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41. 发明公开

KR1020080036913A 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법 失效
标题翻译：沉积薄膜的方法及其沉积方法
公开(公告)号：KR1020080036913A
公开(公告)日：2008-04-29
申请号：KR1020070057996
申请日：2007-06-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이혁재 , 조정훈 , 조세휘 , 양윤식 , 임용규
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/00
摘要： An apparatus and a method for depositing a thin film are provide to obtain a thin film having a uniform thickness by preventing impurities from being formed in a nozzle tube that supplies processing gas. An apparatus for depositing a thin film comprises a chamber(10) having an internal space defined by a substrate holder(40) and an inner wall of the chamber, and a nozzle tube(30). The nozzle tube includes a first end portion(31) fixed to the inner wall of the chamber, a second end portion(32) extending toward the internal space of the chamber, a fluid path(33) extending through the first end portion to the second end portion of the nozzle tube, and at least one slit(34) formed in the second end portion of the nozzle tube to open the fluid path. The nozzle tube includes a long nozzle tube and a short nozzle tube shorter.
摘要翻译：提供一种用于沉积薄膜的设备和方法，以通过防止在提供处理气体的喷嘴管中形成杂质来获得具有均匀厚度的薄膜。一种用于沉积薄膜的设备包括具有由衬底保持器（40）和室的内壁限定的内部空间的腔室（10）和喷嘴管（30）。所述喷嘴管包括固定到所述室的内壁的第一端部（31），朝向所述室的内部空间延伸的第二端部（32），流过所述第一端部的流体路径（33）所述喷嘴管的第二端部和形成在所述喷嘴管的所述第二端部中的至少一个狭缝（34），以打开所述流体路径。喷嘴管包括较长的喷嘴管和较短的喷嘴管。

42. 发明授权

KR100772843B1 웨이퍼 얼라인 장치 및 방법 失效
标题翻译：对准晶片的装置和方法
公开(公告)号：KR100772843B1
公开(公告)日：2007-11-02
申请号：KR1020060013557
申请日：2006-02-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이혁재 , 김상호 , 박휴림 , 배도인 , 서기원 , 우창우
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/681 , G06T7/33 , G06T7/74 , G06T2207/30148 , Y10S414/136
摘要： 본 발명은 웨이퍼 얼라인 장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 로드락 챔버(2)로부터 트랜스퍼 챔버(1)로 이송되는 웨이퍼(W)의 이미지를 트리거 신호의 발생 신호에 의해서 촬영하여 디지털 신호로 변환하고, 디지털 신호로 변환된 이미지 신호와 이미 저장된 마스터 이미지와의 비교 연산에 의해서 웨이퍼(W)의 센터링 얼라인 보정값을 산출하며, 웨이퍼(W)의 센터링 얼라인 보정값에 따라 프로세스 챔버(3)에 공급되는 웨이퍼(W)의 센터링 얼라인이 이송 로봇(10)에 의해서 위치가 보정되면서 직접 프로세스 챔버(3)에 정확히 센터링 얼라인되어 웨이퍼가 로딩되도록 하여 공정 시간이 대폭적으로 단축되도록 한다.

웨이퍼, 센터링 얼라인, 촬영, 이미지 비교
摘要翻译：本发明的实施例提供一种晶片对准装置和一种晶圆对准方法。在一个实施例中，晶片对准装置包括成像单元，其适于将从负载锁定室传送的晶片的图像转移到传送室，并适于将图像转换成数字信号，以及信号处理单元，通过将数字信号与存储在信号处理单元中的主图像进行比较来获得晶片的中心对准校正值。晶片对准装置还包括机器人控制器，其适于从信号处理单元接收中心对准校正值，并且适于根据中心对准校正值来控制传送机器人，以将晶片提供给处理室，使得处理室的中心晶片基本对齐。

43. 发明授权

KR100730363B1 페브리 페롯 레이저 다이오드의 주입 잠김을 이용한 광파장 변환 장치 및 그 방법 失效
标题翻译：光波长转换器装置和使用注射锁定的手工激光二极管的方法
公开(公告)号：KR100730363B1
公开(公告)日：2007-06-19
申请号：KR1020030079380
申请日：2003-11-11
申请人： 학교법인 한국정보통신학원 , 삼성전자주식회사
发明人： 유학 , 이혁재 , 정용덕 , 원용협 , 강민호
IPC分类号： H04B10/00
CPC分类号： H01S5/5036 , H01S5/005 , H01S5/0064 , H01S5/509
摘要： 본 발명은 다중 모드의 페브리 페롯 레이저 다이오드를 이용하여 외부로부터 수신되는 광 신호의 파장을 변환하여 출력하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명에서는, 프로브 광 신호의 편광을 조절하여 TM 편광의 프로브 광 신호로 출력시키며, 외부로부터 수신되는 펌프 광 신호의 편광을 조절하여 TE 편광의 펌프 광 신호로 출력시킨다. 이후, 출력된 각 신호의 편광과 무관하게 프로브 광 신호와 펌프 광 신호를 결합하며, 이중 프로브 광 신호와 펌프 광 신호의 각 모드가 페브리 페롯 레이저 다이오드의 TM(Transverse Magnetic) 및 TE(Transverse Electric) 모드에 맞도록 세부적으로 조절하여 출력한다. 이후, 페브리 페롯 레이저 다이오드는 TE 편광의 펌프 광 신호를 주입 잠김하여 TM 모드에 따른 흡수골(-출력 광신호의 크기가 최저인 지점-)의 위치를 변위시킴으로써, TE 편광의 펌프 광 신호의 파장을 상기 TM 편광의 프로브 광 신호의 파장으로 변환하여 출력한다.
이를 통하여, 넓은 파장 변환 대역을 제공함과 동시에, 반전 및 비반전의 파장 변환을 용이하게 수행할 수 있다.
페브리 페롯 레이저 다이오드, 파장 변환, 흡수골, 주입 잠김, 변위

44. 发明公开

KR1020070059261A 반도체 기판 정렬 장치 无效
标题翻译：用于对准半导体基板的装置
公开(公告)号：KR1020070059261A
公开(公告)日：2007-06-12
申请号：KR1020050117916
申请日：2005-12-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 서기원 , 배도인 , 안영수 , 이혁재 , 우창우
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/6838
摘要： An apparatus for aligning a semiconductor substrate is provided to align a semiconductor substrate while avoiding generation of contaminants by gripping the semiconductor substrate by vacuum absorption. A rotational driving part(110) absorbs the back surface of semiconductor substrates received in a cassette(102) substantially vertically, rotating the semiconductor substrate in the cassette. A light source part irradiates light toward the edges of the semiconductor substrates rotating in the cassette in a direction substantially parallel with the disposed direction of the semiconductor substrates, disposed at one side of the cassette. A sensor part receives the light emitted from the light source part to inspect the align state of the semiconductor substrates, disposed at the other side of the cassette. Based upon the light receiving signal supplied from the sensor part, a control part controls the operation of the rotational driving part. The rotational driving part includes a holder(112) for absorbing the semiconductor substrates by vacuum force, a motor(116) for supplying rotative force to the holder, and a driving axis(114) which connects the holder to the motor to transfer rotative force to the holder.
摘要翻译：提供了一种用于对准半导体衬底的装置以对准半导体衬底，同时通过真空吸收来夹持半导体衬底而避免产生污染物。旋转驱动部（110）基本上垂直地吸收容纳在盒（102）中的半导体基板的背面，使半导体基板旋转到盒中。光源部分沿着与半导体衬底的设置方向基本平行的方向朝向在盒中转动的半导体衬底的边缘照射光，该方向设置在盒的一侧。传感器部分接收从光源部分发射的光，以检查设置在盒的另一侧的半导体衬底的对准状态。基于从传感器部提供的光接收信号，控制部控制旋转驱动部的动作。旋转驱动部包括用于通过真空力吸收半导体衬底的保持器（112），用于向保持器提供转动力的电动机（116）和将保持器连接到电动机以传递转动力的驱动轴（114）给持有人

45. 发明授权

KR100709563B1 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법 失效
标题翻译：晶圆转移装置及其转移方法
公开(公告)号：KR100709563B1
公开(公告)日：2007-04-20
申请号：KR1020050103328
申请日：2005-10-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한규희 , 박노정 , 이혁재 , 박휴림 , 우창우 , 박영민
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은, 복수의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트로부터 인출된 상기 웨이퍼를 소정의 공정을 진행하는 공정챔버로 이송하는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼이송장치는, 상기 웨이퍼카세트에 수용된 상기 웨이퍼를 지지하여 상기 공정챔버로 이송하는 아암을 갖는 웨이퍼이송부와; 상기 웨이퍼를 지지하여 인출하는 아암의 소정 영역을 감지가능하게 마련된 센서와, 상기 센서의 검출신호에 기초하여 상기 아암에 지지된 상기 웨이퍼를 촬상 가능하게 마련된 카메라를 갖는 감지부와; 상기 감지부의 검출신호에 기초하여 산출된 검출위치와 목표위치가 상이한 경우에 상기 웨이퍼의 목표위치를 상기 웨이퍼의 검출위치로 보정하여 상기 웨이퍼가 상기 공정챔버로 이송되도록 상기 웨이퍼이송부를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 웨이퍼의 센터링시간이 비교적 적게 소요될 수 있는 웨이퍼이송장치 및 그 이송방법이 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种晶片从晶片盒壳体中的晶片传递设备中的多个晶片和用于传送到处理腔室进步的预定处理的转移方法拉出，根据本发明的晶片传送装置中，所述晶片传送单元，其具有用于支撑容纳在晶片盒中的晶片并将晶片传送到处理室的臂; 和，并提供给使能支持所述晶片传感器起飞的臂的预定区域的检测，并且检测基于该传感器的检测信号具有照相机提供以使图像拾取支撑在臂部分的晶片; 基于该感测单元的检测信号所检测到的位置和计算出的目标位置通过所述晶片的所述检测到的位置校正在不同情况下，晶片的目标位置的控制部分，用于控制weyipeoyi发送该晶片将被转移到处理室并且其特征在于它了。由此，提供了晶片传送装置及其传送方法，其可以采取相对较小的晶片对中时间。

46. 发明公开

KR1020070021831A 플랫존 얼라이너의 롤러 클리닝 장치 및 이를 갖는 플랫존얼라이너 无效
标题翻译：用于清洁平面区域对准器的滚子和具有其的平坦区域对准器的装置
公开(公告)号：KR1020070021831A
公开(公告)日：2007-02-23
申请号：KR1020050076518
申请日：2005-08-20
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 우창우 , 배도인 , 이상열 , 이혁재 , 김병진 , 현기철 , 김상호 , 서기원
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/304
CPC分类号： B08B7/0028 , H01L21/68
摘要： 웨이퍼의 플랫존을 정렬하기 위한 플랫존 얼라이너의 롤러 클리닝 장치는 카세트에 수납된 다수의 웨이퍼의 플랫 존을 정렬하기 위한 정렬 롤러와 접촉하며, 정렬 롤러의 이물질을 제거하기 위한 접착성 물질이 도포된 테이프를 갖는다. 정렬 롤러와 평행한 방향으로 구비되는 세정 롤러는 테이프가 정렬 롤러와의 접촉 상태를 유지하도록 테이프를 가압한다. 구동부는 테이프가 정렬 롤러 전체의 이물질을 제거하기 위해 정렬 롤러와 테이프를 상대 운동시킨다. 따라서 정렬 롤러의 이물질에 의해 웨이퍼들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

47. 发明授权

KR100677612B1 오디오 재생 속도 제어 장치 및 그 방법 失效
标题翻译：这是一个有趣的游戏
公开(公告)号：KR100677612B1
公开(公告)日：2007-02-02
申请号：KR1020050082003
申请日：2005-09-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김정민 , 이혁재
IPC分类号： G11B20/10
摘要： An audio reproduction speed control device and a method thereof are provided to control reproduction speed of an audio through decimation and interpolation in a frequency domain according to fast reproduction speed and slow reproduction speed modes, thus a complex operation is not necessary, consequently the amount of calculation is reduced. An FFT(Fast Fourier Transform) unit(210) performs an FFT process for audio data of N inputted samples, and converts the audio data into audio sample values of a frequency domain. A decimation unit(220) decimates the converted audio sample values from the frequency domain in case of a fast reproduction speed mode. An interpolation unit interpolates the converted audio sample values in the frequency domain in case of a slow reproduction speed mode. An IFFT(Inverse FFT) unit(230) performs an IFFT process for the decimated or interpolated audio sample values, and restores the IFFT-performed audio sample values to audio signals of a time domain.
摘要翻译：提供了一种音频再现速度控制装置及其方法，用于根据快速再现速度和慢速再现速度模式通过频域中的抽取和插值来控制音频的再现速度，因此不需要复杂的操作，因此，计算减少。 FFT（快速傅立叶变换）单元（210）对N个输入采样的音频数据执行FFT处理，并将该音频数据转换为频域的音频采样值。抽取单元（220）在快速再现速度模式的情况下从频域抽取转换的音频样本值。内插单元在慢再现速度模式的情况下在频域内插转换的音频样本值。 IFFT（逆FFT）单元（230）对抽取或内插的音频样本值执行IFFT处理，并将IFFT执行的音频样本值恢复到时域的音频信号。

48. 发明公开

KR1020070014546A 반도체 제조설비 无效
标题翻译：制造半导体器件的设备
公开(公告)号：KR1020070014546A
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：KR1020050069290
申请日：2005-07-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이혁재 , 우창우 , 박진준 , 배도인 , 서기원
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/02
摘要： Semiconductor manufacturing equipment is provided to maximize the yield by improving reproducibility of a wafer teaching process without failure using a camera and a control unit. Semiconductor manufacturing equipment includes a plurality of loadlock chambers(110) for storing a cassette with wafers, a plurality of process chambers(130) with a wafer chuck, a transfer chamber for connecting selectively the process chambers with the loadlock chambers, a wafer transfer robot(152) for transferring the wafer between the loadlock chamber and the process chamber at a center portion of the transfer chamber, a camera, and a control unit. The camera is installed over the chuck in order to detect the wafer. The control unit is used for outputting a control signal capable of controlling a wafer teaching process of the wafer transfer robot according to the position of the wafer checked by the camera.
摘要翻译：提供半导体制造设备以通过使用相机和控制单元提高晶片教学过程的再现性而无故障地最大化产量。半导体制造设备包括用于存储具有晶片的盒的多个负载锁定室（110），具有晶片卡盘的多个处理室（130），用于将处理室与负载锁定室选择性连接的传送室，晶片传送机器人（152），用于在传送室的中心部分处的载荷锁定室和处理室之间传送晶片，相机和控制单元。将相机安装在卡盘上以检测晶片。控制单元用于根据由照相机检查的晶片的位置输出能够控制晶片传送机器人的晶片教学过程的控制信号。

49. 发明授权

KR100608062B1 오디오 데이터의 고주파수 복원 방법 및 그 장치 有权
标题翻译：用于解码高频音频数据的方法和装置
公开(公告)号：KR100608062B1
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：KR1020040061423
申请日：2004-08-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 오윤학 , 이혁재
IPC分类号： G11B20/10
CPC分类号： G10L21/038 , G10L19/04
摘要： 디코더내에서 mp3 압축 오디오 신호의 고주파수 복원 방법 및 그 장치가 개시되어 있다. 본 발명은 입력되는 비트스트림으로부터 추출되는 MDCT 계수로부터 윈도우 타입에 따른 저주파수 영역의 필터 뱅크 값을 생성하는 과정, 윈도우 타입을 근거로 프레임의 트랜지언트(transient)정보를 추출하고, 그 트랜지언트 정보에 따른 웨이트 계수를 선택하는 과정, 저주파수 영역의 필터 뱅크값으로부터 손실된 고주파수 영역의 필터 뱅크 값을 복원하는 과정, 선택된 웨이트 계수를 바탕으로 상기 과정에서 복원된 고주파수 성분들의 필터 뱅크 값을 조정하는 과정을 포함한다.

50. 发明公开

KR1020060012783A 오디오 데이터의 고주파수 복원 방법 및 그 장치 有权
标题翻译：解码高频音频数据的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060012783A
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020040061423
申请日：2004-08-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 오윤학 , 이혁재
IPC分类号： G11B20/10
CPC分类号： G10L21/038 , G10L19/04
摘要： 디코더내에서 mp3 압축 오디오 신호의 고주파수 복원 방법 및 그 장치가 개시되어 있다. 본 발명은 입력되는 비트스트림으로부터 추출되는 MDCT 계수로부터 윈도우 타입에 따른 저주파수 영역의 필터 뱅크 값을 생성하는 과정, 윈도우 타입을 근거로 프레임의 트랜지언트(transient)정보를 추출하고, 그 트랜지언트 정보에 따른 웨이트 계수를 선택하는 과정, 저주파수 영역의 필터 뱅크값으로부터 손실된 고주파수 영역의 필터 뱅크 값을 복원하는 과정, 선택된 웨이트 계수를 바탕으로 상기 과정에서 복원된 고주파수 성분들의 필터 뱅크 값을 조정하는 과정을 포함한다.

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