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61. 发明公开

KR1020060006713A 권취드럼 교환장치 有权
标题翻译：卷筒更换装置
公开(公告)号：KR1020060006713A
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：KR1020040099241
申请日：2004-11-30
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 스쿠크피터 , 벤크칼-하인리히 , 클라우스리차드
IPC分类号： B65H19/30 , B65H19/00
CPC分类号： B65H19/126 , Y10T156/17
摘要： 본 발명은 웨브형태의 재료를 위한 코팅장치의 권취실 또는 권출실에서 권취드럼을 교환하는 장치에 관한 것이다. 이러한 교환장치는 코팅실의 양쪽에, 권취드럼의 역할을 하는 장치 및 권출드럼의 역할을 하는 다른 장치를 구비한다. 상기 교환장치는 권취드럼의 단부 베어링을 수용하는 2개의 트랙을 포함하고, 상기 트랙은 2개의 부분을 가지며, 하나의 부분은 고정식이고 다른 하나의 부분은 피벗식이다. 상기 교환장치는 도어를 구비한 하우징 내에 위치된다. 권취드럼이 교체되어야 하는 경우, 도어가 개방되고 트랙의 피벗 가능한 부분이 외측으로 접혀서 하우징으로부터 돌출되도록 한다. 돌출된 트랙 부분에는 권취드럼이 위치되고 내측으로 슬라이드되어 고정된다.
코팅장치, 권취드럼, 권출드럼, 교환장치, 하우징, 피벗, 트랙, 도어
摘要翻译：本发明涉及用于幅材形状材料的涂布装置的卷绕室或用于在卷绕室中更换卷筒的装置。这种交换设备在涂布室的两侧具有用作卷绕鼓的装置和用作卷绕鼓的另一装置。交换装置包括两个用于接收卷绕鼓的端部轴承的轨道，轨道具有两个部分，一个部分是固定的而另一个部分是可枢转的。交换设备位于带门的外壳中。当需要更换卷筒时，门打开并且轨道的可枢转部分向外折叠以从壳体突出。卷筒位于突出的轨道部分上，并被固定以向内滑动。

62. 发明公开

KR1020050114584A 코팅의 투과율을 측정하는 측정 장치 失效
标题翻译：测量涂层传播程度的测量装置
公开(公告)号：KR1020050114584A
公开(公告)日：2005-12-06
申请号：KR1020040068876
申请日：2004-08-31
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 쉬뢰더위겐
IPC分类号： G01M11/02 , G01N21/59
CPC分类号： G01N21/55 , C23C14/545 , G01N21/59 , G01N21/8422 , G01N21/958
摘要： 본 발명은 유리 플레이트 상의 코팅의 투과율을 측정하는 측정 장치에 관한 것이다. 상기 유리 플레이트는 지지부 위에 걸쳐서 이동된다. 상기 지지부는 광 빔이 상기 유리 플레이트를 통과하여 광 수신기에 충돌할 수 있게 하는 틈새를 구비한다. 그러므로, 코팅의 투과율을 결정할 수 있다. 또한, 상기 코팅의 반사 및 전기적 저항을 측정 장치로 측정할 수 있다.

63. 发明公开

KR1020050103441A 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께조정 방법 및 장치 失效
标题翻译：方法和布置调整涂料在其纵向方向上移动的材料的层厚度
公开(公告)号：KR1020050103441A
公开(公告)日：2005-10-31
申请号：KR1020040045054
申请日：2004-06-17
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 로츠한스-게오르기 , 사우에르페테르 , 스타이니게르게랄드 , 호프만게르드 , 루드비히라이네르
IPC分类号： G01B11/06 , D06H3/00
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/547 , G01B11/0625 , G01B11/0683
摘要： 본 발명은 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께 조정 방법 및 장치에 관한 것이다. 상기 층의 두께는 상기 편물의 폭에 걸쳐 여러 위치에서 측정되며 상기 층의 두께가 상기 편물의 폭에 걸쳐 일정하게 되도록 코팅 설비를 조정한다. 상기 두께 조정은 코팅 재료를 증발시키는 전자빔의 세기 변동에 의해 얻어질 수 있다. 그렇지만 상기 편물의 폭에 걸쳐 배치된 여러 증발 도가니를 개별적으로 가열하여 상기 편물의 폭에 걸쳐 코팅이 일정하게 되도록 하는 것도 가능하다. 투과성 측정 기구를 부가적으로 이용하면, 상기 편물의 폭에 걸쳐 코팅이 일정하게 되도록 상기 코팅 재료의 조성을 조정할 수 있다.

64. 发明公开

KR1020050095520A 반응성 스퍼터링용 장치 失效
标题翻译：反应溅射装置
公开(公告)号：KR1020050095520A
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：KR1020040072102
申请日：2004-09-09
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 프리츠토마스 , 케메레르귄터
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 음극에 플라즈마용 방전 전압이 인가되고, 작동 가스 및 반응성 가스가 스퍼터 챔버 내에 도입되는 반응성 스퍼터링용 장치에 관한 것이다. 스퍼터 챔버 내의 전체 가스 유량은 밸브의 도움을 받아 제어되고, 두 가지 가스의 분압(partial pressure)의 비는 일정하게 유지된다.

65. 发明公开

KR1020050092724A 진공 증착 장치 및 증착 필름 제조 방법 有权
标题翻译：真空蒸发沉积装置和蒸发沉积膜生产方法
公开(公告)号：KR1020050092724A
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：KR1020057012013
申请日：2003-12-26
申请人： 도판 인사츠 가부시키가이샤 , 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 사사키노보루 , 스즈키히로시 , 고이즈미후미타케 , 이마이노부히코 , 아라이구니마사 , 고나가이히로유키
IPC分类号： C23C14/56 , C23C16/54
CPC分类号： C23C14/562
摘要： A vacuum deposition apparatus and a vapor-deposited film manufacturing method for manufacturing vapor- deposited film by forming a vapor-deposited layer on the surface of material film. In the vacuum deposition apparatus, a synchronization means (18) sets the outer peripheral velocity v1 of a coating roll (14) and the outer peripheral velocity v2 of a feed-out side guide roll (15) to v1 = v2 so that the vapor-deposited layer on the surface of the vapor- deposited film is not rubbed against the feed-out side guide roll (15). Thus, the possibility of damage to the vapor-deposited layer can be eliminated to provide a sufficient performance to the vapor-posited layer.
摘要翻译：一种真空沉积设备和一种用于通过在材料膜的表面上形成气相沉积层来制造气相沉积膜的气相沉积膜制造方法。在真空沉积装置中，同步装置（18）将涂布辊（14）的外周速度v1和送出侧引导辊（15）的外周速度v2设定为v1 = v2，使得蒸气沉积在蒸镀膜表面上的沉积层不会与送出侧导辊（15）摩擦。因此，可以消除对气相沉积层的损伤的可能性，以向气相层提供足够的性能。

66. 发明公开

KR1020050092334A 슬라이드밸브 失效
标题翻译：滑阀
公开(公告)号：KR1020050092334A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：KR1020040063553
申请日：2004-08-12
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 사우어안드레아스
IPC分类号： F16K3/03 , F16K3/00
CPC分类号： F16K3/207 , F16K3/0281
摘要： 그 내부에서, 특히 개구에 의해 서로 소통되는 2개의 순차적인 모듈이나 챔버를 유체적으로 분리시키기 위한 도금장치용 슬라이드밸브에, 개구에 의해 관통된 하우징의 내부에, 상기 개구를 개방하는 비작동위치와 상기 개구를 완전히 덮는 작동위치사이에서 양방향으로 이동가능하게 설치된 1개 이상의 슬라이드판이 구비되고, 폐쇄상태에서 상기 슬라이드판의 작동위치에서 밀봉작동을 위하여 밀봉수단에 대향하게 상기 슬라이드판 상에 가압하며, 상기 하우징을 관통하는 개구를 감싸는 1개 이상의 폐쇄구동장치가 구비되는데, 본 발명에 따르면, 상기 슬라이드판의 운동에 대하여, 1개 이상의 상기 폐쇄구동장치는 상기 하우징에 고정설치되는 것을 특징으로 한다.

67. 发明公开

KR1020050067176A Ｍ개의 전력 소비체에 동시에 전기 에너지를 공급하는 Ｎ개의 전력 소비체의 전기 에너지용 장비 失效
标题翻译：电子能源消费者的配置，消费者同时提供能源
公开(公告)号：KR1020050067176A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020057006165
申请日：2003-11-10
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 리하트홀게르 , 모르베볼프강
IPC分类号： H02J4/00
CPC分类号： H02J1/10 , Y10T307/391 , Y10T307/461
摘要： The invention relates to an assembly for several consumers (1-15) of electric energy, said consumers (1-15) having either the same electric output or varying electric outputs. Since, as a rule, not all consumers (1-15) need to be supplied simultaneously with electric energy, e.g. if some are not operational as a result of maintenance work, the invention provides a modular energy supply system, which consists of several interconnectable modules (16-35). Each consumer (1-15) can thus be supplied with the power it requires by small units. The consumers are sputter units.
摘要翻译：本发明涉及一种用于几个电能消费者（1-15）的组件，所述消费者（1-15）具有相同的电输出或变化的电输出。由于一般而言，并不是所有的消费者（1-15）都需要与电能同时提供，例如。如果由于维护工作而导致一些不可操作，则本发明提供了一种由几个可互连模块（16-35）组成的模块化能量供应系统。因此，每个消费者（1-15）可以被小单元所需的电力供应。消费者是溅射单元。

68. 发明公开

KR1020030062243A 기판피복장치용 증착보트 失效
标题翻译：用于基材涂布装置的沉积舟
公开(公告)号：KR1020030062243A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：KR1020030000766
申请日：2003-01-07
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 군터피셔 , 군터클렘 , 안드레아스웨이스
IPC分类号： C23C14/22
CPC分类号： C30B23/06 , C23C14/246
摘要： 본 발명은 피복실 안에서 직접 통전에 의하여 가열되는 기판피복장치를 위한 기화토(1)에 관한 것이다. 상기 기화토갑(1)은 기화시킬 금속의 용탕을 가두어두기 위한 공동부(2)와, 상기 기화토갑(1)에 의하여 융해되어 기화될 금속을 와이어(5) 형태로 공급하는 원료금속선을 포함한다. 상기 금속선(5)은 상기 공동부(2)의 바닥면(6) 보다 높게 위치하는 상기 용해섬(3)의 가열표면(4) 위에서 융해된다. 상기 가열표면(4)은 기화토갑(1) 또는 재료의 형상 때문에 상기 공동부(2)의 바닥면(6) 보다 온도가 낮다. 상기 가열표면(4) 위에서 융해된 금속용탕은 상기 공동부(2)로 흘러내리도록 되어 있다.

69. 发明授权

KR100883722B1 가동 안내레일을 구비한 진공이송장치 有权
标题翻译：具有可移动导轨的真空运输装置
公开(公告)号：KR100883722B1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：KR1020070003893
申请日：2007-01-12
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 올리버헤이멜 , 안드레스지츠케 , 디에터하스
IPC分类号： H01L21/68 , B65G49/02
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2249/02
摘要： 본 발명은 진공실, 특히 기판이 정렬될 수 있는 기판캐리어(1,100,200)를갖는 코팅 기계를 통하여 기판들을 이송하기 위한 장치에 관한 것으로, 기판캐리어는 기판캐리어의 적어도 한 측면을 따라 연장되는 적어도 하나의 안내레일(7,107,207)을 가지며, 안내레일은 하나 또는 단 몇 개의 이격된 베어링(6,106,109)들에 의해 이격되게 유지된다.
진공, 이송, 장치, 기판, 캐리어, 안내, 레일, 베어링

70. 发明授权

KR100855654B1 도포기 및 도포기를 작동시키는 방법 有权
标题翻译：涂装机及涂装机操作方法
公开(公告)号：KR100855654B1
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：KR1020060051482
申请日：2006-06-08
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 하이멜올리버
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 스퍼터링에 의해 기판을 도포하기 위한 본 발명의 도포기는, 프로세스 챔버, 및 상기 프로세스 챔버 내에 위치되며 상기 기판을 도포하기 위해 상기 기판의 방향으로 타겟 재료를 스퍼터링할 수 있는 타겟(3, 3')을 포함한다. 상기 도포기는, 상기 타겟을 프리-스퍼터링하기 위해 스퍼터 방향(S)을 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 정렬시키고, 상기 타겟(3, 3')으로부터 재료를 스퍼터링함으로써 상기 기판을 도포하기 위해 상기 스퍼터 방향(S)을 상기 기판으로 향하는 방향으로 정렬시키는 수단을 포함한다. 예를 들면, 상기 음극(2, 2')을 평평한 음극(2)의 길이 방향 축 주위로 90
o 또는 180
o 의 각도로 회전시킴으로써 정렬이 변경될 수 있다. 대응 방법은, 타겟(3, 3')을 도포 챔버 내에 삽입시키는 단계, 상기 도포 챔버를 진공화시키는 단계, 상기 스퍼터 방향(S)을 상기 기판 평면(4)으로부터 멀어지는 방향으로 정렬시키는 단계, 상기 타겟(3, 3')을 프리-스퍼터링하는 단계, 상기 스퍼터 방향(S)을 상기 기판 평면(4)으로 향하는 방향으로 정렬시키는 단계, 및 상기 타겟(3, 3')으로부터 재료를 스퍼터링함으로써 기판을 도포하는 단계를 포함한다.
기판, 도포기, 프로세스 챔버, 타겟, 정렬수단, 음극, 금속 평면, 구동기, 자석 시스템.

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