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31. 发明公开

KR1020070096656A 선형보정 마이크로 압력센서 有权
标题翻译：线性补偿微型压力传感器
公开(公告)号：KR1020070096656A
公开(公告)日：2007-10-02
申请号：KR1020060027537
申请日：2006-03-27
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박중호 , 함상용 , 윤동원 , 조정대
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/02 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0041 , B81C1/00158 , G01L19/0061 , G01L27/005
摘要： A linear-compensation micro pressure sensor is provided to make output current value linear by controlling the curvature for a curved line by compensating a partial section and keeping a thin film thickness of a resistant body constantly. A linear-compensation micro pressure sensor(100) comprises a flexible diaphragm(5), a lower end wafer(2), an upper end wafer(1), a metallic thin film(6), a reference body(8), a plurality of resistant bodies(7), a plurality of electrodes(9), and a power source unit(21). The lower end wafer includes an upper chamber positioned at one side of the diaphragm and having opened upside. The upper end wafer is formed opposite to the diaphragm and combined with an upper surface of the lower end wafer to seal the upper chamber. The metallic thin film is vacuum-plated at the upper surface of the diaphragm. The reference body is fixed to the center of the lower end surface for the upper end wafer. The plural resistant bodies are curved longitudinally to increase a section toward the reference body and fixed to the lower end surface of the upper end wafer. The plural electrodes are formed at one sides of the reference body and the resistant body. The power source unit includes a lead wire(20) connecting the electrodes electrically.
摘要翻译：提供了一种线性补偿微压力传感器，通过补偿局部截面并保持耐磨体的薄膜厚度不断地通过控制曲线的曲率来使输出电流值呈线性。线性补偿微压力传感器（100）包括柔性隔膜（5），下端晶片（2），上端晶片（1），金属薄膜（6），参考体（8），多个电阻体（7），多个电极（9）和电源单元（21）。下端晶片包括位于隔膜一侧并具有向上打开的上室。上端晶片与隔膜相对地形成，并与下端晶片的上表面组合以密封上室。金属薄膜在隔膜的上表面被真空镀覆。参考体固定在上端晶片的下端面的中心。多个电阻体纵向弯曲以增加朝向基准体的截面并且固定到上端晶片的下端表面。多个电极形成在基准体和抵抗体的一侧。电源单元包括电连接电极的引线（20）。

32. 发明授权

KR100739821B1 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치 失效
标题翻译： 1,10,100托的真空计校准装置
公开(公告)号：KR100739821B1
公开(公告)日：2007-07-13
申请号：KR1020050055185
申请日：2005-06-24
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 우삼용 , 최인묵 , 김부식
IPC分类号： G01L27/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005
摘要： 본 발명은 1 토르, 10 토르, 100 토르 겸용 진공게이지 교정장치에 관한 것이다. 이를 위해, 압력용기(120)의 내부에 표준압력계(140, 142)가 설치되어 모니터용 압력계(560)를 교정하기 위한 진공게이지 교정장치에 있어서, 압력용기(120)의 내부에 수직으로 설치되고, 복수개의 분동 거치대(138)가 축선을 따라 소정간격으로 형성되며, 하부에 표준압력계(140, 142)가 연결된 분동거치축(134); 분동 거치대(138) 사이 마다 설치되고, 복수개의 분동이 한 세트를 이루는 복수의 분동세트; 복수의 분동세트를 구성하는 각 분동을 분동 거치대(138)로부터 개별적으로 들어올리거나 분동 거치대(138)에 거치시키도록 하는 승강수단; 및 외부 명령에 따라 승강수단의 동작을 제어하는 제어수단이 제공된다.
진공, 압력, 게이지, 분동, 토르, 승강, 스텝모터, 거치축, 거치대

33. 发明授权

KR100724092B1 Ｉｎ ―ｓｉｔｕ법에 의한 진공게이지의 절대교정 및 비교교정 장치 및 방법 有权
标题翻译：通过绝对和比较方法进行真空计的校准仪器
公开(公告)号：KR100724092B1
公开(公告)日：2007-06-04
申请号：KR1020050101657
申请日：2005-10-27
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 홍승수 , 신용현 , 정광화 , 임인태
IPC分类号： G01L21/02 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005 , C21D11/00
摘要： 본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다.
정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율

34. 发明公开

KR1020060135301A 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치 失效
标题翻译：用于1,10,100 TORR的真空计量校准装置
公开(公告)号：KR1020060135301A
公开(公告)日：2006-12-29
申请号：KR1020050055185
申请日：2005-06-24
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 우삼용 , 최인묵 , 김부식
IPC分类号： G01L27/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005
摘要： A device for calibrating a vacuum gauge for 1, 10, and 100 torr is provided to increase repeatability by detecting a hysteresis by applying the same pressure under the same condition repeatedly. In a device for calibrating a vacuum gauge for 1, 10, and 100 torr, a counter weight supporting axis(134) is vertically installed inside of a pressure vessel(120). A plurality of counter weight supporting rods(138) is formed along an axis line at a predetermined interval and a pair of standard pressure gauges(140,142) is connected to a bottom of the counter weight supporting axis. A plurality of counter weight sets is installed between the counter weight supporting rods. An elevating device individually elevates each counter weight from the counter weight supporting rods or supports each counter on the counter weight supporting rods. And, a control unit controls an operation of the elevating device according to an external command.
摘要翻译：提供用于校准1,10和100托的真空计的装置，以通过在相同条件下重复施加相同的压力来检测滞后来提高重复性。在用于校准真空计1,10和100托的装置中，配重支撑轴（134）垂直地安装在压力容器（120）的内部。以预定间隔沿着轴线形成多个配重支撑杆（138），并且一对标准压力计（140,142）连接到配重支撑轴的底部。多个配重组件安装在配重支撑杆之间。升降装置单独地从配重支撑杆提升每个配重，或支撑配重支撑杆上的每个计数器。并且，控制单元根据外部命令控制升降装置的动作。

35. 发明授权

KR100571898B1 처리 진공실 내의 가스 압력을 보정하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于校准过程真空室中气体压力的步骤和装置
公开(公告)号：KR100571898B1
公开(公告)日：2006-04-18
申请号：KR1019990028128
申请日：1999-07-13
申请人： 새티스로 아게
发明人： 쥬터루돌프
IPC分类号： G05D16/00
CPC分类号： C23C14/54 , C23C16/52 , G01L27/005
摘要： 불활성 가스 분위기를 제공할 수 있고, 기밀식으로 밀봉가능하고, 진공화 가능한 진공실(수용기)을 사용하여 진공 상태에서 물품을 취급하는, 특히 광학 기판을 코팅하는 시스템은, 수용기(1)의 용적(Ⅴ)보다 적은 용적(ⅴ)을 갖는 보정 압력 용기(2)를 사용하여 각각의 작동 사이클에서 수용기 내의 가스 압력을 보정하는 장치를 포함하며, 상기 보정 압력 용기(2)는 작동식 밸브 피팅(3, 4)을 통해 불활성 가스 공급원과 수용기(1)에 유동식으로 연결되고, 수용기(1)와 보정 압력 용기(2)는 하류 제어기(8)를 통해 보정 압력 용기(2) 또는 수용기(1)에 가스를 도입시키기 위한 밸브 피팅(3, 4)을 제어하는 컴퓨터에 압력계(5 또는 6)를 통하여 각각 연결된다.
이러한 수단은 작동 및 처리 사이클에서 수용기 내의 미리 설정된 일정한 가스 농도를 반복적으로 보장하는 방식으로 불활성 가스 분위기를 제공할 수 있고 기밀식으로 밀봉가능한 진공화 가능 진공실(수용기) 내에서 가스 압력을 보정할 수 있게 해준다.
진공, 진공화 가능, 불활성 가스 분위기, 보정 압력 용기, 밸브 피팅

36. 发明公开

KR1020050103601A 압력센서 有权
公开(公告)号：KR1020050103601A
公开(公告)日：2005-11-01
申请号：KR1020040028819
申请日：2004-04-26
申请人： (주)센서시스템기술
发明人： 김영보
IPC分类号： G01L9/04
CPC分类号： G01L9/02 , B81C1/00158 , G01L9/0041 , G01L27/005
摘要： 본 발명은 압력 센서에 관한 것으로서 링(ring) 형상의 베이스와, 상기 베이스의 압력이 인가되는 타측과 대응하는 일측에 원형의 가장자리 부분을 중첩되게 용접하여 형성되는 접합부에 의해 접합되는 높은 경도와 큰 탄성력을 갖는 절연물질로 이루어진 다이아프램과, 상기 다이아프램 상의 상기 베이스와 인접하는 부분 또는 중심 부분에 각각 폭과 길이를 가지되 상기 길이가 동일한 방향을 갖도록 형성된 다 수개의 저항체와, 상기 다이아프램 상의 상기 베이스와 대응하는 주변 부분에 상기 다 수개의 저항체와 휘스톤 브릿지 구성을 이루도록 형성된 다 수개의 전극과, 상기 다이아프램 상에 상기 다 수개의 저항체를 덮으며 상기 다 수개의 전극을 개구에 의해 노출시키도록 형성된 보호막을 구비한다. 따라서, 베이스와 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 저항체 사이에 정전 용량이 발생되지 않으므로 동작 특성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 다이아프램의 탄성력이 크므로 저항 값의 직선성 및 재현성이 향상될 뿐만 아니라 히스테리시스 특성 및 크립(creep) 특성도 향상된다.

37. 发明公开

KR1020000011656A 처리 진공실 내의 가스 압력을 보정하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于校正过程真空室中的气体压力的方法和装置
公开(公告)号：KR1020000011656A
公开(公告)日：2000-02-25
申请号：KR1019990028128
申请日：1999-07-13
申请人： 새티스로 아게
发明人： 쥬터루돌프
IPC分类号： G05D16/00
CPC分类号： C23C14/54 , C23C16/52 , G01L27/005
摘要： PURPOSE: A system is provided to have an inactive gas atmosphere in a manner of repeatedly securing a constant gas concentration previously set in a container at an operation and process cycle. CONSTITUTION: The system processing a thing in a vacuum status by use of a vacuum room comprises a device for correcting a gas pressure in a container at each operation cycle by use of a correct pressure container(2) which has a volume(v) less than that(V) of a container(1). The correct pressure container(2) is connected with the container(1) and an inactive gas supply source through operation valve fitting(3, 4) in an oil pressure fashion. The container(1) and the correct pressure container(2) are connected to a computer through a pressure gauge(5 or 6), wherein the computer controls the valve fittings(3, 4) for introducing a gas to the container(1) or the correct pressure container(2) through a downward controller(8).
摘要翻译：目的：提供一种系统，以在操作和处理循环中反复确保事先设置在容器中的恒定气体浓度的方式具有惰性气体气氛。构成：通过使用真空室处理真空状态的系统包括用于通过使用体积（v）较小的正确的压力容器（2）来校正每个操作循环中的容器中的气体压力的装置比容器（1）的（V）高。正确的压力容器（2）通过操作阀配件（3,4）以油压方式与容器（1）和无效气体供应源连接。容器（1）和正确的压力容器（2）通过压力计（5或6）连接到计算机，其中计算机控制用于将气体引入容器（1）的阀配件（3,4）或正确的压力容器（2）通过向下控制器（8）。

38. 发明授权

KR1019940010207B1 압력식 제어신호 전송장치 및 그 작동방법 失效
标题翻译：自动压力变送器自动压力传感器
公开(公告)号：KR1019940010207B1
公开(公告)日：1994-10-22
申请号：KR1019860004070
申请日：1986-05-24
申请人： 더 뱁콕 앤드 윌콕스 컴퍼니
发明人： 에드워드베스타자닉 , 에드워드리스터링쥬니어 , 존월터로버트슨쥬니어
IPC分类号： H04Q1/28
CPC分类号： G01L27/005
摘要： 내용 없음.

39. 发明授权

KR1019890000777B1 정밀 전자식 중량 측정기 失效
标题翻译：精密压力表
公开(公告)号：KR1019890000777B1
公开(公告)日：1989-04-06
申请号：KR1019830005438
申请日：1983-11-16
申请人： 가부시기가이샤후지긴 , 세꼬꾸찌고도히꼬
发明人： 세꼬구찌고도히꼬 , 소노다요시기
IPC分类号： G01G19/00
CPC分类号： G01L7/16 , G01L27/005
摘要： A gauge (1) for the continuous measurement of the pressure of fluid, gas or liquid comprises a closed cylinder (2), a tube (3), a ceramic sleeve (4), a ram (5), a driving mechanism (6) and a precision weight measuring instrument (7). The gas, liquid or fluid pressure is led via the tube into the cavity (8) within the closed top cylinder (2) in which the pressure is converted into a force acting vertically downwards through the ram onto the weight measuring instrument. The driving mechanism acts to rotate the sleeve about its axis but not to rotate the ram hence reducing linear friction between the two and allowing the ram to move freely in response to pressure in the cylinder.
摘要翻译：用于连续测量流体，气体或液体的压力的量具（1）包括封闭的气缸（2），管（3），陶瓷套筒（4），冲头（5），驱动机构（6））和精密重量测量仪（7）。气体，液体或流体压力通过管被引导到封闭的顶部气缸（2）内的空腔（8）中，其中压力被转换成通过压头垂直向下作用的作用力到重量测量仪器上的力。驱动机构用于使套筒围绕其轴线旋转，但不能使柱塞旋转，从而减小两者之间的线性摩擦，并允许压头响应于气缸中的压力自由移动。

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