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61. 发明公开

KR1020060050572A 시료의 광흡수특성을 측정하기 위한 방법 및 장치 无效
标题翻译：用于测量样品的光学吸收特性的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060050572A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050077380
申请日：2005-08-23
申请人： 시스템 인스트루먼츠 컴퍼니 리미티드
发明人： 타카하시히로미
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： G01N21/552 , G01N2201/066 , G01N2201/08 , G01N21/314
摘要： The device for measuring an optical absorption characteristic of a sample according to the present invention comprising a light source, a optical wave-guide (1) having light input surface(s) (2a) and light output surface(s) (2b) that are opposite to each other, and a light reflecting surface (3) on which a sample (4) to be measured is disposed, through which the light passes and is reflected by a total reflection on the sample (4), one or more light transmitting means arranged between the light output surface (2b) of the optical wave-guide (1) and the light input surface (2a) of the optical wave-guide (1) so that the light is again entered into the optical wave-guide (1), and a processing device which receives the light re-exited from the optical wave-guide (1) through the output surface (2b) and detects the optical absorption characteristics of the sample (4) on the basis of the light received, whereby the light which passes through the optical wave-guide (1) is conducted to the optical wave-guide (1) again, the light is again entered the optical wave-guide (1), and the light is again reflected on the sample.

62. 发明公开

KR1020050067894A 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법 有权
标题翻译：用于分析溶液组分的装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020050067894A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098927
申请日：2003-12-29
申请人： 전자부품연구원
发明人： 박광범 , 박준식 , 신규식 , 박효덕
IPC分类号： G01N21/01
CPC分类号： B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/0059 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2300/1827 , G01N2201/08
摘要： 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.

63. 发明公开

KR1020050042470A 금속재료 표면코팅 성질의 인라인 측정 프로세스와 측정장치 无效
标题翻译：用于测量冶金产品表面涂层特性的在线工艺和装置
公开(公告)号：KR1020050042470A
公开(公告)日：2005-05-09
申请号：KR1020057001521
申请日：2003-07-29
申请人： 아르셀러미탈 프랑스
发明人： 크라우스,피에르-쟝
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/89 , G01N33/20 , G01N21/47
CPC分类号： G01N21/474 , G01N21/359 , G01N21/55 , G01N21/8901 , G01N33/20 , G01N2021/4709 , G01N2021/4735 , G01N2021/4742 , G01N2201/0612 , G01N2201/08
摘要： In order to measure the characteristics of the surface coating (1) of a moving metal strip such like an alliation degree of a coating containing zinc and iron, a product is exposed to the radiation (23) emitted by a radiation source (24) with a specified wavelength. The radiation is orthogonally oriented with respect to the product surface and the energy reflected therefrom is measured in an orthogonal direction with respect to said surface in such a way that reflectivity variations resulting from morphological characteristics of the surface are excluded. Said operations are carried out with the aid of commercial optical fibres whose ends (21, 31) are predeprived of the routine focusing optics thereof in such a way that they are moved as close as possible to each other and arranged in parallel position to each other.
摘要翻译：为了测量移动的金属条的表面涂层（1）的特性，例如含有锌和铁的涂层的分解度，产物暴露于由辐射源（24）发射的辐射（23），其具有指定波长。辐射相对于产品表面正交定向，并且以相对于所述表面的正交方向测量从其反射的能量，从而排除由表面的形态特征引起的反射率变化。所述操作是借助于商业光纤进行的，其商业光纤的末端（21,31）被预先吸收其常规聚焦光学元件，使得它们彼此相互靠近并彼此平行地布置。

64. 发明授权

KR101830850B1 검사 장치 및 방법, 리소그래피 장치, 리소그래피 처리 셀 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：检查装置和方法，一种光刻设备，一种制造平版印刷处理单元和装置的方法
公开(公告)号：KR101830850B1
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：KR1020167002988
申请日：2014-06-13
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 퀸타닐라,리차드
IPC分类号： G03F7/20 , G01N21/956
CPC分类号： G03F7/70625 , G01N21/95623 , G01N2201/061 , G01N2201/08 , G01N2201/12 , G03F7/70633
摘要： 본발명은웨이퍼의격자와같은기판(W)의타겟(30)의특성을결정한다. 검사장치는높은개구수대물렌즈(L3)의퓨필평면에 2 이상의조명빔들(716, 716', 716'', 716''')을갖는조명소스(702, 710)를갖는다. 기판및 타겟은기판의평면에대하여상이한입사각으로부터대물렌즈를통해조명된다. 4 개의조명빔들의경우, 쿼드웨지광학디바이스(QW)가기판으로부터산란된방사선의회절차수들을별개로전향하기위해사용되며, 2 이상의조명빔들로부터회절차수들을분리시킨다. 예를들어, 4 개의회절차수들이 4 개의입사방향에대해분리된다. 다중모드섬유(MF)의캡처후, 파장의함수로서별개로전향된 0차회절차수들의세기를측정하기위해분광계들(S1 내지 S4)이사용된다. 이후, 이는타겟의특성을결정하는데 사용될수 있다.
摘要翻译：本发明确定在基板（W），目标（30）的特性，例如在晶片的一个网格。 DA值具有在物镜（L3）的光瞳平面中的至少两个照明光束的高数值孔径（716，716“ 716' ”，716' ‘’）的照明源具有（702，710）。所述基板和所述目标通过物镜从入射的不同的角度相对于该基板的平面照明。在四个照明束的情况下，四楔形光学器件（QW）用于转发数从顶板国会过程分开的散射辐射的，所述衍射级的从两个或两个以上的照明光束的分离。例如，四名的程序是分开的四个入射方向。所述多模光纤（MF）的捕获之后，它对于光谱仪来测量的零数的强度后过程前进分别作为波长（S1至S4）导演的功能。然后，它可以用于确定目标的特征。

65. 发明公开

KR1020170139435A 광학 측정 장치 및 광학 측정 방법 审中-实审
标题翻译：光学测量仪器和光学测量方法
公开(公告)号：KR1020170139435A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020167010403
申请日：2015-04-24
申请人： 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤
发明人： 미즈구치츠토무
IPC分类号： G01N21/27 , G01N21/25 , G01N21/84 , G01N33/00 , G01N21/55
CPC分类号： G01N21/27 , G01N21/255 , G01N21/8422 , G01N33/00 , G01N2021/8411 , G01N2033/0096 , G01N2201/0826 , G01N2201/0833 , G01N2021/558 , G01N2201/08
摘要： 광학측정장치의제어부는, 회전체의회전속도가규정값이되도록제어된상태에서, 광원에서발생시킨일정강도의광을, 회전체의회전에수반하여샘플이통과하는영역인조사영역에조사함과함께, 그조사한광의반사광또는투과광을제2 검출부에서수광함으로써출력되는강도의시간적변화에기초하여제1 타이밍정보를취득한다. 제어부는, 회전체의회전속도가규정값이되도록제어된상태에서, 제1 타이밍정보에따라서광원에서주기적으로발생시킨펄스형의광을조사영역에조사함과함께, 제1 타이밍정보에따라서제1 검출부의측정을주기적으로유효화함으로써출력되는결과에기초하여제2 타이밍정보를취득한다.
摘要翻译：光学测量装置的控制单元，还处于受控状态，从而使指定的值，在所述样品的辐射区的区域中的旋转体国会引起的光源恒定强度的光照射，沿着通过该传递的转子的整个转速并且，基于通过接收第二检测单元的照射光的反射或透射光而输出的强度的时间变化来获取第一时序信息。所述控制单元，在受控状态下，转子，使得所述指定值的整个旋转速度时，先用也照射该脉冲式根据在辐射区域中的定时信息在光源周期性地产生的光，根据该第一定时信息，该 1检测单元，并基于输出结果获取第二定时信息。

66. 发明公开

KR1020170088330A 분광 측정 장치 및 분광 측정 방법 审中-实审
标题翻译：光谱测量装置和光谱测量方法
公开(公告)号：KR1020170088330A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：KR1020177007635
申请日：2015-11-19
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 스즈키겐고 , 이구치가즈야
IPC分类号： G01N21/25 , G01N21/64
CPC分类号： G01N21/645 , G01J3/4406 , G01N21/636 , G01N2021/6417 , G01N2021/6469 , G01N2021/6471 , G01N2021/6484 , G01N2201/065 , G01N2201/08
摘要： 분광측정장치(1)는광원(10), 적분기(20), 분광검출기(40) 및해석부(50)를구비한다. 적분기(20)는측정대상물이배치되는내부공간(21)과, 광을내부공간(21)에입력하는광 입력부(22)와, 내부공간(21)으로부터광을출력하는광 출력부(23)와, 측정대상물을장착하는시료장착부(24)와, 필터부를장착하는필터장착부(25)를갖는다. 필터부는여기광에대한감쇠율이업 컨버전광에대한감쇠율보다큰 투과스펙트럼을가지며, 광출력부(23)로부터출력되는광을감쇠시킨다. 해석부(50)는분광검출기(40)에의해취득된분광스펙트럼데이터및 투과스펙트럼데이터에기초하여측정대상물의발광효율을해석한다. 이에따라, 업컨버전광 발생효율을용이하게측정할수 있는분광측정장치및 분광측정방법이실현된다.
摘要翻译：分光测定装置1具备光源10，积分器20，分光检测器40以及分析部50。积分器20具有：配置有测定对象物的内部空间21;用于向内部空间21输入光的光输入部22;用于从内部空间21输出光的光输出部23; 用于安装测量对象的样本安装部24以及用于安装过滤部的过滤器安装部25。滤波器部具有透过光谱，该透过光谱对激发光的衰减率比对上变换光的衰减率大，并且使从光输出部23输出的光衰减。分析单元50基于由光谱检测器40获取的光谱数据和透射光谱数据来分析测量对象的发光效率。因此，实现了能够容易地测量上转换光生成的效率的分光测量装置和分光测量方法。

67. 发明公开

KR1020170055979A 샘플을 수용하기 위한 섬유 코어의 중심을 따르는 중공 채널을 갖는 광 섬유 审中-实审
标题翻译：一种光导纤维，沿着纤维芯的中心具有用于接收样品的中空通道
公开(公告)号：KR1020170055979A
公开(公告)日：2017-05-22
申请号：KR1020177009401
申请日：2015-09-08
申请人： 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지
发明人： 베이드리히스테판 , 슈미트클레멘스 , 베르너외르크 , 슈미트마르쿠스 , 코벨케옌스
IPC分类号： G01N21/03 , G02B6/028
CPC分类号： G01N21/05 , G01N21/0303 , G01N21/33 , G01N21/35 , G01N2021/0378 , G01N2201/08
摘要： 본발명은입자검출장치에서사용하기위해테스트샘플을수용하기위한공동을갖는측정셀에관련된다. 상기측정셀은광 빔을안내하는광학적도파관으로서구성되며, 그도파관은굴절계수(n)를갖는코어를갖고, 코어는상기도파관의길이방향축을따라연장하며, 길이방향축에수직인단면에서 80 μm미만의단면적(A)을갖고 n보다더 작은굴절계수를갖는클래딩에의해둘러싸이며, 상기공동은채널을형성하며, 상기채널은길이방향축을따라연장하며, 상기코어의내부에형성되고상기코어와접촉되고 0.2 μm미만의개구부면적(A)을가지는적어도하나의개방단부를갖는다는것이제안된다.
摘要翻译：测量单元技术领域本发明涉及一种测量单元，该测量单元具有用于接收用于粒子检测装置的测试样本的腔。所述测量单元被配置为用于引导光束的光波导，所述波导具有折射率（n）的纤芯，所述纤芯沿着所述波导的纵向轴线延伸，由具有截面积的包层所包围的（a）的小于具有小于n较小折射，在信道，其中所述信道沿纵向轴线延伸，形成在芯，其中所述芯和所述的内部形成空腔并且具有至少一个开口面积（A）小于0.2μm的开口端。

68. 发明公开

KR1020170039168A 비정상적 성장하는 표본 또는 조직의 유형 또는 특성을 분석하는 라만 분광 시스템, 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于分析异常生长的标本或组织的类型或特征的拉曼光谱系统，设备和方法
公开(公告)号：KR1020170039168A
公开(公告)日：2017-04-10
申请号：KR1020177002888
申请日：2015-07-02
申请人： 싱가포르국립대학교
发明人： 후앙,지웨이
IPC分类号： A61B5/00 , G01J3/44 , G01N21/27 , G01N21/65 , A61B1/018
CPC分类号： G01N21/65 , A61B1/018 , A61B5/0075 , A61B5/0084 , A61B2560/0223 , G01J3/0218 , G01J3/44 , G01J2003/123 , G01N21/274 , G01N2201/0612 , G01N2201/08 , G01N2201/12 , G01N2201/129
摘要： 라만스펙트럼을사용하여비정상종양(abnormal growths)과같은샘플또는조직의유형및/또는성질을특성화, 식별, 및/또는진단하는단계는, FP 및 HW 파장영역과같이, 두개의구분되는파장영역의라만스펙트럼내에있는, 구분가능한 스펙트럼서브구간들을분석하여, 하나또는두 개의파장영역내의하나이상의기준지표와의매칭를확인하는단계; 및상기매칭에기초하여, 상기샘플또는조직의유형및/또는성질을특성화, 식별또는진단하는단계;를구비한다. 상기 FP 및 HW 영역의라만스펙트럼은단일회절격자를사용하여동시에검출되거나획득될수 있다.
摘要翻译：样品的拉曼步骤或表征，识别和/或诊断的类型和/或组织的性质，例如通过使用频谱异常肿瘤（异常生长），作为FP和HW波长范围内，所述两个不同的波长范围的分析拉曼光谱内的可区分的光谱子区间以确认与一个或两个波长区域中的一个或多个参考指示物的匹配; 并基于匹配来表征，鉴定或诊断样本或组织的类型和/或性质。使用单个衍射光栅可以同时检测或获得FP和HW区域的拉曼光谱。

69. 发明公开

KR1020170023176A 유동 세포 계측 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：流式细胞仪系统和方法
公开(公告)号：KR1020170023176A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：KR1020177002736
申请日：2015-07-01
申请人： 옥트로릭스 비브이
发明人： 슈레더프레드릭 , 호크만마르셀 , 데커로널드 , 호세이니세이드나세르
IPC分类号： G01N15/14 , G01N21/05 , G01N21/64 , G01N21/03
CPC分类号： G01N15/1484 , B01L2300/0654 , G01N15/1425 , G01N15/1436 , G01N15/1459 , G01N21/05 , G01N33/483 , G01N2015/0065 , G01N2015/145 , G01N2015/1454 , G01N2021/0346 , G01N2021/4742 , G01N2021/6484 , G01N2201/08 , G01S17/88
摘要： 기판의두께를통해정의된유로를구비한유동세포계측시스템이개시된다. 유로를통해흐르는유체는제 1평면의유로주위에배치된제 1 다수의표면도파관에의해조사되는반면에제 2 평면의유로주위에배치된제 2 다수의표면도파관은유체와상호작용후 광을수신한다. 유체에제공된조사패턴은상기제 1 다수의표면도파관의광의위상을제어함으로써통제된다. 결과적으로, 유체는균일하며낮은변동계수를가진광으로조사되므로, 셀카운트, DNA 내용등과같은유체의특성을명확히정량화하는능력을향상시킬수 있다.
摘要翻译：公开了一种具有通过衬底的厚度限定的流动通道的流式细胞仪系统。流过流动通道的流体由在第一平面中围绕流动通道布置的第一多个表面波导照射，而在第二平面中围绕流动通道布置的第二多个表面波导在其与流体。通过控制第一多个表面波导中的光的相位来控制提供给流体的照明图案。结果，流体被均匀的光照射并且具有低的变异系数，提高了区分和量化流体特性的能力，例如细胞数量，DNA含量等。

70. 发明公开

KR1020160120336A 인라인형 농도 계측 장치 审中-实审
标题翻译：在线浓度测量装置
公开(公告)号：KR1020160120336A
公开(公告)日：2016-10-17
申请号：KR1020167025317
申请日：2015-07-23
申请人： 토쿠시마 대학 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 데구치요시히로 , 나가세마사아키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N21/27 , G01N21/3504
CPC分类号： G01N21/27 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N2021/151 , G01N2201/08 , G01N21/03 , G01N21/3504
摘要： [과제] 광입사부부근의가스체류부를축소또는없애서, 유기금속재료의광 입사부로의퇴적을감소시키는것이가능한인라인형농도계측장치를제공한다. [해결수단] 가스유로(5)가형성된측정셀 본체(15)와, 측정셀 본체(15)에접속되어서창재(4)을구비하는광 입사부(3)와, 측정셀 본체(15)에접속되어서창재(6)를구비하는수광부(8)를구비하고, 가스유로(5)는광 입사부(3)의창재(4)와수광부(8)의창재(6) 사이에직선상으로형성되어서광로가되는광로용가스유로부(5a)와, 측정셀 본체(15)에형성된가스유입구(5B1)로부터광로용가스유로부(5a)에연통되는제 1 연통부(5B)와, 측정셀 본체(15)에형성된가스유출구(5C)로부터광로용가스유로부(5a)에연통되는제 2 연통부(5C)를구비하고, 제 1 연통부(5B)가가스유입구(5B1)로부터광 입사부(3)의창재(4)를향해서비스듬히연장되어있다.

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