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61. 发明授权

KR101680558B1 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치 有权
标题翻译：缺陷观察方法和缺陷观察装置
公开(公告)号：KR101680558B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020157015492
申请日：2013-12-06
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 하라다미노루 , 다카기유지 , 나카가키료 , 히라이다케히로 , 기츠키히로히코
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/95 , H01L21/66 , G01N21/892 , G01N9/36 , G01N21/89
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/9501 , G06T2207/10004 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
摘要： 본발명은, 결함및 「뉴슨스」(제조공차등을오검출한부위)의라벨링가능한결함후보를관찰대상시료로부터용이하게추출하고, 관찰처리에관련된파라미터를간이하게조정가능하게하는것을목적으로한다. 본발명의결함관찰방법은, 검사장치로부터의결함정보에의거하여피검사대상물을촬상하여, 결함화상과당해결함화상에대응하는참조화상을얻는촬상공정과, 상기촬상공정에서촬상한당해결함화상과당해참조화상에의해얻은제1 특징량분포와, 당해참조화상에의해얻은제2 특징량분포를사용하여, 결함추출에사용하는제1 파라미터를결정하는파라미터결정공정과, 상기파라미터결정공정에서결정한당해제1 파라미터를사용하여관찰을행하는관찰공정을구비한다. 본발명은, 반도체웨이퍼의제조중에있어서발생하는결함을관찰하는방법에적용할수 있다.
摘要翻译：本发明的目的是容易地从待观察的样品中提取可以被标记为缺陷或“妨碍”（错误地检测制造公差等的部分）的缺陷候选，并且允许参数相关观察加工易于调整。该缺陷观察方法包括：成像步骤，基于来自检查装置的缺陷信息，对要检查的对象进行成像，并获得与缺陷图像相对应的缺陷图像和参考图像; 参数确定步骤，通过使用从参考图像获取的第一特征集分布和在成像步骤中捕获的缺陷图像来确定在缺陷提取中使用的第一参数，以及从参考图像获取的第二特征网分布; 以及观察步骤，用于观察使用在参数确定步骤中确定的第一参数。本发明可以应用于观察在制造半导体晶片期间产生的缺陷的方法。

62. 发明公开

KR1020160094291A 투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템 有权
标题翻译：透明板检查装置及其检测系统
公开(公告)号：KR1020160094291A
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020160009860
申请日：2016-01-27
申请人： 가부시키가이샤 하리즈
发明人： 에비스가쓰야 , 사사쿠라신고 , 하야시다도루 , 아오야마히로시 , 사다히로시 , 이마후쿠레오 , 고조겐조
IPC分类号： G01N21/896 , G01N21/94 , G01N21/90 , B08B5/02 , G01N21/89 , G01N21/892
摘要： [해결하려고하는과제] 본발명은, 투명판에이물질이부착되기어려운상태에서투명판을검사할수 있고, 정확한검사를행할수 있는투명판검사장치를제공하는것을과제로한다. [해결수단] 본발명은, 투명판을검사하는투명판검사장치로서, 상기투명판의반입구및 반출구를가지는하우징, 상기반입구로부터상기반출구까지상기투명판을반송하는반송기구, 상기반송기구에의해반송되는상기투명판을검사하는검사부, 및상기하우징의내부에서이물질이상기투명판에부착되는것을저지하는이물질부착저지기구를구비하는것을특징으로한다. 상기이물질부착저지기구는, 외기압보다도상기하우징의내압을높이는가압기구를가지면된다. 상기가압기구는, 상기하우징의외부의공기를상기하우징의내부에보내는송입기구와, 상기송입기구에의해보내지는공기에포함되는이물질의상기하우징의내부로의침입을차단하는필터를가지면된다. 상기가압기구가, 상기하우징의상부에설치되어있으면된다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于透明板的检查装置，其可以在异物不容易附着到透明板的状态下检查透明板并进行精确的检查。用于透明板的检查装置检查透明板，并且包括：具有透明板的入口和出口的壳体; 将透明板从进入口输送到出口的运送机构; 检查单元，检查由运送机构输送的透明板; 以及异物附着停止机构，以阻止异物附着在壳体中的透明板上。异物附着停止机构具有将壳体的内部压力提高到比外部空气压力高的水平的加压机构。加压机构包括将壳体外部的空气移动到壳体中的进气机构，以及用于阻止容纳在由进气机构移动的空气中的异物渗透到壳体中的过滤器。加压机构安装在壳体的上部。

63. 发明公开

KR1020160069278A 순환골재 시료의 모르타르 함량 결정 방법 无效
标题翻译：确定回收混凝土样品的含量的方法
公开(公告)号：KR1020160069278A
公开(公告)日：2016-06-16
申请号：KR1020140175036
申请日：2014-12-08
申请人： 홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
发明人： 양성철 , 김희산 , 전창림 , 이활웅
IPC分类号： G01N5/00 , G01N33/38 , G01N21/894 , G01N21/89 , G01N21/892
CPC分类号： G01N5/00 , G01N33/38 , Y10S436/908
摘要： 순환골재의전체적인품질을평가하기위해서순환골재의모르타르함량을결정할수 있도록황산용액및 가경식믹서(Tilting Mixer)를이용한산처리시험(acid treatment testing) 방식으로서, 순환골재의시멘트계모르타르를신속정확하게결정할수 있고, 시멘트계모르타르대부분을용이하게제거할수 있는, 순환골재시료의모르타르함량결정방법이제공된다.
摘要翻译：提供了一种用于确定再循环骨料样品的砂浆含量以评估再循环骨料的整体质量的方法。该方法可以快速准确地确定再生骨料的水泥基砂浆，并使用硫酸溶液和倾斜混合器，通过酸处理试验型容易地除去大部分水泥基砂浆。

64. 发明公开

KR1020160049117A 후판 표면의 깊이 결함 및 형태 결함 탐상 장치 및 방법 有权
标题翻译：钢板检测方法及其形状检测方法的检测方法
公开(公告)号：KR1020160049117A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：KR1020140145134
申请日：2014-10-24
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 윤종필 , 박창현 , 이주승
IPC分类号： G01N21/892 , G06T7/00 , G01T7/00
CPC分类号： G01N21/892 , G01N21/00 , G01N2021/8924 , G01T1/00 , G01T7/00 , G06T7/0002 , G06T7/50 , G06T7/55
摘要： 후판표면의깊이및 형태결함탐상장치및 방법을개시한다. 상기후판표면의깊이및 형태결함탐상장치는서로교차되는제1 조명및 제2 조명을이용하여획득한후판의표면영상을제1 영상및 제2 영상으로분리한후, 상기제1 영상및 상기제2 영상각각을보정시켜하나의영상으로복원된복원영상을제공하는영상처리부; 상기복원영상을이용하여상기후판의깊이결함이표시된이진화된영상을제공하는깊이결함검출부; 및상기깊이결함이표시된이진화된영상에형태추출알고리즘을적용시켜상기깊이결함의인접영역위치하는형태결함이표시된이진화된영상을생성한후, 상기깊이결함이표시된이진화된영상과형태결함이표시된이진화된영상을결합시켜하나의영상으로제공하는형태결함검출부를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于检测厚板表面上的深度缺陷和形状缺陷的装置和方法，其容易地检测整体缺陷以及具有特定特征或图案的深度缺陷。用于检测厚板表面上的深度缺陷和形状缺陷的装置包括：图像处理单元，用于将使用第一照明获取的厚板的表面和彼此交叉的第二照明的图像分割成第一图像和第二图像，然后通过校正第一图像和第二图像来提供恢复成单个图像的恢复图像; 以及深度缺陷检测单元，使用所述恢复图像来提供其上显示所述厚板的深度缺陷的二值化图像; 以及形状缺陷检测单元，用于将形状提取算法应用于其上显示深度缺陷的二值化图像，以生成其上显示位于与深度缺陷相邻的区域上的形状缺陷的二值化图像，然后将二值化图像组合在其上显示深度缺陷和显示形状缺陷的二值化图像以提供单个图像。

65. 发明授权

KR101608424B1 철도시스템 유지보수 효율화를 위한 검사 장치 有权
标题翻译：铁路车辆有效维护试验装置
公开(公告)号：KR101608424B1
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：KR1020140146448
申请日：2014-10-27
申请人： 한국철도기술연구원
发明人： 강동훈 , 이정률
IPC分类号： B61K13/00 , B61K9/00 , G01N21/892
CPC分类号： B61K13/00 , B61K9/00 , G01N21/892
摘要： 본발명은철도시스템유지보수효율화를위한검사장치에관한것으로서, 더욱상세하게는철도차량을별도의장소에정차시키거나각 부분을분해하지않더라도, 철도차량이주행중에대차의상태를실시간으로정확하게판단할수 있을뿐만아니라, 필요할때, 각대차의상태이력을용이하게열람할수 있는철도시스템유지보수효율화를위한검사장치에관한것이다. 상기한목적을달성하기위한본 발명은레이저를생성하는레이저생성부와, 상기레이저생성부에서생성된레이저를원하는위치로조사하기위한레이저거울스캐너와, 상기레이저를조사받아발생하는초음파를감시하는센서와, 상기센서에서감지한신호를영상으로형성하는영상처리부가구비되는본체로이루어지는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于铁路车辆的有效维护的测试装置，更具体地，涉及一种用于铁路车辆的有效维护的测试装置，其在铁路车辆被实际驾驶的同时准确地判断转向架的状态即使铁路车辆没有停在单独的地方，或者铁路车辆的每一部分都没有拆卸，并且使得人们能够在必要时容易地检查每个转向架的状态。为了实现这一点，本发明包括：产生激光的激光产生部; 激光镜扫描器，其在激光产生部分中产生的激光照射期望位置; 感测激光照射时产生的超声信号的传感器; 以及具有用于将在传感器中感测的信号处理成图像的图像处理部的主体。

66. 发明公开

KR1020160006171A 페이퍼 내 자유 섬유 단부를 검출하기 위한 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：用于检测纸张中自由纤维末端的方法和布置
公开(公告)号：KR1020160006171A
公开(公告)日：2016-01-18
申请号：KR1020157030585
申请日：2014-05-09
申请人： 케미라 오와이제이
发明人： 라우니오,유카-페카 , 마키넨,미코 , 스쿠그,헨리 , 캠프벨,클레이턴
IPC分类号： G01N21/86 , G01N21/89 , G01N21/47 , G01N33/34 , G06T7/00 , G06T7/40 , G01N21/892
CPC分类号： G01N33/346 , G01B11/303 , G01N21/4738 , G01N21/86 , G01N21/8914 , G01N2021/8663 , G01N2021/8917 , G01N2021/8924 , G06T7/0004 , G06T7/41 , G06T2207/30124
摘要： 발명은페이퍼표면내 자유섬유단부들을검출하는방법및 장치에관한것이다. 방법은자유섬유단부들을포함하는타겟샘플(6) 표면을적어도한 광원(1)으로, 한번에한 방향으로적어도두 방향들로부터조명하는단계를포함한다. 이미징디바이스(4)로타겟샘플(6) 표면에대해원시반사이미지가얻어지고, 원시반사이미지의각 이미지화소에대해표면법선이추정된다. 이에따라, 추정된표면법선들로부터재구성된반사이미지를재구성하고, 재구성된반사이미지와대응하는원시반사이미지를비교하고차이이미지를구성하는것이가능하고, 차이들은페이퍼표면내 자유섬유단부들의그림자대상들을나타낸다.

67. 发明公开

KR1020150124481A 편광필름 검사장치 有权
标题翻译：极地膜检测机
公开(公告)号：KR1020150124481A
公开(公告)日：2015-11-06
申请号：KR1020140050497
申请日：2014-04-28
申请人： 주식회사 넥스트아이
发明人： 마연수 , 정종화 , 전영석
IPC分类号： G01N21/892 , G01N21/956 , B65G43/08 , B65H7/06
摘要： 본발명은편광필름검사장치에관한것으로서, 전공정에서의결함발생유무를다양한광학선별시스템을경유하는과정에서확인이가능하도록하여편광필름원단에대한품질판정의정확성및 신뢰성을향상시키기위한것이다. 이를실현하기위한본 발명은, 컨베어벨트(1,2)에의해수평이송이이루어지는편광필름(S)의표면에부착된먼지제거를위해점착롤(11,12)이상부와하부에쌍을이루어구비되어진먼지제거부(10)와; 상기먼지제거가이루어진편광필름(S)의전공정불량마킹또는도번라인의선별을위해제1카메라(21)가상부에구비되고, 편광필름(S)의저면에서투과광을조사하기위한제1조명(22)이하부에구성된정투과검사부(20)와; 상기정투과검사부(20)를통과한편광필름(S)에대해제품의뒤집어짐및 기포유무를검사하기위해제2카메라(31) 및제2조명(32)이각각상부에구성된정반사검사부(30)와; 상기정반사검사부(30)를통과한편광필름(S)의찍힘이나눌림및 이물질을검사를위해특정패턴을조사하는패턴검사부(40)와; 상기패턴검사과정에서불량판정이이루어진편광필름(S)을에어분사노즐(51)의분사압력을이용하여하부의불량적재함(52)으로이동시키는불량선별부(50)와; 상기불량선별부(50)에서선별되지않은양품이별도로양품적재함(62)에적재되어지는적재부(60)를포함하는구성을이루는것을특징으로한다.
摘要翻译：偏振膜检查装置技术领域本发明涉及偏振片检查装置。本发明的目的是通过在通过各种光学分选系统的过程中能够检查在之前的处理中发生的缺陷来提高确定偏光膜质量的准确性和可靠性。为了实现该目的，本发明包括：除尘部分（10），其在上部和下部包括一对粘附辊（11,12），以去除附着在偏振膜（S）的表面上的灰尘，其由传送带（1,2）水平传送; 前部传输检查部件（20）在上部包括第一相机（21），以排除先前的处理中的不良标记或从其中除去的灰尘的偏振膜（S）的线，并且具有第一光（22），其配置在下部，以从所述偏振膜（S）的底面辐射透射光; 具有第二照相机（31）和第二光（32）的镜面反射检查部件（30），其配置在上部以检查产品的周转量和相对于已经经过的偏振膜（S）的气泡产生前进传动检查部件（20）; 用于检查特定图案以检查经过镜面反射检查部件（30）的偏振膜（S）的压印或异物的图案检查部分（40）; 用于将在图案检查过程中被确定为有缺陷的偏振膜（S）移动到使用空气的喷射压力的下部的缺陷产品的货箱（52）的缺陷分类部件（50）喷嘴（51）; 以及装载部分（60），其中未分类在缺陷分类部分（50）中的好产品分别装载在用于良品（62）的货箱中。

68. 发明公开

KR1020140072130A 프리프레그의 제조 방법 有权
标题翻译：预浸料的制备方法
公开(公告)号：KR1020140072130A
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：KR1020147011153
申请日：2012-08-28
申请人： 도레이 카부시키가이샤
发明人： 미나미다,다이키 , 가와세,고이치 , 구라마타,오사무 , 모리,다카시 , 오에,게이타
IPC分类号： G01N21/892 , C08J5/24 , B29C70/50 , B32B27/04 , B32B17/04 , B29B11/16 , B29B15/10
CPC分类号： B32B41/00 , B29C70/506 , B29C70/54 , B32B7/06 , B32B29/02 , B32B2041/04 , B32B2250/40 , B32B2255/12 , B32B2255/26 , B32B2262/106 , B32B2305/076 , B32B2305/08 , B32B2305/22 , B32B2307/738 , B32B2307/748 , B32B2313/04 , B32B2363/00 , B32B2377/00 , C08J5/24 , G01N21/8422 , G01N21/88 , G01N21/8806 , G01N21/89 , G01N21/8914 , G01N21/892 , G01N21/8921 , G01N21/898 , G01N21/94 , G01N2021/8472 , G01N2021/8841 , G01N2021/8854 , G01N2021/8861 , G01N2021/8874 , G01N2021/888 , G01N2021/8908 , G01N2021/8925
摘要： 본 발명은 탄소 섬유 다발과 그것에 함침된 수지를 포함하는 프리프레그의 제조 방법에 있어서, 이형지와 상기 이형지에 탄소 섬유 다발에 함침되는 수지가 도포되어 형성된 수지 필름을 포함하는 수지 시트에 있어서의 상기 수지 필름의 표면을 광학 장치에 의해 검사함으로써, 제조되는 프리프레그의 결함 원인이 되는 수지 필름의 표면 결함을 검출하고 검출된 결함의 종류를 판정하는 수지 시트 검사 공정, 또는 상기 탄소 섬유 다발에 상기 수지 필름을 형성하고 있는 수지가 함침되어 형성된 프리프레그 시트의 이형지를 박리한 후의 프리프레그의 표면을 광학 장치에 의해 검사함으로써, 프리프레그의 표면 결함을 검출하고 검출된 결함의 종류를 판정하는 프리프레그 시트 검사 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 프리프레그의 제조 방법에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造包括具有它的浸渍树脂的碳纤维束预浸料坯的方法，在包括剥离片和由树脂形成的树脂膜的树脂片的树脂涂覆浸渍到在离型纸上的碳纤维束树脂片材检查步骤，通过光学装置检查膜的表面，以检测作为所制备的预浸料坯中缺陷原因的树脂膜的表面缺陷并判断检测到的缺陷的类型，剥离浸渍了构成预浸片材的树脂的预浸片材的剥离纸后的预浸料坯的表面用光学装置进行检查，确认预浸体的表面缺陷，判断检测出的缺陷的种类还有一种生产预浸料的方法 A.

69. 发明授权

KR101378693B1 플라즈마 처리 장치 및 광학 모니터 장치 有权
标题翻译：等离子体处理装置和光学监测装置
公开(公告)号：KR101378693B1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：KR1020137006702
申请日：2011-08-24
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 노자와도시히사 , 센다다카히로 , 니시모토신야 , 야마가미무네타카 , 모야마가즈키
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/66 , G01N21/892
CPC分类号： G01N21/55 , H01J37/32192 , H01J37/32972 , H01L21/31116 , H01L22/12 , H01L22/26 , H01L29/6659 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： [과제] 평판 슬롯 안테나의 전자파 방사 특성의 균일성에 영향을 미치지 않고서 파장 영역이 넓은 비코히어런트의 모니터광을 이용하여, 처리 용기 내의 피처리 기판의 표면에 대한 광학적인 모니터링을 고정밀도로 행한다.
[해결수단] 이 마이크로파 플라즈마 에칭 장치에 있어서의 광학 모니터 장치(100)는, 서셉터(12) 상에 배치되는 반도체 웨이퍼(W)의 엣지보다도 반경 방향 내측에 있고, 또한 동축관(66)보다도 반경 방향 외측의 위치이며, 커버 플레이트(72) 위에 배치되는 모니터 헤드(102)와, 이 모니터 헤드(102)로부터 수직 아래쪽으로 커버 플레이트(72), 유전체판(56), 슬롯판(54) 및 유전체창(52)을 종단하여 형성되는 모니터링용의 광 도파로(104)와, 광 파이버(106)를 통해 모니터 헤드(102)와 광학적으로 결합되는 모니터 본체(108)를 갖고 있다.

70. 发明授权

KR101262074B1 연속주조장치의 주편 오실레이션 마크 분석 시스템 有权
标题翻译：连续铸造机械SLAB振动标记分析系统
公开(公告)号：KR101262074B1
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：KR1020110141041
申请日：2011-12-23
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 고은이
IPC分类号： G01B11/22 , B22D11/16 , G01N21/892
摘要： PURPOSE: A slab oscillation mark analysis system of a continuous casting system is provided to monitor an oscillation mark and operation data on a real-time basis in a continuous casting process. CONSTITUTION: A slab oscillation mark analysis system comprises an oscillation mark detecting unit(110), an operation data generating unit(120), a data matching unit(130), and a real-time monitoring unit(140). The oscillation mark detecting unit measures the depth of an oscillation mark on a surface of a slab manufactured in a continuous casting system, thereby generating a depth profile according to time. The operation data generating unit receives values of factors, which cause changes in the depth of the oscillation mark, from the continuous casting system and generates factor profiles according to time per each factor. The data matching unit matches the depth profile and the factor profiles to correspond to an identical time. The real-time monitoring unit monitors the existence of abnormal movement, in which the value of the depth profile is over a threshold value, on a real-time basis and detects the factor profile, which is over the preset threshold value, among the factor profiles when abnormal movement occurs. [Reference numerals] (100) Continuous casting device; (120) Operation data generating unit; (130) Data matching unit; (140) Real-time monitoring unit; (150) Data output unit; (AA,BB) Depth profile; (CC) Factor profile 1; (DD) Factor profile 2; (EE) Factor profile N
摘要翻译：目的：提供连续铸造系统的板振荡标记分析系统，用于在连续铸造过程中实时监测振动标记和操作数据。构成：板振荡标记分析系统包括振荡标记检测单元（110），操作数据生成单元（120），数据匹配单元（130）和实时监视单元（140）。振动标记检测单元测量在连续铸造系统中制造的板坯的表面上的振动标记的深度，从而根据时间生成深度轮廓。操作数据生成单元从连续铸造系统接收导致振动标记的深度变化的因素的值，并根据每个因子的时间生成因子轮廓。数据匹配单元与深度轮廓和因子轮廓匹配以对应于相同的时间。实时监控单元实时监控深度分布的值超过阈值的异常运动的存在，并检测超过预设阈值的因子分布在因子异常运动发生时的情况。（附图标记）（100）连铸装置; （120）操作数据生成单元; （130）数据匹配单元; （140）实时监控单元; （150）数据输出单元; （AA，BB）深度剖面; （CC）因子轮廓1; （DD）因子轮廓2; （EE）因子分布N

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