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81. 发明授权

KR101764510B1 수지 제조 방법 및 수지 제조 장치 有权
标题翻译：树脂制造方法和树脂制造装置
公开(公告)号：KR101764510B1
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：KR1020157003122
申请日：2013-07-17
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이이다겐이치 , 이토도시키 , 마츠후지나오코 , 스즈키다츠야
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027
摘要： 본발명은나노임프린트방법을사용하는수지제조방법에서주형과경화성수지사이에가해지는이형력을저감시킨수지제조방법을제공한다. 본발명의수지제조방법은, 경화성조성물(1)을기판(2) 상에배치하는배치공정; 주형(3)을상기경화성조성물(1)과접촉시키는접촉공정; 상기경화성조성물(1)을주형(3)과접촉시킨상태로유지시키면서상기경화성조성물(1)에방사선을조사하거나상기경화성조성물(1)을가열함으로써상기경화성조성물(1)을경화시키는경화성조성물경화공정; 상기경화성조성물(1)을경화시킬때, 상기주형(3)과경화성조성물(1)이서로로부터이격되지않을정도로상기기판(2)과주형(3)을서로로부터이격시키는방향으로인장응력(6)을발생시키는인장응력발생공정; 및상기경화성조성물(1)과주형(3)을서로로부터분리시키는이형공정을포함한다.
摘要翻译：本发明提供了一种树脂制造方法，其中在使用纳米压印方法的树脂制造方法中，在模具和固化树脂之间施加的释放力降低。本发明的树脂制造方法是一种制造树脂的方法，包括：将固化性组合物（1）放置在基板（2）上的放置步骤; 使模具（3）与可固化组合物（1）接触的接触步骤; （1）与所述模具（3）接触的同时通过用可见光辐射所述可固化组合物（1）或加热所述可固化组合物（1）来固化所述可固化组合物（1）流程; 当固化性组合物1固化时，控制拉伸应力6（分离基板2和模具3的方向），以使模具3和固化性组合物1不会从炉内分离产生拉伸应力的拉伸应力产生步骤; 以及用于将可固化组合物（1）和模具（3）彼此分离的脱模过程。

82. 发明授权

KR101734632B1 광경화물 有权
标题翻译：视力货物
公开(公告)号：KR101734632B1
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020147036330
申请日：2013-05-21
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 미하라치에코 , 이토도시키 , 무라야마요헤이 , 오키나카모토키
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： H05K3/10 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08J5/00 , C08J2335/02 , G03F7/0002 , H05K1/0373 , Y10T428/24802
摘要： 본발명은이형력이작은광경화물을제공한다. 본발명의광경화물은광 경화에의해얻어지고계면활성제를포함하며, 여기서에테르결합-유도피크의피크면적이에스테르결합-유도피크의피크면적의 3배이상이고, 상기피크면적은상기광경화물의최상표면에서탄소의화학상태에관한분석결과로서얻어지는 X선광전자분광스펙트럼의커브피팅에의한피크분리처리에의해얻어지며, 상기분석결과는각도분해 X선광전자분광분석을사용한광경화물의표면분석에의해얻은광경화물의최상표면상의분석결과중 하나이다.
摘要翻译：本发明提供了具有小的释放力的光学产品。由本发明的光银矿固化获得包括表面活性剂，其中酯键的感应峰的醚键的峰面积是引起的峰值的峰面积的至少三倍，峰面积是最好的光组由峰值分离过程通过如在表面上的碳的化学状态的分析结果中获得的X射线光电子光谱的曲线拟合获得的分析结果由光设定使用角度分辨X射线光电子能谱分析的表面分析这是获得的光电二极管顶面分析结果之一。

83. 发明授权

KR101726106B1 광경화성 조성물 및 상기 조성물을 사용한 막의 제조 방법 有权
标题翻译：光固化组合物和使用该组合物制造膜的方法
公开(公告)号：KR101726106B1
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：KR1020157009270
申请日：2013-09-11
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이토도시키 , 미하라치에코 , 가와사키요오지
IPC分类号： C08F2/48 , C08K5/02 , G03F7/00 , H01L21/02 , H01L21/308 , H01L21/311 , H05K3/00
CPC分类号： C08J5/18 , B29C35/0805 , B29C2035/0827 , B29K2033/04 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , C08F2/48 , C08J2333/08 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/031 , H01L21/02118 , H01L21/3086 , H01L21/311 , H05K3/0023 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/06 , H05K3/107 , H05K2203/0113 , H05K2203/086 , H05K2203/087
摘要： 충전성이높고광 임프린트방법을이용해서막을제작할때에이형력을작게할 수있는광경화성조성물및 상기광경화성조성물을사용한막의제조방법을제공한다. 상기광경화성조성물은, (A) 중합성화합물; (B) 광중합개시제; 및 (C) 하기화학식 1로나타내어지는계면활성제인성분 (A) 내지성분 (C)를적어도포함하는광경화성조성물이다. Rf-Rc-X
摘要翻译：本发明提供一种光固化性组合物及使用该光固化性组合物制造膜的方法，其能够减少使用光压印法形成膜时的脱模力。光固化性组合物包含（A）可聚合化合物; （B）光聚合引发剂; 和（C）成分（A）中的至少一种成分（C）是由以下通式（1）表示的表面活性剂。＆lt;式1＆gt; Rf-Rc-X

84. 发明授权

KR101700548B1 광경화성 조성물 및 상기 조성물을 사용한 막의 제조 방법 有权
标题翻译：光学组合物和使用该组合物制造薄膜的方法
公开(公告)号：KR101700548B1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020157009837
申请日：2013-09-20
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이토도시키 , 이이다겐이치 , 마츠후지나오코
IPC分类号： C08F2/48 , C08F222/10 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
摘要： 생산성이높은막을제조하는데 사용되는본 발명의광경화성조성물은광경화성조성물을표면에요철을갖는주형과접촉시킨상태에서광을이용하여광경화성조성물을경화시킴으로써미리결정된패턴형상을갖는막을제조하는데 사용되는광경화성조성물이며, 상기광경화성조성물은중합성화합물; 광중합개시제; 광자극을통해기체를발생시키는감광성기체발생제; 및상기주형과상기광경화성조성물사이의계면에서상기감광성기체발생제로부터발생된기체의응집속도를증가시키기위한기체발생촉진제를포함하고, 상기기체발생촉진제는중합성치환기를갖지않는불소원자함유계면활성제를포함한다.
摘要翻译：用于制造高生产率的薄膜的本发明的光固化性组合物是将光固化性组合物在使光固化性组合物进入的状态下用光固化而制造具有规定图案形状的膜的光固化性组合物与其表面具有凹凸的模具接触，所述光固化性组合物包含：可聚合化合物; 光聚合引发剂; 用于通过光刺激产生气体的光敏气体发生剂; 以及气体发生促进器，其用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处由所述感光性气体发生剂产生的气体的聚集速率，其中所述气体产生促进剂包括不含可聚合的含氟原子的表面活性剂取代。

85. 发明公开

KR1020150058392A 광경화성 조성물 및 상기 조성물을 사용한 막의 제조 방법 有权
标题翻译：光学组合物和使用该组合物制造薄膜的方法
公开(公告)号：KR1020150058392A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020157009837
申请日：2013-09-20
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이토도시키 , 이이다겐이치 , 마츠후지나오코
IPC分类号： C08F2/48 , C08F222/10 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
摘要： 생산성이높은막을제조하는데 사용되는본 발명의광경화성조성물은광경화성조성물을표면에요철을갖는주형과접촉시킨상태에서광을이용하여광경화성조성물을경화시킴으로써미리결정된패턴형상을갖는막을제조하는데 사용되는광경화성조성물이며, 상기광경화성조성물은중합성화합물; 광중합개시제; 광자극을통해기체를발생시키는감광성기체발생제; 및상기주형과상기광경화성조성물사이의계면에서상기감광성기체발생제로부터발생된기체의응집속도를증가시키기위한기체발생촉진제를포함하고, 상기기체발생촉진제는중합성치환기를갖지않는불소원자함유계면활성제를포함한다.
摘要翻译：用于制造高生产率的薄膜的本发明的光固化性组合物是将光固化性组合物在使光固化性组合物进入的状态下用光固化而制造具有规定图案形状的膜的光固化性组合物与其表面具有凹凸的模具接触，所述光固化性组合物包含：可聚合化合物; 光聚合引发剂; 用于通过光刺激产生气体的光敏气体发生剂; 以及气体发生促进器，其用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处由所述感光性气体发生剂产生的气体的聚集速率，其中所述气体产生促进剂包括不含可聚合的含氟原子的表面活性剂取代。

86. 发明公开

KR1020150054986A 광경화성 조성물 및 상기 조성물을 사용한 막의 제조 방법 有权
标题翻译：光学组合物和使用该组合物制造薄膜的方法
公开(公告)号：KR1020150054986A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：KR1020157009270
申请日：2013-09-11
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이토도시키 , 미하라치에코 , 가와사키요오지
IPC分类号： C08F2/48 , C08K5/02 , G03F7/00 , H01L21/02 , H01L21/308 , H01L21/311 , H05K3/00
CPC分类号： C08J5/18 , B29C35/0805 , B29C2035/0827 , B29K2033/04 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , C08F2/48 , C08J2333/08 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/031 , H01L21/02118 , H01L21/3086 , H01L21/311 , H05K3/0023 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/06 , H05K3/107 , H05K2203/0113 , H05K2203/086 , H05K2203/087
摘要： 충전성이높고광 임프린트방법을이용해서막을제작할때에이형력을작게할 수있는광경화성조성물및 상기광경화성조성물을사용한막의제조방법을제공한다. 상기광경화성조성물은, (A) 중합성화합물; (B) 광중합개시제; 및 (C) 하기화학식 1로나타내어지는계면활성제인성분 (A) 내지성분 (C)를적어도포함하는광경화성조성물이다. Rf-Rc-X

87. 发明公开

KR1020150036403A 수지 제조 방법 및 수지 제조 장치 有权
标题翻译：树脂生产方法和树脂生产设备
公开(公告)号：KR1020150036403A
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020157003122
申请日：2013-07-17
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이이다겐이치 , 이토도시키 , 마츠후지나오코 , 스즈키다츠야
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027 , H01L21/027
摘要： 본발명은나노임프린트방법을사용하는수지제조방법에서주형과경화성수지사이에가해지는이형력을저감시킨수지제조방법을제공한다. 본발명의수지제조방법은, 경화성조성물(1)을기판(2) 상에배치하는배치공정; 주형(3)을상기경화성조성물(1)과접촉시키는접촉공정; 상기경화성조성물(1)을주형(3)과접촉시킨상태로유지시키면서상기경화성조성물(1)에방사선을조사하거나상기경화성조성물(1)을가열함으로써상기경화성조성물(1)을경화시키는경화성조성물경화공정; 상기경화성조성물(1)을경화시킬때, 상기주형(3)과경화성조성물(1)이서로로부터이격되지않을정도로상기기판(2)과주형(3)을서로로부터이격시키는방향으로인장응력(6)을발생시키는인장응력발생공정; 및상기경화성조성물(1)과주형(3)을서로로부터분리시키는이형공정을포함한다.

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