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81. 发明公开

KR1020110088714A 기판 이송용 암 및 이를 이용한 기판 로딩 및 언로딩 방법 有权
标题翻译：用于传送基板的ARM和用于加载和卸载使用该基板的基板的方法
公开(公告)号：KR1020110088714A
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：KR1020100008342
申请日：2010-01-29
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 허관선
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B25J15/08
CPC分类号： H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/68707 , H01L21/6875 , Y10S414/137
摘要： PURPOSE: A substrate transferring arm and a substrate loading and unloading method using the same are provided to shorten the required time for substrate loading and unloading, thereby improving substrate processing process productivity. CONSTITUTION: A substrate is loaded or unloaded from a batch type substrate processing device to a boat by using an arm. The batch type substrate processing device processes a plurality of substrates at the same time. The boat is located in a chamber providing substrate processing space. A substrate holder supporting the substrate is installed in the boat. The substrate is processed when the substrate is mounted on the substrate holder. The arm is installed in a hand part(220) extended from one side of a body part and able to rotate about an axis in a length direction of the hand part on an opening part formed in the hand part. A supporting pin(270) which is able to move in a vertical direction with respect to the bottom surface of the hand part is included in the arm.
摘要翻译：目的：提供基板传送臂和使用其的基板装载和卸载方法，以缩短基板装载和卸载所需的时间，从而提高基板处理工艺生产率。构成：通过使用臂将基板从批式基板处理装置装载或卸载到船上。批式基板处理装置同时处理多个基板。船位于提供基板处理空间的室内。支撑基板的基板支架安装在船上。当衬底安装在衬底保持器上时，衬底被加工。臂安装在从身体部分的一侧延伸的手部（220）中，并且能够在形成在手部的开口部上的手部的长度方向上的轴线旋转。能够相对于手部的底面在垂直方向上移动的支撑销（270）包括在臂中。

82. 发明授权

KR101051283B1 덤퍼 및 이를 구비한 스토커 시스템 有权
标题翻译：阻尼器和储料器系统
公开(公告)号：KR101051283B1
公开(公告)日：2011-07-22
申请号：KR1020090014782
申请日：2009-02-23
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 신대호 , 이성일 , 김호남 , 강진모
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/06 , B25J15/08
摘要： 덤퍼 및 이를 구비한 스토커 시스템이 개시된다. 본 발명의 덤퍼는, 덤퍼 본체부; 덤퍼 본체부의 일측에 결합되어 복수개의 기판이 순차적으로 적재되는 제1 덤퍼 핸드부; 및 덤퍼 본체부의 타측에 결합되어 복수개의 기판이 순차적으로 적재되는 제2 덤퍼 핸드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판의 다양한 크기에 대응 가능하며, 인덱스 로봇을 사용하지 않고 복수개의 기판을 순차적으로 적재하여 기판 이송 택트 타임을 단축할 수 있다.
스토커, 덤퍼, 컨베이어, 인덱스 로봇, 카세트
摘要翻译：公开了一种阻尼器和具有该阻尼器的储料器系统。本发明的阻尼器包括：阻尼器主体部分; 第一阻尼器手单元，结合到阻尼器主体的一侧并顺序地堆叠多个基板; 以及第二阻尼器手单元，其耦合到阻尼器本体单元的另一侧并且顺序地堆叠多个基板。根据本发明，能够应对各种尺寸的基板，通过不使用索引机器人而依次层叠多个基板，能够缩短基板传送节拍时间。

83. 发明公开

KR1020110061499A 엣지 그립 장치 및 이를 구비하는 로봇 有权
标题翻译：边缘设备和机器人包括它们
公开(公告)号：KR1020110061499A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020100121143
申请日：2010-12-01
申请人： 카와사키 주코교 카부시키 카이샤
发明人： 하시모토야스히코 , 요시다토시아키
IPC分类号： B25J15/08 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/68
CPC分类号： B25J15/00
摘要： PURPOSE: An edge gripper and a robot including the same are provided to quickly grip a wafer for a semiconductor process without damage to the wafer. CONSTITUTION: An edge gripper comprises a chuck hand(1) having a pressing tool(14). The pressing tool includes a pusher(25) which presses a wafer(3) for a semiconductor process to a front guide(12) in order to grip the wafer, a pusher supporter(22) which is installed in the pusher and slid back and forth, and a transformable buffer member(28) which is installed in a gap(26a) formed in the front of the pusher supporter so that the pusher supporter moves the pusher forward via the buffer member.
摘要翻译：目的：提供边缘夹持器和包括其的机器人，以快速地夹持半导体工艺的晶片，而不会损坏晶片。构成：边缘夹持器包括具有加压工具（14）的卡盘手（1）。按压工具包括将用于半导体工艺的晶片（3）按压到前引导件（12）以便夹紧晶片的推动器（25），安装在推动器中并向后滑动的推动器支撑件（22）和可变形的缓冲构件（28），其安装在形成在推动器支撑件的前部的间隙（26a）中，使得推动支撑件通过缓冲构件向前移动推动器。

84. 发明公开

KR1020110055609A 로봇 핸드 및 판자 모양 물품의 핸들링 방법 有权
标题翻译：机器人手柄和方法处理平面文章
公开(公告)号：KR1020110055609A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020117005529
申请日：2008-09-10
申请人： 가부시키가이샤 하모닉 드라이브 시스템즈
发明人： 고야마준지 , 데즈카슌이치 , 고스게가즈히로 , 히라타야스히사 , 이치노세준야
IPC分类号： B25J15/08 , B25J9/16
CPC分类号： B25J15/0009 , B25J15/08
摘要： 로봇 핸드(10)로 접시류를 파지할 때에는, 그 고정측 결합판(13)과 가동측 결합손가락(14)을 수평의 상태로 하여 핸들링 대상인 접시(20)를 향하여 이동시키고, 그들의 사이에, 접시(20)의 외주 가장자리측의 부분을 삽입한다. 다음에 가동측 결합손가락(14)의 선단부(14b)를 접시(20) 측으로 소정량만큼 절곡시켜서 로봇 핸드(10)를 들어올린다. 이 결과, 접시(20)가 자체중량에 의하여 고정측 결합판(13)과 가동측 결합손가락(14)의 사이에 파지된 상태가 형성된다. 이 후에는, 좌우의 제1손가락 유닛(15, 16)을 접시(20) 측으로 절곡하여, 그들의 접시 가압면(15g, 16g)에 의하여 접시(20)를 가압한다. 이에 따라 접시(20)가 고정측 결합판(13)과 가동측 결합손가락(14)의 사이에서 확실하게 파지된 상태가 형성된다.

85. 发明公开

KR1020110054051A 반송 장치 및 진공 장치 有权
标题翻译：输送装置和真空装置
公开(公告)号：KR1020110054051A
公开(公告)日：2011-05-24
申请号：KR1020117008537
申请日：2009-10-15
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 미나미히로후미
IPC分类号： B25J15/00 , B25J9/06 , B25J15/08 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67742 , B25J9/042 , B25J9/106 , B25J11/0095 , H01L21/68735
摘要： 본 발명은, 저온뿐만 아니라 고온 환경하에 있어서 반송물을 확실하게 유지 하여 고속 반송을 도모함과 함께 반송물의 반송시에 있어서의 더스트를 감소시키는 기술을 제공한다. 본 발명의 반송 장치 (50) 는, 구동원으로부터의 동력이 전달되는 복수의 아암을 갖는 자유롭게 신축할 수 있는 링크 기구 (20) 와, 링크 기구 (20) 의 동작 선단부에 있어서 구동 링크부를 통해서 연결되고, 기판 (10) 을 재치하기 위한 재치부 (5) 를 구비한다. 재치부 (5) 에는, 기판 (10) 의 측부와 맞닿아 걸기 위한 걸림부 (5a, 5b) 가 형성됨과 함께, 링크 기구 (20) 의 구동 링크부에는 캠 기구에 의한 탄성 지지 수단 (9) 이 형성된다. 탄성 지지 수단 (9) 은, 링크 기구 (20) 의 구동 링크부에 형성된 캠 구동면 (31L, 31R) 과, 캠 구동면 (31L, 31R) 에 맞닿아 종동할 수 있는 종동 롤러를 갖고, 당해 종동 롤러의 이동에 따라 재치부 (5) 의 걸림부 (5a, 5b) 를 향하여 안내 이동되는 볼록 형상의 탄성 지지부 (6a) 를 갖는 종동 기구부 (6) 를 구비한다.

86. 发明授权

KR101023858B1 차륜 핸들링용 로봇핸드 有权
标题翻译：机器人手指装置用于处理轮子
公开(公告)号：KR101023858B1
公开(公告)日：2011-03-22
申请号：KR1020060035611
申请日：2006-04-20
申请人： 현대중공업 주식회사
发明人： 박태갑
IPC分类号： B25J15/00 , B25J15/08
摘要： 본 발명은 차륜 핸들링용 로봇핸드에 관한 것이며, 그 목적은 차륜의 가공을 위한 머시닝센터 내측으로 정확한 위치결정을 수행하여 머시닝센터의 기준핀 등 장치의 파손 등을 예방함과 동시에 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 차륜 핸들링용 로봇핸드를 제공함에 있다.
본 발명은 차륜을 머시닝센터의 지정위치에 장착 혹은 취출하기 위한 차륜 핸들링용 로봇핸드에 있어서; 핸드프레임과; 상기 핸드프레임의 일 측에 설치된 한 쌍의 클램프지지대와, 이 클램프지지대에 회전가능하게 설치된 파지롤러들 및 상기 파지롤러들 중 적어도 하나 이상의 파지롤러에 구비된 회전수단을 구비하는 장착용 핸드와; 상기 핸드프레임의 다른 측에 설치된 한 쌍의 클램프지지대와, 이클램프지지대에 회전가능하게 설치된 파지롤러들로 이루어진 취출용 핸드로 구성된 차륜 핸들링용 로봇핸드에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
머시닝센터, 차륜, 핸들링용 로봇핸드, 장착용, 취출용

87. 发明授权

KR101012739B1 인간형 로봇의 지능형 손 및 이를 이용한 미지물체 파지방법 失效
标题翻译：人形机器人的智能机器人手和采用未知物体的方法
公开(公告)号：KR101012739B1
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020080125397
申请日：2008-12-10
申请人： 경상대학교산학협력단
发明人： 김갑순
IPC分类号： B25J15/08 , B25J13/08
摘要： 본 발명은 미지물체를 파지하기 위한 파지부; 상기 파지부를 통해 미지물체를 들어올릴 때 상기 미지물체의 무게를 감지하는 감지부; 및 상기 감지부에 의해 취득한 상기 미지물체의 무게에 따라 상기 미지물체에 해당하는 무게에 대응하는 파지력으로 상기 미지물체를 파지하도록 상기 파지부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명은 각 손가락에 설치된 3축 힘센서를 통해 미지물체를 파지하는 과정에서 미지물체의 무게를 측정하여 지능적으로 미지물체를 파지해야 할 힘을 설정하며, 이에 따라 사용자가 지능형 손을 이용하여 파지해야 할 특정되지 않은 다양한 미지물체의 무게 데이터를 사전에 모두 입력하는 수고 없이 미지물체가 훼손이 되지 않도록 적정한 힘으로 안전하게 파지할 수 있는 이점이 있다.
로봇, 로보트, 팔, 아암, 핸드, 손, 무게, 센서, 3축 힘센서

88. 发明公开

KR1020110005146A 로봇손 无效
标题翻译：机器人手
公开(公告)号：KR1020110005146A
公开(公告)日：2011-01-17
申请号：KR1020090062702
申请日：2009-07-09
申请人： 한양대학교 산학협력단
发明人： 이병주 , 차효정
IPC分类号： B25J15/08 , B25J1/00
摘要： PURPOSE: A robot hand is provided to safely and stably grip an object with various shapes by using fingers which can perform a bending motion. CONSTITUTION: A robot hand comprises a base(100), multiple fingers(200,210,220,230,240,250), and an operating unit(300). One ends of the fingers are coupled to the base. Each finger comprises two or more cylinders and springs. The springs are exposed between the cylinders. The fingers perform a bending motion using wires. The operating unit comprises a sliding unit(330) and a guide unit(320). The sliding unit is coupled to the wires of the fingers. The guide unit guides the sliding unit to perform a sliding motion.
摘要翻译：目的：提供机器人手，通过使用能够进行弯曲运动的手指来安全稳定地夹持各种形状的物体。构成：机器人手包括基座（100），多个手指（200,210,220,230,240,250）和操作单元（300）。手指的一端连接到基座。每个手指包括两个或更多个气缸和弹簧。弹簧暴露在气缸之间。手指使用电线进行弯曲运动。操作单元包括滑动单元（330）和引导单元（320）。滑动单元联接到手指的电线。引导单元引导滑动单元执行滑动运动。

89. 发明公开

KR1020100118290A 웨이퍼 이송용 핸들러 无效
标题翻译：在运输中使用的处理器
公开(公告)号：KR1020100118290A
公开(公告)日：2010-11-05
申请号：KR1020090037042
申请日：2009-04-28
申请人： 현대중공업 주식회사
发明人： 하경수 , 정인수 , 안수범
IPC分类号： H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67742 , B25J11/0095 , B25J19/0058 , H01L21/68707 , Y10S414/141
摘要： PURPOSE: A handler for transferring wafers is provided to prevent the contamination of wafers due to particles by eliminating the particles on the lower side of the wafer through a hole on one side of the handler. CONSTITUTION: A combining unit(110) includes a plurality of screw holes(112) in order to screw-bond a handler body(120) and a robot arm. The corner of the handler body is curved. A U-shape hole(122) is formed in the handler body. A groove(124) with a preset width and a depth is formed on the upper side of the handler body in order to fix wafers(30). A through hole(126) in connection with the groove is formed on the lateral side of the handler body.
摘要翻译：目的：提供用于转移晶片的处理器，以通过处理器一侧的孔消除晶片下侧的颗粒，防止颗粒污染晶片。构成：组合单元（110）包括多个螺钉孔（112），用于螺纹连接处理机主体（120）和机器人手臂。处理机构的角落是弯曲的。 U形孔（122）形成在处理机主体中。为了固定晶片（30），在处理机主体的上侧形成具有预设宽度和深度的凹槽（124）。与处理机主体的侧面形成有与沟槽连接的通孔（126）。

90. 发明授权

KR100968869B1 기판 반송 로봇 有权
标题翻译：基台传输机器人
公开(公告)号：KR100968869B1
公开(公告)日：2010-07-09
申请号：KR1020080066337
申请日：2008-07-09
申请人： 주식회사 로보스타 , 김정호 , 다카오 나카모리
发明人： 김정호 , 다카오나카모리
IPC分类号： B25J9/06 , B25J15/08 , H01L21/68
摘要： 본 발명은 다수의 구동암이 각각 관절 운동을 하도록 상호 회전 가능하게 연결되고, 다수의 구동암중 말단부 구동암에 장착되는 엔드 이펙터에 의해 기판을 반송하도록 이루어진 기판 반송 로봇에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제1, 제2 엔드 이펙터 및 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제3, 제4 엔드 이펙터로 이루어지고, 상기 말단부 구동암에 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하고, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하는 엔드 이펙터 작동 모듈을 구비하며, 상기 제1 엔드 이펙터와 제3 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되며, 상기 제2 엔드 이펙터와 제4 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
기판, 반송, 로봇, 엔드이펙터, 트윈 공정 챔버

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