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热词
    • 2. 发明公开
    • 테이퍼진 영역을 갖는 표면 도파관 및 성형 방법
    • 具有切割区域的表面波导和形成方法
    • KR1020150042687A
    • 2015-04-21
    • KR1020140062176
    • 2014-05-23
    • 옥트로릭스 비브이
    • 레네게리트하이데만아르네라인세
    • G02B6/10
    • G02B6/305G02B6/14
    • 얇은코어영역, 두꺼운코어영역, 및그들사이의테이퍼진두께의과도영역을갖는도파관을성형하기위한방법이개시된다. 그방법은하부피복상의제 1 물질의하부코어층을성형하는단계, 제 1 코어층상의제 2 물질의얇은중심코어층을성형하는단계, 중심코어층상의제 1 물질의상부코어층을성형하는단계, 및그것이얇은코어영역으로부터제거되고그 두께가증착된두께로부터과도영역을가로질러소멸까지점진적으로변하는바와같이부식액에서상부코어층을에칭하는단계를포함하고, 중심코어층은부식액에대한노출로부터하부코어층을보호한다.
    • 公开了一种形成具有薄壁区域,厚芯区域和它们之间的锥形厚度的过渡区域的波导的方法。 该方法包括在下包层上形成第一材料的下芯层,在第一芯层上形成第二材料的薄中心芯层,在中心芯层上形成第一材料的上芯层,以及蚀刻 蚀刻剂中的上芯层使得其从薄芯区域移除,并且其厚度从其沉积厚度单调地从过渡区域变化到消光,其中中心芯层保护下芯层免受暴露于 腐蚀剂。
    • 4. 发明公开
    • 비선형 테이퍼를 갖는 층 및 제조의 방법
    • 具有非线性贴片的层和制造方法
    • KR1020150126763A
    • 2015-11-13
    • KR1020140085068
    • 2014-07-08
    • 옥트로릭스 비브이
    • 레네게리트하이데만마르셀호크만
    • G02B6/13
    • G02B6/1228G02B6/136G02B2006/12173G02B2006/12176G02B2006/12195
    • 제 1 물질의제 1 층에서비선형두께프로파일을형성하기위한방법이개시된다. 그방법은제 1 층상에제 2 물질의가속기층을형성하는단계및 가속기층상에배치된마스크층을형성하는단계를포함하고, 여기서마스크층은가속기층이제 1 영역에서제 1 부식액에제 1 층을노출시키는것을가능하게하고, 제 1 축선에따른각각의지점에대한노출시간은제 1 축선상의제 1 지점으로부터의거리의함수로서비선형적으로변한다. 제 1 층이제 1 영역에서제 1 에치에노출되는시간은비선형적이기때문에, 제 1 영역에서제 1 층의두께는제 1 축선을따라비선형적으로변한다.
    • 公开了一种在第一材料的第一层中形成非线性厚度轮廓的方法。 该方法包括以下步骤:在第一层上形成第二材料的加速剂层; 以及形成设置在所述加速器层上的掩模层。 掩模层使得加速器层能够将第一层暴露于第一区域中的第一蚀刻剂,其中沿着第一轴线的每个点的曝光时间作为距离第一轴上的第一点的距离的函数非线性地变化。 随着第一层暴露于第一区域中的第一蚀刻的时间是非线性的,第一区域中的第一层的厚度沿着第一轴线非线性地变化。