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    • 52. 发明授权
    • 고밀도 나노패턴 형성방법
    • 用于制备具有高密度的纳米图案的方法
    • KR101358246B1
    • 2014-02-07
    • KR1020120012040
    • 2012-02-06
    • 한국기계연구원
    • 최대근정준호최준혁정주연이지혜이응숙
    • B82B3/00B29C59/02
    • 본 발명은 고밀도 나노패턴 형성방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 고밀도 나노패턴 형성방법은 기판으로부터 돌출되는 복수개의 볼록부를 형성하는 볼록부 형성단계; 상기 볼록부의 양측벽에 증착되어 상호 이격되는 복수개의 나노패턴을 형성하는 나노패턴 형성단계; 상기 나노패턴이 형성되는 기판을 몰드로 하여 상기 나노패턴에 대응되는 함몰패턴을 가지는 임프린팅 스탬프를 제작하는 스탬프 제작단계; 상기 임프린팅 스탬프 상에 형성되는 함몰패턴의 폭을 증가시키는 동시에 이웃하는 함몰패턴 간의 이격거리를 감소시키는 함몰패턴 제어단계;를 포함하되, 상기 함몰패턴 제어단계에서 제작되는 임프린팅 스탬프를 이용하여 상기 볼록부 형성단계 및 상기 나노패턴 형성단계를 재수행함으로써 고밀도의 나노패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.
      이에 의하여, 미세선폭의 나노패턴을 높은 밀도로 형성할 수 있는 고밀도 나노패턴 형성방법이 제공된다.
    • 53. 发明公开
    • 함몰형 금속패턴 형성방법
    • 用于制作嵌入金属图案的方法
    • KR1020130071152A
    • 2013-06-28
    • KR1020110138507
    • 2011-12-20
    • 한국기계연구원
    • 최준혁이응숙정준호최대근이지혜김철현정주연
    • H01B13/00H01L31/04
    • Y02E10/50
    • PURPOSE: A recessed metal pattern forming method is provided to easily make a recessed metal pattern by successively laminating a photopolymer resin layer and a thermoplastic resin layer. CONSTITUTION: A recessed metal pattern forming method is as follows. A thermoplastic resin layer is laminated on a photopolymer resin layer(S120). The thermoplastic resin layer is patterned. A recessed area is formed on the photopolymer resin layer(S130). A metal layer is deposited on the upper side of the thermoplastic resin layer and within the recessed area of the photopolymer resin layer(S140). The metal layer, which is laminated on the thermoplastic resin layer and on the upper side of the thermoplastic resin layer, is removed(S150). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Photopolymer resin layer laminating step; (S111) Application step; (S112) Pre-hardened step; (S120) Thermoplasticity resin layer laminating step; (S130) Complex printing step; (S131) Heating/pressurizing step; (S132) Hardening step; (S140) Metal layer laminating step; (S150) Removing step
    • 目的:提供凹陷金属图案形成方法,通过依次层压光聚合物树脂层和热塑性树脂层来容易地形成凹陷的金属图案。 构成:凹陷金属图案形成方法如下。 在光聚合物树脂层上层压热塑性树脂层(S120)。 图案化热塑性树脂层。 在光聚合物树脂层上形成凹陷区域(S130)。 在热塑性树脂层的上侧和光聚合物树脂层的凹陷区域内沉积金属层(S140)。 除去热塑性树脂层和热塑性树脂层的上侧层叠的金属层(S150)。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S110)光聚合物树脂层层叠工序; (S111)应用步骤; (S112)预硬化工序; (S120)热塑性树脂层层叠工序; (S130)复印机步骤; (S131)加热/加压步骤; (S132)硬化步骤; (S140)金属层层叠工序; (S150)拆卸步骤
    • 57. 发明授权
    • Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
    • Lloyd型干涉光刻系统的真空凿孔机
    • KR100955730B1
    • 2010-05-04
    • KR1020080050598
    • 2008-05-30
    • 한국기계연구원
    • 김기홍이응숙
    • H01L21/687H01L21/027
    • 본 발명은 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척에 관한 것으로, 광을 출력하는 광원과 상기 광을 반사시키는 미러와 기판을 고정하는 진공 척과 상기 미러와 진공 척이 고정되는 포스트 및 각도를 조절하는 회전테이블을 구비하고, 광원으로부터 출력되는 광을 상기 미러에 조사한 후 미러를 통해 반사되는 일부 광과 진공 척에 고정된 기판으로 조사되는 광 사이에 발생하는 간섭 현상을 이용하여 기판에 패턴을 형성시키는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척에 있어서, 상기 진공 척의 후면에 그 일단이 고정되는 다수의 핀, 상기 포스트에 결합 고정되며, 상기 핀의 타단이 관통되도록 다수의 홀이 형성된 가이드 프레임 및 상기 가이드 프레임에 고정 구비되며, 상기 홀을 관통한 상기 핀의 타단이 점 접촉을 이루며 접촉하여 고정되는 다수의 영구자석을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
      진공 척, 리소그라피, 간섭, 미러, 평탄도