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71. 发明公开

KR1020110000583A 결함을 검사하는 방법 및 결함 검사 장치 有权
标题翻译：检查缺陷的方法和缺陷检查装置
公开(公告)号：KR1020110000583A
公开(公告)日：2011-01-03
申请号：KR1020107025883
申请日：2009-05-22
申请人： 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼
发明人： 사카이카즈후미 , 노나카카즈히로
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/49 , G01J4/04 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9505 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N29/2418 , G01N2021/4792 , G01N2021/8848 , G01N2021/8896 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要： 광원 장치(4)로부터의 광을 폴러라이저(5)를 개재하여 편광을 주어 피검사체(W)에 대해 경사 방향으로 입사시키고, 그 산란광(SB)을 암시야에 배치된 편광 분리 소자(9)를 가지는 CCD 촬상 장치(7)로 촬상하고, 얻어진 P 편광 성분 화상과 S 편광 성분 화상에 대해서 성분광 강도를 얻어, 그들의 비로서의 편광 방향을 구한다. 피검사체에 응력을 인가하고 있지 않은 상태와, 응력을 인가한 상태의 광산란체의 촬상에 의해 얻어진 화상으로부터 성분광 강도, 편광 방향을 구하고, 소정의 역치와 대비함으로써, 피검사체에 있어서의 내부 석출물, 공동 결함, 표면의 이물질 내지 스크래치, 표층의 크랙의 결함을 정밀도 좋게 검출하고, 결함의 종류를 특정하여 결함을 분류할 수가 있다.

72. 发明授权

KR100979215B1 편광계의 고정밀 교정 有权
标题翻译：极精确校准极地
公开(公告)号：KR100979215B1
公开(公告)日：2010-08-31
申请号：KR1020030022280
申请日：2003-04-09
申请人： 쏘어랩스 인코포레이티드
发明人： 에그베르트크라우제 , 아달베르트반데머
IPC分类号： G01J4/04
CPC分类号： G01M11/337 , G01J4/04 , G01M11/336
摘要： 최소한 4개의 검출기를 갖는 유형의 고정밀 편광계 교정 방법은 4개의 공지된 편광 상태의 입력 광 신호(교정 편광) 및 최소한 하나의 추가의 편광 상태를 이용하는 단계를 포함한다. 편광계에 대한 모든 입력 편광 상태는 광 신호의 단일의 정규화된 파워 및 단일의 편광도를 갖는다. 4개의 교정 편광을 위한 스토크스 행렬(Stokes matrix)은 최소한 하나의 보정 파라미터에 의해 생성되고, 보정 행렬은 상기 스토크스 행렬 및 편광계에 의해 측정되는 대응 검출기 전류로부터 결정된다. 편광계에 의해 측정됨으로써 상기 편광 상태에 대한 편광도의 함수인 최적화 기준이 생성된다. 보정 파라미터는 상기 최적화 기준을 최소화하기 위해 반복적으로 변화하여 상기 편광계는 임의의 입력 편광 상태에 대하여 단일의 파워 및 편광도를 형성하도록 교정된다.
편광, 교정, 검출기, 광 신호, 스토크스, 보정, 파라미터, 행렬, 정규화

73. 发明授权

KR100870132B1 음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를이용한 타원 해석방법 失效
标题翻译：使用声光滤波器的光谱仪和使用其的ELLIPSOMETRY
公开(公告)号：KR100870132B1
公开(公告)日：2008-11-25
申请号：KR1020070049409
申请日：2007-05-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 오세백 , 유장우 , 예상헌 , 류성윤 , 김수현
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
摘要： A spectroscopic ellipsometer using an acoustic-optic tunable filter and an ellipsometric method using the same are provided to implement a spectroscopic ellipsometer including a spectral imaging ellipsometer more conveniently by using an acoustic-optic tunable filter(40) as both spectral and polarization devices. A spectroscopic ellipsometer includes a light source(2) emitting homogeneous light; a specimen part(3) in which the homogeneous light emitted from the light source is reflected; a polarization and modulation part(4) which includes an acoustic-optic tunable filter(40) having a wavelength bandwidth determined according to the homogeneous light reflected from the specimen part and an RF signal(63) from an acoustic-optic tunable filter driver(61), and generates two diffracted lights whose wave fronts are perpendicular to each other; a detection unit(5) measuring the two diffracted lights from the acoustic-optic tunable filter(40) to a two-dimensional imaging device at the same time and compensating for the polarized light confusion error generated in the acoustic-optic tunable filter; and a signal processing control part(6) synchronizing and controlling the two-dimensional imaging device to compensate for the polarized light confusion error and calculating the refractive index and thickness of specimen.
摘要翻译：提供使用声光可调谐滤光器的分光椭偏仪和使用其的椭偏方法，以通过使用声光可调谐滤光器（40）作为光谱和偏振装置来更方便地实现包括光谱成像椭偏仪的光谱椭偏仪。光谱椭偏仪包括发射均匀光的光源（2）; 其中从光源发射的均匀光被反射的样本部分（3）偏振和调制部分（4），其包括具有根据从样本部分反射的均匀光确定的波长带宽的声光可调滤波器（40）和来自声光可调谐滤波器驱动器的RF信号（63） 61），并产生波前彼此垂直的两个衍射光; 检测单元（5），同时测量从声光可调滤波器（40）到二维成像装置的两个衍射光，并补偿在声光可调滤波器中产生的偏振光混淆误差; 以及信号处理控制部（6），其同步和控制二维成像装置，以补偿偏振光混淆误差并计算样本的折射率和厚度。

74. 发明公开

KR1020060108272A 수준기를 구비하는 타원해석기 无效
标题翻译： ELLIPSOMETER有水平
公开(公告)号：KR1020060108272A
公开(公告)日：2006-10-17
申请号：KR1020060097187
申请日：2006-10-02
申请人： 안일신 , 오혜근
发明人： 안일신 , 오혜근
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
摘要： 본 발명은, 몸체, 광원과 편광발생기와 사방으로 기울기 변화가 가능한 구조로 결합되는 시편장착대와 편광분석기와 검출기를 포함하여 몸체에 결합되는 측정수단, 시편장착대의 평면상 X방향 기울기를 조절하는 제 1 장착대 조절장치와 시편장착대의 평면상 Y방향 기울기를 조절하는 제 2 장착대 조절장치를 포함하는 장착대 조절장치, 몸체의 기울기를 표시하는 몸체 수준기, 시편장착대의 기울기를 표시하는 장착대 수준기, 몸체의 기울기를 조절하는 받침대, 장착대 수준기의 기울기를 조절하는 수준기 조절장치를 포함하여 구성되어, 수준기 2개만을 이용하여 영점을 맞출 수 있으므로 생산원가가 대폭 절감되고 전원장치가 요구되는 자동 콜리메이터를 이용하지 아니하므로 시편 측정 시 소요되는 비용도 절감할 수 있으며 영점 조정 작업이 매우 � ��편해지는 타원해석기를 제공한다.
타원해석기, 콜리메이터, 수준기, 영점, 기울기

75. 发明公开

KR1020060078939A 수준기를 구비하는 타원해석기 无效
标题翻译：具有电平的椭圆插补器
公开(公告)号：KR1020060078939A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040118192
申请日：2004-12-31
申请人： 안일신 , 오혜근
发明人： 안일신 , 오혜근
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
摘要： 본 발명은, 몸체, 광원과 편광발생기와 사방으로 기울기 변화가 가능한 구조로 결합되는 시편장착대와 편광분석기와 검출기를 포함하여 몸체에 결합되는 측정수단, 시편장착대의 평면상 X방향 기울기를 조절하는 제 1 장착대 조절장치와 시편장착대의 평면상 Y방향 기울기를 조절하는 제 2 장착대 조절장치를 포함하는 장착대 조절장치, 몸체의 기울기를 표시하는 몸체 수준기, 시편장착대의 기울기를 표시하는 장착대 수준기, 몸체의 기울기를 조절하는 받침대, 장착대 수준기의 기울기를 조절하는 수준기 조절장치를 포함하여 구성되어, 수준기 2개만을 이용하여 영점을 맞출 수 있으므로 생산원가가 대폭 절감되고 전원장치가 요구되는 자동 콜리메이터를 이용하지 아니하므로 시편 측정 시 소요되는 비용도 절감할 수 있으며 영점 조정 작업이 매우 � ��편해지는 타원해석기를 제공한다.
타원해석기, 콜리메이터, 수준기, 영점, 기울기

76. 发明公开

KR1020050113002A 키노폼 회절격자 광분배기를 이용한 편광 측정기 失效
标题翻译：使用用于激发光束的KINOFORM光栅的极化镜
公开(公告)号：KR1020050113002A
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：KR1020040038482
申请日：2004-05-28
申请人： 광주과학기술원
发明人： 김덕영 , 진상훈 , 이지용
IPC分类号： G01J4/04
摘要： 본 발명은 키노폼 회절격자를 광분배기로 이용하여 광의 편광상태를 측정하는 편광 측정기에 관한 것으로, 소정두께를 갖는 불투명재질의 평판에 광이 통과할 수 있는 투광부가 종방향과 횡방향을 따라 규칙적으로 형성되어서, 입사되는 광이 회절현상에 의해 분배되도록 하는 광분배기와; 상기 광분배기에 의해 분배된 분배광을 편광 시키는 편광자가 구비된 광학계; 및, 편광된 광신호를 수광하여 전기신호 및/또는 전기에너지로 전환시키는 수광부재가 구비된 광검출기로 이루어진 것이다.

77. 实用新型

KR200393404Y1 다중 헤드식 타원해석기 失效
标题翻译：多头椭偏仪
公开(公告)号：KR200393404Y1
公开(公告)日：2005-08-22
申请号：KR2020050013586
申请日：2005-05-13
申请人： 안일신 , 오혜근
发明人： 오혜근 , 안일신
IPC分类号： G01J4/04 , G01N21/21
CPC分类号： G01J4/04 , G01J1/0425 , G01N21/211 , G01N2021/213
摘要： 본 고안은 시편이 지닌 광학적 특성을 측정하기 위한 타원해석기에 관한 것으로서, 본 고안의 목적은 타원해석기를 소형화시키고 헤드를 다수 개로 배열하여 시편을 측정하는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 타원해석기는 시편을 지지하는 시편 장착대와, 상기 시편 장착대에 수직으로 이격 설치되고 횡방향으로 연장 형성된 헤드 지지대와, 상기 헤드 지지대에 하나 이상의 종방향으로 배치된 복수개의 헤드가 배열된 타원해석기에 관한 것이다.

78. 发明公开

KR1019960035019A 회전 검광자형 앨립소 미터 无效
标题翻译：旋转二向色测力计
公开(公告)号：KR1019960035019A
公开(公告)日：1996-10-24
申请号：KR1019950005148
申请日：1995-03-13
申请人： 에스케이씨 주식회사
发明人： 이신형 , 안병수
IPC分类号： G01N21/21 , G01N21/41 , G01J4/04
摘要： 본 발명은 회전 검광자형 엘립소미터에 관한 것이다.
본 발명의 회전 검광자형 엘립소미터는 측정시료의 표면에 측정용 광을 입사시키고 그 측정 시료로부터 반사되는 반사광의 편광상태의 변화로부터 측정시료의 굴절률, 두께 등을 측정하는 엘립소미터에 있어서, 상기 측정시료 표면에 입사되는 입사광 경로상에는 선편광된 광을 타원편광된 광으로 변환하여 주는 광변환수단이 설치되어 있는 점에 특징이 있다.
이와 같이 선편광된 빛을 타원편광된 빛으로 변환하여 입사시킴으로써 입사광 및 반사광이 공히 타원편광된 빛으로 시스템에 적용되며, 그에 따라 광변환과정 등에서 발생될 수 있는 오차를 줄일 수 있고, 또한 동일 측정시료의 부위별 두께편차 및 굴절률 등을 정확히 측정할 수 있는 장점이 있다.

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