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1. 发明授权

KR101585136B1 플라즈마 젯 표면처리 장치 및 그 분사노즐의 제조방법 有权
标题翻译：具有等离子体射流的表面处理装置及其喷嘴的制造方法
公开(公告)号：KR101585136B1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：KR1020140075157
申请日：2014-06-19
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영
IPC分类号： H05H1/34
摘要： 본발명은플라즈마젯 표면처리장치에관한것으로플라즈마젯을이용하여상압에서플라즈마를생성시켜미세소자제작시 필요로하는플라스틱류의표면을처리하거나미세소자의여러기판을표면처리를통하여접합공정을응용될수 있는장점이있다.본발명의일 양상에따른플라즈마젯 표면처리장치는플라즈마젯 분사기, 전원기체공급부및 제어기로구성되어있으며플라즈마젯 분사기에포함되어있는핵심요소인플라즈마젯 분사모듈은분사노즐, 양극전극링, 양극전극보호관, 음극으로사용되는음극기체주입관, 음극전극링, 기체주입관, 음극전극보호관및 모듈케이스로이루어진다. 플라즈마젯 분사모듈에서는실질적으로이온화된플라즈마가젯 형태로생성되어분사된다. 분사되는플라즈마를이용하여플라스틱류나다양한기판에표면처리를할 수있는것이다.

2. 发明授权

KR100966901B1 프로브 팁 제조 방법 有权
标题翻译：探针尖端的制造方法
公开(公告)号：KR100966901B1
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：KR1020080015410
申请日：2008-02-20
申请人： (주)아메드
发明人： 이승훈 , 박태규 , 정승환
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 프로브 팁 제조 방법에 관한 것으로, 다양한 두께와 고형상비 구현이 용이한포토레지스트(Photoresist) 패턴과 전해도금(Electroplating) 그리고 화학물리적 연마(Chemical Mechanical Polishing)에 의해, 두께 조절과 수율을 현저하게 증가시킬 수 있는 프로브 팁 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명이 개시하는 제조방법은 기판(Substrate) 상에 희생기층을 증착하고, 포토레지스트(PR)를 도포하는 과정, 몰드를 포함한 PR 패턴을 형성하는 과정, 상기 몰드에 전해도금하여 프로브 팁을 형성하는 과정, 화학기계적 연마에 의하여 형성된 프로브 팁의 두께를 조절하는 과정, PR 패턴을 제거하고 그리고 희생기층을 식각하여 형성된 프로브 팁을 분리하여 프로브 팁 제작을 완성하는 것으로 이루어진다.
프로브 팁, 희생기층, 전해도금, 화학기계적연마, 두께

3. 发明公开

KR1020150145877A 플라즈마 젯 표면처리 장치 및 그 분사노즐의 제조방법 有权
标题翻译：表面处理装置与等离子喷射
公开(公告)号：KR1020150145877A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075157
申请日：2014-06-19
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영
IPC分类号： H05H1/34
摘要： 본발명은플라즈마젯 표면처리장치에관한것으로플라즈마젯을이용하여상압에서플라즈마를생성시켜미세소자제작시 필요로하는플라스틱류의표면을처리하거나미세소자의여러기판을표면처리를통하여접합공정을응용될수 있는장점이있다. 본발명이개시하는플라즈마젯 표면처리장치는플라즈마젯 분사기, 전원기체공급부및 제어기로구성되어있으며플라즈마젯 분사기에포함되어있는핵심요소인플라즈마젯 분사모듈은분사노즐, 양극전극링, 양극전극보호관, 음극으로사용되는음극기체주입관, 음극전극링, 기체주입관, 음극전극보호관및 모듈케이스로이루어진다. 플라즈마젯 분사모듈에서는실질적으로이온화된플라즈마가젯 형태로생성되어분사된다. 분사되는플라즈마를이용하여플라스틱류나다양한기판에표면처리를할 수있는것이다.
摘要翻译：等离子体喷射表面处理装置技术领域本发明涉及一种等离子体喷射表面处理装置，其通过使用等离子体射流在常压下产生等离子体，并且处理制造微细元素所需的塑料的表面，或者可以通过表面处理多个基板精细元素本发明公开的等离子体喷射表面处理装置包括：等离子体喷射喷射器; 动力气体供应单元; 以及控制器，其中作为等离子体喷射喷射器中包括的关键元件的等离子体喷射模块包括喷嘴，正极环，正极保护管，用作负极的负气体注入管，负极电极环，气体注入管，负极保护管和模块壳。在等离子体喷射模块中，产生基本上电离的等离子体并以喷射形式注入。可以通过使用注入的等离子体对塑料和各种基板进行表面处理。

4. 发明公开

KR1020090090125A 프로브 팁 제조 방법 有权
标题翻译：制作探针提示的方法
公开(公告)号：KR1020090090125A
公开(公告)日：2009-08-25
申请号：KR1020080015410
申请日：2008-02-20
申请人： (주)아메드
发明人： 이승훈 , 박태규 , 정승환
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R3/00 , G01R1/06711
摘要： A method for fabricating a probe tip is provided to increase yield, reliability, and productivity by controlling the thickness through a chemical mechanical polishing method. In a method for fabricating a probe tip, a sacrificial substrate(4) is deposited on a substrate(3). A photoresist(5-1) is coated, and a photoresist pattern(5-2) including the mold is formed. The probe tip(6-1) is formed by electroplating the mold, and the thickness of the formed probe tip(6-2) is controlled by chemical mechanical polishing. The photoresist pattern is removed, and the probe tip is separated by etching the sacrificial substrate.
摘要翻译：提供了用于制造探针尖端的方法，以通过化学机械抛光方法控制厚度来提高产量，可靠性和生产率。在制造探针尖端的方法中，牺牲衬底（4）沉积在衬底（3）上。涂布光致抗蚀剂（5-1），形成包含该模具的光致抗蚀剂图案（5-2）。通过电镀模具来形成探针尖端（6-1），并且通过化学机械抛光来控制形成的探针尖端（6-2）的厚度。去除光致抗蚀剂图案，并通过蚀刻牺牲衬底来分离探针尖端。

5. 发明公开

KR1020130029137A 소형 플라즈마 젯 표면처리 장치 无效
标题翻译：微型等离子喷射器的表面处理装置
公开(公告)号：KR1020130029137A
公开(公告)日：2013-03-22
申请号：KR1020110092320
申请日：2011-09-14
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영 , 오영택
IPC分类号： H05H1/34 , B23K10/00
CPC分类号： H01J37/3244 , H01J37/32009 , H01J37/32458 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H01J37/32577 , H05H1/34 , H05H1/36
摘要： PURPOSE: A small plasma jet surface processing device is provided to process a surface of plastics required for micro element manufacture or to apply various substrates of micro elements to an adhesion process through surface processing. CONSTITUTION: A small plasma jet surface processing device includes a small plasma jet sprayer(1), a power and gas supply unit(2), and a controller(3). The small plasma jet sprayer is includes a small plasma jet spray module to generate plasma in a jet type. The power and gas supply unit is connected with the small plasma jet sprayer to supply power and gas for generating the plasma to the small plasma jet sprayer. The controller controls the injection of the power and gas for operating the small plasma jet sprayer through the power and gas supply unit.
摘要翻译：目的：提供小型等离子体喷射表面处理装置，以处理微元件制造所需的塑料表面或通过表面处理将各种微量元素的基材施加到粘合过程。构成：小型等离子体喷射表面处理装置包括小型等离子体喷射喷雾器（1），动力和气体供应单元（2）和控制器（3）。小型等离子体喷射喷雾器包括一个小型等离子喷射喷射模块，以产生喷射式等离子体。电力和气体供应单元与小型等离子体喷射喷雾器连接，以向小型等离子体喷射喷雾器提供用于产生等离子体的动力和气体。控制器控制电力和气体的注入，以便通过动力和气体供应单元操作小型等离子体喷射喷雾器。

6. 发明授权

KR101934021B1 미세 유체 제어 시스템을 이용한 미세 유체 제어 방법 有权
公开(公告)号：KR101934021B1
公开(公告)日：2018-12-31
申请号：KR1020180123769
申请日：2018-10-17
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 김근영
IPC分类号： B01L3/00

7. 发明公开

KR1020170135616A 플라즈마 젯 분사 노즐 제조 방법 审中-实审
标题翻译：等离子喷射喷嘴制造方法
公开(公告)号：KR1020170135616A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160074034
申请日：2016-06-14
申请人： (주)아메드
发明人： 박태규 , 한동철
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/48
摘要： 다수의미세크기의구멍을갖는마이크로젯 분사노즐을간단하고재현성있게제조할수 있는플라즈마젯 분사노즐제조방법이개시된다. 본발명의일 양상에따른플라즈마젯 분사노즐제조방법은플라즈마젯 표면처리장치의플라즈마젯 분사노즐을제조하는방법으로서, 절연기판위에전극기판을접합하는단계, 전극기판을연마하여두께를조절하고평탄화하는단계, 전극기판위에일정한간격으로보호막을패터닝하는단계및 패터닝된보호막을이용하여접합된절연기판과전극기판에전극형성구멍을선택적으로형성하는단계를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于制造等离子体射流喷射喷嘴的方法，其能够简单且可重复地制造具有多个微孔的微射流喷嘴。根据本发明的一个方面的等离子流喷涂喷嘴制造方法，提供一种方法，用于产生等离子体束表面处理装置的等离子体射流喷嘴，以调整相位，通过抛光在电极基板为绝缘性基板上的电极基板接合的厚度，和平坦化在电极基板上以规则间隔图案化保护膜，并且在使用图案化的保护膜接合的绝缘基板和电极基板上选择性地形成电极形成孔。

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