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1. 发明授权

KR101585136B1 플라즈마 젯 표면처리 장치 및 그 분사노즐의 제조방법 有权
标题翻译：具有等离子体射流的表面处理装置及其喷嘴的制造方法
公开(公告)号：KR101585136B1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：KR1020140075157
申请日：2014-06-19
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영
IPC分类号： H05H1/34
摘要： 본발명은플라즈마젯 표면처리장치에관한것으로플라즈마젯을이용하여상압에서플라즈마를생성시켜미세소자제작시 필요로하는플라스틱류의표면을처리하거나미세소자의여러기판을표면처리를통하여접합공정을응용될수 있는장점이있다.본발명의일 양상에따른플라즈마젯 표면처리장치는플라즈마젯 분사기, 전원기체공급부및 제어기로구성되어있으며플라즈마젯 분사기에포함되어있는핵심요소인플라즈마젯 분사모듈은분사노즐, 양극전극링, 양극전극보호관, 음극으로사용되는음극기체주입관, 음극전극링, 기체주입관, 음극전극보호관및 모듈케이스로이루어진다. 플라즈마젯 분사모듈에서는실질적으로이온화된플라즈마가젯 형태로생성되어분사된다. 분사되는플라즈마를이용하여플라스틱류나다양한기판에표면처리를할 수있는것이다.

2. 发明公开

KR1020150145877A 플라즈마 젯 표면처리 장치 및 그 분사노즐의 제조방법 有权
标题翻译：表面处理装置与等离子喷射
公开(公告)号：KR1020150145877A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075157
申请日：2014-06-19
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영
IPC分类号： H05H1/34
摘要： 본발명은플라즈마젯 표면처리장치에관한것으로플라즈마젯을이용하여상압에서플라즈마를생성시켜미세소자제작시 필요로하는플라스틱류의표면을처리하거나미세소자의여러기판을표면처리를통하여접합공정을응용될수 있는장점이있다. 본발명이개시하는플라즈마젯 표면처리장치는플라즈마젯 분사기, 전원기체공급부및 제어기로구성되어있으며플라즈마젯 분사기에포함되어있는핵심요소인플라즈마젯 분사모듈은분사노즐, 양극전극링, 양극전극보호관, 음극으로사용되는음극기체주입관, 음극전극링, 기체주입관, 음극전극보호관및 모듈케이스로이루어진다. 플라즈마젯 분사모듈에서는실질적으로이온화된플라즈마가젯 형태로생성되어분사된다. 분사되는플라즈마를이용하여플라스틱류나다양한기판에표면처리를할 수있는것이다.
摘要翻译：等离子体喷射表面处理装置技术领域本发明涉及一种等离子体喷射表面处理装置，其通过使用等离子体射流在常压下产生等离子体，并且处理制造微细元素所需的塑料的表面，或者可以通过表面处理多个基板精细元素本发明公开的等离子体喷射表面处理装置包括：等离子体喷射喷射器; 动力气体供应单元; 以及控制器，其中作为等离子体喷射喷射器中包括的关键元件的等离子体喷射模块包括喷嘴，正极环，正极保护管，用作负极的负气体注入管，负极电极环，气体注入管，负极保护管和模块壳。在等离子体喷射模块中，产生基本上电离的等离子体并以喷射形式注入。可以通过使用注入的等离子体对塑料和各种基板进行表面处理。

3. 发明公开

KR1020130029137A 소형 플라즈마 젯 표면처리 장치 无效
标题翻译：微型等离子喷射器的表面处理装置
公开(公告)号：KR1020130029137A
公开(公告)日：2013-03-22
申请号：KR1020110092320
申请日：2011-09-14
申请人： (주)아메드
发明人： 한동철 , 박태규 , 양상식 , 김강일 , 김근영 , 오영택
IPC分类号： H05H1/34 , B23K10/00
CPC分类号： H01J37/3244 , H01J37/32009 , H01J37/32458 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H01J37/32577 , H05H1/34 , H05H1/36
摘要： PURPOSE: A small plasma jet surface processing device is provided to process a surface of plastics required for micro element manufacture or to apply various substrates of micro elements to an adhesion process through surface processing. CONSTITUTION: A small plasma jet surface processing device includes a small plasma jet sprayer(1), a power and gas supply unit(2), and a controller(3). The small plasma jet sprayer is includes a small plasma jet spray module to generate plasma in a jet type. The power and gas supply unit is connected with the small plasma jet sprayer to supply power and gas for generating the plasma to the small plasma jet sprayer. The controller controls the injection of the power and gas for operating the small plasma jet sprayer through the power and gas supply unit.
摘要翻译：目的：提供小型等离子体喷射表面处理装置，以处理微元件制造所需的塑料表面或通过表面处理将各种微量元素的基材施加到粘合过程。构成：小型等离子体喷射表面处理装置包括小型等离子体喷射喷雾器（1），动力和气体供应单元（2）和控制器（3）。小型等离子体喷射喷雾器包括一个小型等离子喷射喷射模块，以产生喷射式等离子体。电力和气体供应单元与小型等离子体喷射喷雾器连接，以向小型等离子体喷射喷雾器提供用于产生等离子体的动力和气体。控制器控制电力和气体的注入，以便通过动力和气体供应单元操作小型等离子体喷射喷雾器。

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