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    • 2. 发明授权
    • 다중 주기 발생기를 구비하는 집적 회로 테스터
    • 具有多个周期发生器的集成电路测试仪
    • KR100514335B1
    • 2005-09-13
    • KR1020007001724
    • 1998-08-20
    • 크레던스 시스템스 코포레이션
    • 알킨브라이언제이.
    • G01R31/28
    • G01R31/31922
    • 집적 회로 테스터는 패턴 발생기(22), 메인 및 보조 주기 발생기(20(1), 20(2)), 및 테스터 채널의 집합(CH(1)...CH(N))을 포함하고, 하나의 채널은 집적 회로 DUT의 각 단자에 대응된다. 테스트는 일련의 메인 테스트 사이클로 편성되고, 각 사이클은 둘 이상의 보조 테스트 사이클로 분리된다. 메인 주기 발생기(20(1))는 메인 테스트 사이클 각각의 시작을 나타내고, 보조 주기 발생기(20(2))는 보조 테스트 사이클 각각의 시작을 나타낸다. 각 테스터 채널은 메인 주기 발생기 또는 보조 주기 발생기 중 어느 하나에 대응되도록 프로그램된다. 각각의 메인 테스트 사이클 시작시, 패턴 발생기는 DUT 단자에서 실행될 테스트 활동을 나타내는 데이터를 각 테스터 채널에게 공급하고, 그 활동이 실행될 테스트 사이클의 시작에 관련되는 시간을 나타낸다. 메인 주기 발생기에 대응되도록 프로그램되는 각 테스터 채널은 메인 테스트 사이클 중에 표시된 시간에서 한번 표시된 테스트 활동을 실행한다. 보조 주기 발생기에 대응되도록 프로그램된 각 테스터 채널은 메인 테스트 사이클에 의해 연장된 각각 연속적인 보조 테스트 사이클 중에 표시된 시간에서 표시된 테스트 활동을 반복한다.
    • 4. 发明公开
    • 테스트 헤드용 냉각 시스템
    • 测试头冷却系统
    • KR1020010112274A
    • 2001-12-20
    • KR1020017010583
    • 2000-03-08
    • 크레던스 시스템스 코포레이션
    • 베이커데이빗에이.웨이웬핸슨헨리
    • H05K7/20
    • G06F1/20
    • 본발명에따른반도체집적회로의테스트헤드(10)는공기유입구(24) 및공기배기구(48)를가지며, 핀카드공간과공기체임버를한정하는하우징(24)을포함한다. 복수의핀 카드(28)가핀 카드공간에위치된다. 배플구조가경계면에의하여핀 카드공간으로부터분리된공기체임버를공기유입구(42)와내부공동(36) 사이를연통시키는공기공급덕트(50) 및경계면에의하여핀 카드공간과공기배기구(46) 사이를연통시키는외측플리넘으로분할시킨다. 팬이내부공동(36)에장착되어핀 카드사이의공간에의하여내부공동으로부터플리넘으로공기흐름을유도한다.
    • 用于半导体集成电路测试器的测试头包括具有空气入口和空气出口开口并限制销卡空间和空气室的壳体。 多个针卡位于针卡空间中,并从位于针卡空间内的内腔辐射。 挡板结构将通过边界表面与销卡空间隔开的空气室分隔成空气供应管道,空气供应管道提供进气口和内部空腔之间的连通,以及出口压力室,其在销卡空间之间提供连通 和出风口通过边界面。 风扇安装在内腔中,用于通过销卡之间的空间引起空气从内腔流入集气室。
    • 7. 发明公开
    • 알고리즘 패턴 생성기
    • 算法模式生成器
    • KR1020010043818A
    • 2001-05-25
    • KR1020007013256
    • 1999-07-21
    • 크레던스 시스템스 코포레이션
    • 쿠글린필립써도르그루오디스알지어다스죠셉
    • G01R31/28
    • 각 클럭 사이클동안, 생성기(10)는 출력 데이터를 산출하고, 메모리(38)는 명령을 판독하고, 제어기(34)는 메모리의 주소를 증가시키지만 처리기(16)로부터 호출, 복귀, 반복 또는 분기 명령을 받은 후 다른 주소 N+1번의 클럭 사이클로 점프할 수 있고, 처리기는 메모리로부터 명령을 실행하고 출력 데이터로서 실행 명령의 데이터 필드를 제공한다. 명령의 다른 필드는 명령 처리기가 메모리 제어기에 보내는 명령을 참조한다. 제어기는 명령에 응답하기 위하여 N+1번의 클럭 사이클을 요구하기 때문에, 실제로 주소 점프를 실행하기 전에 명령을 수신한 후 N번의 클럭 사이클에 대한 메모리 주소를 계속하여 증가시킨다. 점프 명령 전송 후에 N번의 클럭 사이클 동안 메모리로부터 판독한 N개의 명령 대신에, 처리기는 버퍼에 이미 로딩된 적절한 한 세트의 N개의 명령을 실행한다. 다음 클럭 펄스 동안, 제어기(34)가 주소를 점프시킬 시간을 가지는 경우, 처리기(16)는 메모리(38)로부터의 명령 실행을 다시 시작한다.
    • 8. 发明公开
    • 집적 회로 테스터용 테스트 헤드 구조
    • 集成电路测试仪的测试头结构
    • KR1020010033670A
    • 2001-04-25
    • KR1020007007191
    • 1999-01-26
    • 크레던스 시스템스 코포레이션
    • 한너스존시.밀러찰스에이.
    • G01R1/067G01R31/26H01L21/66
    • G01R31/31905G01R31/2851G01R31/2886G01R31/2889G01R31/2891
    • 집적회로테스터용테스트헤드(24)는웨지형태의노드카드(40) 세트를포함하는데, 여기서각각의노드카드는테스트중인집적회로소자(DUT)의각 단자에대응한다. 각각의노드카드는테스트신호를생성하고이를 DUT에전송하며 DUT에의해생성된응답신호를수신하고처리하는것을포함하는하나의 DUT 단자에대한모든테스트활동을수행하기위한회로를지지한다. 테스트및 응답신호는노드카드협단에서 I/O 단자(50)를통과한다. 반구체내부및 외부쉘(62, 64)을가지는카드프레임은노드카드가대체적으로내부쉘 내의개구를통과하여돌출하는각 카드의 I/O 단자사이에위치하도록지지한다. 카드프레임의내부쉘 내에중첩되는대체적으로반구형태의표면을가지는중심분배기(80)는노드카드 I/O 단자와접촉하는제1 단자세트(84)를지지한다. 중심분배기내의도체(90) 세트는분배기평면표면상에서각각의제1 단자와이에대응하는제2 단자(88)를상호접속한다. 적재보드어셈블리(104)는 DUT를지지하며, 커넥터어셈블리(100)는중심분배기의제2 단자각각을 DUT 단자의액세스를제공하는적재보드상의콘택과링크한다. 카드프레임의내부쉘과중심분배기사이의공간으로부터공기를배출하는펌프(32)는냉각공기를노드카드양단으로유도한다.
    • 9. 发明公开
    • 집적회로 테스터용 포맷 민감성 타이밍 교정
    • 集成电路测试仪的灵敏时序校准
    • KR1020010024360A
    • 2001-03-26
    • KR1020007003460
    • 1998-09-28
    • 크레던스 시스템스 코포레이션
    • 알킨브라이언제이.
    • G01R31/28
    • 집적회로 테스터의 각각의 채널은 상기 테스터 채널에 의해 수행되어지는 다양한 형태의 테스트 이벤트를 트리거하는 출력 타이밍 신호를 생성하는 적어도 하나의 타이밍 신호 발생기를 포함한다. 하나의 테스트의 각각의 사이클의 시작에서 각각의 타이밍 신호 발생기는 하나의 테스트 이벤트가 일어나야 하는 시간을 참조하는 입력 타이밍 데이터를 수신하고 또한 상기 테스트 이벤트의 포맷을 표시하는 입력 포맷 데이터를 수신한다. 각각의 타이밍 신호 발생기는 상기 입력 포맷 데이터에 의해 선택된 리드 타임으로 타이밍 데이터에 의해 참조된 상기 이벤트 시간 전에 출력 타이밍 신호를 발생한다. 각각의 타이밍 신호 발생기는 상기 이벤트가 트리거되도록 상기 포맷 데이터가 항상 적절한 리드 타임(lead time)을 선택하도록 독립적으로 교정되어 각각의 이벤트의 형태는 트리거되는 이벤트의 성격과 상관 없이 입력 타이밍 데이터에 의해 표시되는 시간에서 일어난다.