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31. 发明授权

KR102323922B1 발광분광분석기의 아르곤 가스 유지관리 시스템 및 그 방법 有权
公开(公告)号：KR102323922B1
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：KR1020200059367
申请日：2020-05-18
IPC分类号： G01J3/443 , G01N27/407 , G01N21/67 , G01F23/14 , G01G5/00 , G01G5/04
摘要： 본발명에따른발광분광분석기의아르곤가스유지관리시스템및 그방법은, 아르곤가스의잔량확인과, 봄베교체시기를용이하게확인할수 있도록, 크게봄베, 로드셀센서, 아르곤가스공급라인, 발광분광분석기, 아르곤가스정화기, 제1 압력조절기, 제1 압력센서, 제1 밸브, 제2 압력조절기, 제2 압력센서, 제2 밸브및 제어부를포함한다. 따라서, 상기제어부에서상기로드셀센서, 상기제1 압력센서및 상기제2 압력센서를통해측정한데이터를기반으로아르곤가스공급상태를분석하여, 상기아르곤가스공급상태를표시부를통해작업자에게알리도록하여, 작업자가아르곤가스잔량을확인하기위하여가스보관장소로수시로확인할필요가없어, 작업자들의불필요한작업동선의로스를줄일수 있으며, 아르곤가스교체시기를파악할수 있어작업효율을향상시킬수 있는효과가있다.

32. 发明授权

KR101933272B1 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 방법 및 기억 매체 有权
公开(公告)号：KR101933272B1
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：KR1020160035390
申请日：2016-03-24
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 미우라,시게히로 , 고바야시,다케시 , 스가와라,가츠아키 , 이토,나오히데
IPC分类号： H01J37/32 , G01N21/25 , G01N21/68 , G01J3/02 , G01J3/443
摘要： 본 발명은 회전 테이블(2)에 의해 웨이퍼(W)를 공전시키면서 플라즈마 처리하는 장치에 관한 것으로, 히터 유닛(7)의 광에 의해 밝게 되어 있는 플라즈마 발생 영역에서의 플라즈마의 착화를 확실하게 검출한다. 진공 용기(1)의 천장면에 투과창(300)을 설치하고, 광 검출부(301)에 의해 투과창(300)의 하방측의 플라즈마 발생 영역의 광을 검출한다. 그리고 R, G, B의 각 광 강도의 합계에 대한 R, G, B의 각각의 비율을 구하고, 또한 안테나(83)에 고주파 전력을 공급하기 전후에서의 각 비율의 변화율을 구해서 그들을 합계한 값을 평가값으로 하고, 평가값과 임계값을 비교하여, 평가값이 임계값보다도 크면 플라즈마의 착화가 일어나고, 평가값이 임계값 이하이면 플라즈마의 착화가 일어나지 않았다고 판단한다.

33. 发明公开

KR1020170012363A 광 계측 장치 및 광 계측 방법 审中-实审
标题翻译：光学测量装置和光学测量方法
公开(公告)号：KR1020170012363A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020167035821
申请日：2015-04-07
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 에우라시게루 , 스즈키겐고 , 이케무라겐이치로 , 이구치가즈야
IPC分类号： G01J3/443 , G01N21/64
CPC分类号： G01N21/64 , G01J3/0254 , G01J3/443 , G01N2201/12753
摘要： 광계측장치는시료가배치된적분구내로여기광을입력하여, 여기광을소정의빔 단면으로시료에조사시키고, 적분구로부터의계측광을광 검출기로검출하여시료의강도데이터를취득한다. 광계측장치는보정데이터가기억된기억부와, 시료의강도데이터및 보정데이터에기초하여시료의광특성을산출하는광특성산출부를구비한다. 보정데이터는제1 광흡수부재에대해서여기광을소정의빔 단면으로조사하여검출한제1 보정용강도데이터와, 제2 광흡수부재에대해서여기광을소정의빔 단면으로조사하여검출한제2 보정용강도데이터에기초하여산출된다. 소정의빔 단면은제1 광흡수부재로덮임과아울러, 제2 광흡수부재를덮는다.
摘要翻译：光学测量装置使激发光进入放置样品的积分球的内部，将具有规定光束截面的激发光照射在样品上，利用光电检测器检测来自积分球的测定光，并取得强度数据为样品。该光学测量装置设置有存储有校正数据的存储单元和用于根据样本强度数据和校正数据计算样本的光学特性的光学特性计算单元。基于通过用具有规定光束截面的激发光照射第一光吸收部件而检测到的第一强度数据和通过用激发光照射第二光吸收部件的第二检测强度数据来计算校正数据具有规定的梁截面。规定的光束横截面由第一光吸收部件包围并围绕第二光吸收部件。

34. 发明授权

KR101680851B1 ＬＥＤ 칩의 광특성 평가방법 및 이를 활용한 ＬＥＤ 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：评价LED芯片的光学特性的方法及其制造方法
公开(公告)号：KR101680851B1
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020100010927
申请日：2010-02-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박일우 , 손종락
IPC分类号： G01J3/50 , G01J3/443 , G01J3/51 , H01L33/58
摘要： 본발명의일 측면에따른 LED 칩의광특성평가장치는, 평가대상이되는 LED 칩에서나오는단색광을다른파장의색으로변환하여특정색의빛이나오도록하는광변환필터; 및상기광변환필터로부터나오는특정색의빛을수광하여상기수광된특정색의빛의광특성을측정하는광특성측정부를포함한다.
摘要翻译：目的：提供用于评估LED芯片的光学特性的装置和方法以及制造LED装置的方法，以减少发射包括白色的特定颜色的LED的LED装置的色散，并且增加发射特定的LED的LED装置的制造成品率光的颜色构成：用于评估LED芯片的光学特性的设备（100）包括光转换滤光器（151,152），其将从LED芯片（50）发射的单色光（例如蓝光或紫外光）转换成其他波长的颜色，发出白光。由光转换滤波器发出的白光由用于测量光学特性的单元接收，因此测量白光的光学特性。光学特性测量单元可以包括测量光能的光电二极管传感器（130）和测量光谱的光谱仪（140）。

35. 发明授权

KR101675475B1 ＬＥＤ 광특성 평가장치, ＬＥＤ 광특성 평가방법 및 이를 활용한 ＬＥＤ 장치의 제조 방법 有权
标题翻译：用于评估LED的光学特性的装置和方法及使用其制造LED器件的方法
公开(公告)号：KR101675475B1
公开(公告)日：2016-11-14
申请号：KR1020100010926
申请日：2010-02-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 손종락 , 박일우
IPC分类号： G01J3/51 , G01J3/443 , H01L33/58
摘要： 본발명의일 측면에따른 LED 광특성평가장치는, LED 배어패키지에서나오는빛을다른파장의색으로변환하여특정색의빛이나오도록하는광변환필터; 및상기광변환필터로부터나오는특정색의빛을수광하여그 수광된특정색의빛의색좌표를측정하는광특성측정부를포함한다.

36. 发明授权

KR101401192B1 램프 모듈 有权
标题翻译：灯泡模块
公开(公告)号：KR101401192B1
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：KR1020120042964
申请日：2012-04-25
申请人： 헤레우스 노블라이트 게엠베하
发明人： 토르스텐,예네크
IPC分类号： F21S2/00 , F21V9/00 , G01J1/08 , G01J3/443
CPC分类号： G01J3/10 , G01J3/0286 , G01J3/0291
摘要： 스펙트럼 분석 장치를 위한 공지된 램프 모듈은 합성 석영 유리로 제조된 램프 전구를 갖춘 중수소 램프를 수용하기 위한 캐비티를 갖춘 램프 리셉터클 본체를 포함한다. 캐비티는 광 전송 요소로 폐쇄되는 빔 출구 개구를 구비한다. 긴 사용 수명을 보이고 경제적으로 제조될 수 있으며 190 nm 내지 250 nm의 파장 범위에서 높은 세기를 보장하는 오존 필터를 중수소 램프를 갖춘 램프 모듈에 제공하기 위해, 이러한 공지된 램프 모듈은 중수소 램프를 향하는 광 전송 요소 측에서 빔 출구 개구 내에 VUV 에지 필터를 구비한다.

37. 发明公开

KR1020130013456A 발광 모듈의 휘도 측정 장치 无效
标题翻译：一种用于检测发光模块发光的装置
公开(公告)号：KR1020130013456A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：KR1020110075114
申请日：2011-07-28
申请人： 엘지이노텍 주식회사
发明人： 최의섭
IPC分类号： G01J3/443
摘要： PURPOSE: A luminance measuring device of a light emitting module is provided to prevent drooping of an optical sheet caused by gravity, etc., thereby improving accuracy for measuring luminance. CONSTITUTION: A luminance measuring device of a light emitting module comprises a base plate(20), a detecting device(30), and an optical sheet(40). The light emitting modules are arranged on the base plate. The detecting device is arranged to be spaced from the base plate and measures the luminance of light emitted from the light emitting modules. The optical sheet is arranged between the detecting device and a light source. The optical sheet and detecting device are moved simultaneously with identical moving directions and moving distances.
摘要翻译：目的：提供一种发光模块的亮度测量装置，以防止重力等导致的光学片的下垂，从而提高了测量亮度的精度。构成：发光模块的亮度测量装置包括基板（20），检测装置（30）和光学片（40）。发光模块布置在基板上。检测装置被布置成与基板间隔开并测量从发光模块发射的光的亮度。光学片设置在检测装置和光源之间。光学片和检测装置以相同的移动方向和移动距离同时移动。

38. 发明授权

KR101189909B1 시뮬레이션 발광 다이오드 광원 혼합 광 상태 검출 방법 有权
标题翻译：模拟发光二极管光源的混合光状态检测方法
公开(公告)号：KR101189909B1
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：KR1020110009424
申请日：2011-01-31
申请人： 크로마 에이티이 인코포레이티드
发明人： 웽이룽 , 양흐신-타이 , 리밍-한
IPC分类号： G01J3/443 , G01J1/58
摘要： 확산 시트가 없는 상태에서 복수의 LED 라이트바에 포함되는 복수의 LED 유닛에 대해 동시에 공동 검출 화상을 찍고 공동 검출 화상의 각 LED 유닛의 좌표 및 상기 좌표와 대응되는 광 강도자료를 탐지하며 표준 확산광 프로파일을 각 LED 유닛에 적용함으로써 각 LED 유닛의 광 확산 상태 시뮬레이션 화상을 계산해내도록 하며 상기 광 확산 상태 시뮬레이션 화상으로서 각 LED램프의 혼합 광 상태 광 강도 자료를 계산하는 시뮬레이션 발광 다이오드 광원 혼합 광 상태 검출 방법에 관한 것이다.

39. 发明公开

KR1020120073076A 시뮬레이션 발광 다이오드 광원 혼합 광 상태 검출 방법 有权
标题翻译：模拟发光二极管光源的混合光状态检测方法
公开(公告)号：KR1020120073076A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：KR1020110009424
申请日：2011-01-31
申请人： 크로마 에이티이 인코포레이티드
发明人： 웽이룽 , 양흐신-타이 , 리밍-한
IPC分类号： G01J3/443 , G01J1/58
摘要： PURPOSE: A method for detecting a mixed light state of a light emitting diode light source simulation is provided to primarily detect a plurality of light bars and a LED unit including the same without considering of a light uniform role after the LED light bar penetrate a diffusion sheet. CONSTITUTION: A method for detecting a mixed light state of a light emitting diode light source simulation is as follows. An exclusive diffusion light field profile with respect to a LED unit penetrating one or more diffusion sheets is taken(S101). The diffusion light field profile is became a reference diffusion light field profile by a normalization(S102). Coordinates of each unit of common detection images and light intensity information corresponding to the coordinates are detected(S104). Images of a light emitting diode light source simulation are obtained by applying the reference diffusion light field profile to each LED unit based on the coordinates of each unit and light intensity information corresponding to the coordinates(S105).
摘要翻译：目的：提供一种用于检测发光二极管光源模拟的混合光状态的方法，以在LED灯条穿透扩散之后，主要检测多个光条和包括该光条的LED单元，而不考虑轻均匀的作用片。构成：用于检测发光二极管光源模拟的混合光状态的方法如下。采取相对于穿透一个或多个漫射片的LED单元的独占扩散光场分布（S101）。扩散光场分布通过归一化成为参考扩散光场分布（S102）。检测与坐标对应的常用检测图像和光强度信息的各单位的坐标（S104）。通过基于每个单位的坐标和对应于坐标的光强度信息（S105）将参考漫射光场分布应用于每个LED单元来获得发光二极管光源模拟的图像。

40. 发明公开

KR1020110105349A 양자 효율 측정 방법, 양자 효율 측정 장치 및 적분기 有权
标题翻译：量子效率测量方法，量子效率测量装置和整合器
公开(公告)号：KR1020110105349A
公开(公告)日：2011-09-26
申请号：KR1020110023609
申请日：2011-03-17
申请人： 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤
发明人： 오사와요시히로 , 오오꾸보가즈아끼
IPC分类号： G01J3/443 , G01N21/64
CPC分类号： G01N21/645 , G01J1/58 , G01J3/0254 , G01J2001/0481 , G01J2001/4247 , G01N2021/6417 , G01N2021/6469 , G01N2201/0655
摘要： 양자 효율 측정 방법은, 적분 공간을 갖는 적분기 내의 소정 위치에 시료를 배치하는 스텝(S10)과, 여기광을 시료에 조사하는 동시에, 제2 창을 통해 적분 공간 내의 스펙트럼을 제1 스펙트럼으로서 측정하는 스텝(S12)과, 여기광 입사 부분을 시료를 투과 후의 여기광이 적분 공간 내로 반사되지 않도록 구성하는 스텝(S20)과, 여기광을 시료에 조사하는 동시에, 제2 창을 통해 적분 공간 내의 스펙트럼을 제2 스펙트럼으로서 측정하는 스텝(S22)과, 제1 스펙트럼 중 여기광의 파장 범위에 대응하는 성분과, 제2 스펙트럼 중 여기광을 받아 시료가 발하는 광의 파장 범위에 대응하는 성분에 기초하여, 시료의 양자 효율을 산출하는 스텝(S40, S42, S46)을 포함한다.

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