케이싱; 상기케이싱의내부공간에설치되는구동모터; 상기구동모터에결합되어선회운동을하는선회스크롤; 일면에는상기선회스크롤에맞물려압축실이형성되고, 타면에는반경방향으로소정의간격을두고외벽부와내벽부가형성되며, 상기내벽부의내측에는상기압축실에서압축된냉매를상기케이싱의내부공간으로토출하도록토출구가형성되는비선회스크롤; 및상기비선회스크롤의외벽부와내벽부사이를복개하여상기비선회스크롤과의사이에배압실을형성하도록커버부가구비되며, 상기토출구를개폐하는토출밸브를수용하도록밸브수용부가상기커버부에서연장되어형성되는플로팅플레이트를포함할수 있다. 이를통해배압실을형성하기위한구조를간소화하여부품수및 조립공수를줄일수 있다.
    • 7. 发明授权
    • 진공 펌핑 장치
    • KR102439552B1
    • 2022-09-02
    • KR1020197017768
    • 2017-11-23
    • F04B41/06F04B37/14F04B49/00F04C23/00F04C25/02F04C28/02F04D19/04F04D27/02F04C18/02F04C18/12F04C18/16
    • 반도체제조어셈블리에사용하기위한진공펌핑장치(10)는제 1 입구(14) 및제 1 출구(16)를갖는제 1 펌프(12)를포함한다. 제 1 입구(14)는제 1 공통펌핑라인(18)에유체적으로연결된다. 제 1 공통펌핑라인(18)은복수의제 1 펌핑라인입구(20)를포함하며, 이들각각은반도체제조툴(28)을형성하는프로세스챔버의그룹(26) 내의적어도하나의프로세스챔버(24)에유체적으로연결가능하다. 진공펌핑장치(10)는또한예비입구(32) 및예비출구(34)를갖는예비펌프(30)를포함한다. 예비입구(32)는반도체제조툴(28)을형성하는프로세스챔버의그룹(26) 내의각각의프로세스챔버(24)에선택적으로유체적으로연결가능하다. 진공펌핑장치(10)는, 펌프(12)를하나이상의주어진프로세스챔버(24)로부터선택적으로유체적으로격리시키고예비펌프(30)를상기하나이상의주어진프로세스챔버(24)와선택적으로유체적으로연결하도록구성된제어기를추가로포함한다.
    • 9. 发明授权
    • 스크롤 압축기
    • KR102415751B1
    • 2022-07-01
    • KR1020160171892
    • 2016-12-15
    • F04C18/02F04C28/26F04B39/10
    • 본발명에의한스크롤압축기는, 케이싱; 상기케이싱의내부공간에구비되어선회운동을하는선회스크롤; 상기선회스크롤에맞물려압축실을형성하고상기압축실의중간에서압축되는냉매의일부를케이싱의내부공간으로바이패스시키도록적어도한 개이상의바이패스구멍이형성되는비선회스크롤; 상기비선회스크롤의배면에설치되어, 상기비선회스크롤을상기선회스크롤방향으로가압하도록배압실을형성하는배압실조립체; 상기배압실조립체가상기비선회스크롤에대해축방향으로이동가능하도록상기배압실조립체를상기비선회스크롤에결합하는체결부재; 상기배압실조립체에구비되어상기체결부재가삽입되는복수개의체결구멍; 및상기복수개의체결구멍중에서적어도어느한 개의체결구멍에연결되어, 그체결구멍에서상기배압실조립체의외주면으로관통되도록형성되는중간압구멍;을포함할수 있다.